避免接触皮肤、眼睛和衣服;存储:密闭存放在阴凉干燥的地方8.防燥和人员保护极限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通风:良好的通风措施,保持良好通风人员保护设备:橡胶手套、防护目镜,避免接触皮肤、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽压;9.物理和化学性能物理测试:液体颜色:微黄气味:类氨熔点:-24~-23℃沸点:165~204℃闪点:110℃蒸汽压mmHg@20℃蒸汽压密度(空气=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶剂:溶于部分有机溶剂PH值:10.稳定性与活性稳定性:稳定危险反应:有机和无机酸、强氧化剂、碱金属、强酸混溶性:强氧化剂和酸不能混溶,在高温气压下可与二硫化碳反应避免条件:热、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone实际毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮肤接触(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮肤接触/兔:>。高效剥离液,让光刻胶去除更轻松、更彻底。铜陵银蚀刻液剥离液供应

本发明下述示例性实施例可以多种不同的形式来实施,并且不应当被解释为只限于这里所阐述的具体实施例。应当理解的是,提供这些实施例是为了使得本发明的公开彻底且完整,并且将这些示例性具体实施例的技术方案充分传达给本领域技术人员。如图1所示,本发明提供的光刻胶剥离去除方法主要实施例,用于半导体制造工艺中,可应用于包括但不限于mos、finfet等所有现有技术中涉及光刻胶剥离去除的生产步骤,主要包括以下步骤:s1,在半导体衬底上淀积介质层;s2,旋涂光刻胶并曝光显影,形成光刻图形阻挡层;s3,执行离子注入:s4,采用氮氢混合气体执行等离子刻蚀,对光刻胶进行干法剥离;s5,对衬底表面进行清洗。本发明刻胶剥离去除方法主要实施例采用能与主要光刻胶层和第二光刻胶层反应生成含氨挥发性化合物气体,与主要光刻胶层和第二光刻胶层反应速率相等的等离子体氮氢混合气体能更高效的剥离去除光刻胶,有效降低光刻胶残留。进而避免由于光刻胶残留造成对后续工艺的影响,提高产品良率。参考图11和图12所示,在生产线上采用本发明的光刻胶剥离去除方法后,监控晶圆产品缺陷由585颗降低到32颗,证明本发明光刻胶剥离去除方法的的改善的产品缺陷,促进了产品良率的提升。深圳铜蚀刻液剥离液联系方式剥离液中加入特有添加剂可有效保护对应金属;

根据对华新光电、日东集团的剥离液成分进行分析得知,剥离液主要成分为单乙醇胺(MEA),二甲亚砜(DMS0)和二乙二醇单丁醚(BDG),其中市场上大部分以二乙二醇单丁醚居多。剥离液废液多呈深黑色且气味大,由以下几种组分构成:(1)、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和肿胺为主。(2)、10~60%重量的醇;(3)、10~50%重量的水;(4)、5~50%重量的极性有机溶剂,如;N-甲基吡咯烷酮(NMP),环丁基砜、二甲基亚砜(DMSO)、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等。(5)、~3%重量的金属抗蚀剂,如2-氨基环己醇、2-氨基环戊醇等。根据上述分析可以看出,剥离液中大部分是有机溶剂,可以加以回收资源化利用,或者将剥离废液进行脱色净化处理后再用于生产中,配成剥离液。当前国内主要产生剥离液的厂家主要分布在天津及深圳一带,均是高新技术发达区域,随着国内经济及城市的发展,剥离液产废地点将越来越,也将引起环保的重视及关注。
所述卷边辊与所述胶面收卷辊通过皮带连接,所述收卷驱动电机与所述胶面收卷辊通过导线连接。进一步的,所述电加热箱与所述干燥度感应器通过导线连接,所述电气控制箱与所述液晶操作面板通过导线连接。进一步的,所述主支撑架由合金钢压制而成,厚度为5mm。进一步的,所述干燥度感应器与所述电气控制箱通过导线连接。进一步的,所述防溅射挡板共有两块,倾斜角度为45°。进一步的,所述电气控制箱与所述表面印刷结构通过导线连接,所述电气控制箱与所述胶面剥离结构通过导线连接。本技术的有益效果在于:采用黏合方式对印刷品胶面印刷进行剥离,同时能够对印刷品胶面进行回收,节约了大量材料,降低了生产成本。博洋剥离液供应厂商,专业分离设备,智能研发,工程项目,经验丰富,质量可靠,欢迎随时来电咨询!

按照玻璃基板传送方向从当前腔室101开始逐级由各腔室10向玻璃基板供给剥离液以进行剥离制程。剥离液从当前腔室101进入相应的存储箱20,在剥离液的水平面超过预设高度后流入过滤器30,再经过过滤器30的过滤将过滤后的剥离液传送至下一级腔室102内。其中,薄膜碎屑70一般为金属碎屑或ito碎屑。其中,如图2所示,图2为本申请实施例提供的剥离液机台100的第二种结构示意图。阀门开关60设置在管道40及第二管道50上。在过滤器30被阻塞时,关闭位于过滤器30两侧的管道40及第二管道50上的阀门开关60,可以保证当前级腔室101对应的存储箱20内剥离液不会流出,同时下一级腔室102内的剥离液也不会流出。在一些实施例中,请参阅图3,图3为本申请实施例提供的剥离液机台100的第三种结构示意图。过滤器30包括多个并列排布的子过滤器301,所述管道40包括多个子管道401,每一所述子管道401与一子过滤器301连通,且所述多个子管道401与当前级腔室101对应的存储箱20连通。在一些实施例中,第二管道50包括公共子管道501及多个第二子管道502,每一所述第二子管道502与一子过滤器301连通,每一所述第二子管道502与所述公共子管道501连通,所述公共子管道501与所述下一级腔室102连通。其中。苏州博洋化学股份有限公司剥离液;广州市面上哪家剥离液销售厂家
剥离液,高效去除光刻胶,不留痕迹。铜陵银蚀刻液剥离液供应
能够增强亲水性,使得剥离液亲水性良好,能快速高效地剥离溶解光刻胶。润湿剂含有羟基,为聚乙二醇、甘油中的任意一种。下面通过具体实施例对本申请作进一步详细说明。以下实施例对本申请进行进一步说明,不应理解为对本申请的限制。表一:两种不同组分的剥离液配方一和配方二所采用的基础组分基本相同,不同的是配方二中加入有润湿剂,上述所描述的润湿剂是用于增强亲水性的,滴液与产品表面间的夹角为接触角,接触角可用来衡量润湿程度,水滴角测试仪可测量接触角,从润湿角度考虑,接触角<90°,且接触角越小润湿效果越好加入润湿剂后的配方二所制得的剥离液,在滴落在高世代面板后,通过水滴角测试仪测接触角,检测图如图1所示,三次测试的接触角如下表二:上述两种不同组分的剥离液作接触角测试接触角配方一配方二测试一,加入润湿剂后的配方二所制得的剥离液,其滴落在高世代面板后,其接触角比未加入润湿剂的配方一的剥离液润湿效果更好;请参阅图2所示,将配方一所制得的剥离液以及配方二所制得的剥离液进行光刻胶剥离,图2中的阴影圆点为浸泡时间t1后光刻胶残留,明显地,可以看出配方二中t1时间后光刻胶残留量小,而配方一中产品边缘处光刻胶的残留量大。铜陵银蚀刻液剥离液供应