在弧矢方向偏离2.1mm，IMA：-2.115，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-2.115mm。如图3a至图3c所示，在按照上述方式设计由成像物镜6与感光元件7所组成的成像系统的MTF值后，不论被测物体在激光位移传感器量程内的什么位置，best终所呈现的光斑均为长条状，且长条状的光斑在子午方向(T)上被拉长，而在弧矢(S)方向上被压缩。这样，就能够使得光斑与像元之间的接触面积增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。同时，还能够降低成像物镜的设计难度，降低成本。不仅如此，由于光斑在弧矢方向上被压缩，所以更加容易确定光斑在弧矢方向上的中心位置，有助于提高测量精度。另外，光斑在子午方向上的拉长，并不会影响测量精度。无论是在工业生产、医疗诊断还是科学研究，它都发挥着巨大作用，为我们提供了准确而可靠的测量数据。福建激光位移传感器生产商
加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度检测不仅包括非球面表面形状的检测，还包括非球面中心偏差的测量。要求非球面透镜的形状误差在几厘米到几十厘米的范围内小于1μm。受现有冷加工工艺、车床运动误差、磨削力变形及检测误差的限制，加工的非球面光学元件会产生一些质量缺陷，无法保证跨尺度的产品满足高精度要求。为了使非球面透镜表面形状误差、中心偏差等参数满足设计精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差检测信息进行多误差校正和补偿加工。宁德激光位移传感器激光位移传感器在学术科研行业的应用案例。
图3a至图3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置为满足上述要求的情况下，被感光元件接收到的光斑的形状。图3a是被测物体在激光位移传感器的best小量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm为物点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离1.627mm。图3b是被测物体在激光位移传感器的中间量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：0.0000，0.0000mm为物点在弧矢方向无偏离，在子午方向无偏离，IMA：-0.243，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-0.243mm。图3c是被测物体在激光位移传感器的比较大量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：2.1000，0.0000mm为物点在子午方向无偏离，
在一个实施例中，激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离，在空间频率为62.5lp/mm处，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值，MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值，曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值，曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值；曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值；曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中，在弧矢方向内，向光轴以里偏离为正，向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中，在空间频率为62.5lp/mm处，量程内被测点的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。类似地，在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下，同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。使用三角测量原理的位移传感器时，需要根据目标物的表面状态倾斜安装传感头，以确保可适当接收反射光。
在一个实施例中，上述感光元件7可以为线阵CCD感光芯片，或者也可以是线阵CMOS感光芯片。在线阵CCD感光芯片或线阵CMOS感光芯片中，包括线形排列的多个感光单元，通常为直线排列，该直线的延伸方向为感光单元的主要排列方向，这些感光单元沿着水平方向(弧矢方向)排列。由于感光单元为直线状排列，因此，长条形光斑可增加与像元之间的接触面积，可降低机械器件形变对所述激光位移传感器信噪比的影响。[0045]在其他实施例中，上述感光元件7可以是面阵CCD感光芯片或面阵CMOS感光芯片。面阵CCD感光芯片或面阵CMOS感光芯片包括排列为矩形的多个感光单元，矩形的长边沿着水平方向(弧矢方向)延伸，短边沿着竖直方向(子午方向)延伸，其长边的延伸方向即为感光单元的主要排列方向。这样，长条形光斑同样更加容易地被面阵CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。激光技术的应用使得这种传感器具有高分辨率和高灵敏度，能够满足各种精密测量需求。福建激光位移传感器生产商
激光位移传感器的使用非常方便。福建激光位移传感器生产商
在采用方式2的情况下，可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃)，配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时，可以在微米量级进行调整。每次调整后，可以进行MTF解析，在判断解析结果满足上述条件时，停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件，则继续进行调整。此外，在图1所示的实施例中，反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间，从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率，减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下，反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。福建激光位移传感器生产商
