针对相关技术中的问题,本发明提出一种激光位移传感器,能够在不影响测量精度的情况下,降低成像物镜的设计难度,同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明,提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中,在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10;如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向,则MTFT>MTFS×10。[0015]可选地,空间频率为62.5lp/mm,如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向,则MTFT≥0.5,MTFS<0.05。激光传感器是新型测量仪器。能够精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化。珠海激光位移传感器价格走势
本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS>MTFT或MTFT>MTFS,能够利用像散,让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变窄,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变宽,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变窄),有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置,从而提高测量的准确度;由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形,将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低,也不会影响测量精度;不仅如此,由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄,而在MTF值被降低的方向上光斑变宽,所以光斑与像元之间的接触面积增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响;此外,由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜无需兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值,所以能够降低物镜的设计难度,节省制造和维护成本;德州激光位移传感器厂家现货使用三角测量原理的位移传感器时,需要根据目标物的表面状态倾斜安装传感头,以确保可适当接收反射光。
在一个实施例中,激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离,在空间频率为62.5lp/mm处,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值,MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值,曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值,曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值;曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值;曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中,在弧矢方向内,向光轴以里偏离为正,向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中,在空间频率为62.5lp/mm处,量程内被测点的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。类似地,在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下,同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。
所述电子测量仪22包括一电子千分表221以及一千分表夹持装置222,所述电子千分表221使得所述激光位移传感器4的检验精度极大提高;所述电子千分表221夹持在所述千分表夹持装置222上,所述千分表夹持装置222一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述横向蜗杆211上,当所述横向蜗杆211进行横向位移时,所述电子千分表221可以精确的测量位移量。所述传感器夹持装置3包括一纵向螺杆31以及一夹持器32;所述夹持器32套设在所述纵向螺杆31上,所述夹持器32可在所述纵向螺杆31上调节高度,所述激光位移传感器4夹持在所述夹持器32上。激光位移传感器可以用于测量光学元件的位置和形状。
激光位移传感器根据入射光角度的不同可分为直入射式和斜入射式两种[1],本设计采用的是直入射式,其光路结构如图1所示。整套光路可以分为两部分,即整形系统和接收系统[2]。左边部分是光束整形系统,其作用是将激光器发出的光束汇聚在工作范围内,使汇聚的光斑尽量小而均匀。光源为半导体激光器(LD),它经整形系统在测量范围50±10mm内形成均匀的光斑。后面则是光束接收系统,它将物体表面的漫反射光汇聚到光敏探测器上,使其精确成像。图中α为被测面与成像透镜光轴夹角,β为光敏探测器与光轴的夹角,do和di分别表示物距和像距。相比于传统的接触式传感器,激光位移传感器不会对被测物体造成任何损伤或干扰,适用于对敏感物体进行测量。珠海激光位移传感器价格走势
激光位移传感器可以测量位移、厚度、振动、距离、直径等精密的几何测量。珠海激光位移传感器价格走势
本发明涉及光学测量领域,并且特别地,涉及一种激光位移传感器;光学传感器是依据光学原理进行测量的仪器,这类传感器有许多优点,例如,能够实现非接触和非破坏性测量、测量几乎不受干扰、能够实现高速传输以及可遥测、遥控、可实时处理等优点。光学传感器包括很多类型,其中,以激光三角法为基本原理的激光位移传感器是一种利用激光为光源、将CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,互补金属氧化物半导体)或者CCD(Charge-coupledDevice,电荷耦合元件)传感器作为接收器的精密测量仪器。这种传感器能够在非接触的情况下精确测量被测物体的位置、位移等变化,并且能够被应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。珠海激光位移传感器价格走势