光斑尺寸参数的测试方法是通过接收散射光信号计算光斑直径大小。在测试中，需要将激光束投射到被测物体表面，然后接收散射光信号并计算光斑直径大小。另外，也可以对被测物体表面进行切割并利用显微镜观察光斑直径大小的方法进行测试 。这些测试方法可以有效地对光斑尺寸进行精确测量，从而确保位移传感器的测量精度和可靠性。光斑尺寸参数的定义和测试是激光位移传... 【查看详情】

薄膜材料的厚度在纳米级薄膜的各项相关参数中，是制备和设计中一个重要的参量，也是决定薄膜性质和性能的关键参量之一。然而，由于其极小尺寸及表面效应的影响，纳米级薄膜的厚度准确测量变得困难。科研技术人员通过不断的探索研究，提出了新的薄膜厚度测量理论和技术，并将测量方法从手动到自动、有损到无损等不断改进。对于不同性质的薄膜，其适用的厚度测量方案也... 【查看详情】

晶圆对于半导体器件至关重要，膜厚是影响晶圆物理性质的重要参数之一。通常对膜厚的测量有椭圆偏振法、探针法、光学法等，椭偏法设备昂贵，探针法又会损伤晶圆表面。利用光学原理进行精密测试，一直是计量和测试技术领域中的主要方法之一，在光学测量领域，基于干涉原理的测量系统已成为物理量检测中十分精确的系统之一。光的干涉计量与测试本质是以光波的波长作为单... 【查看详情】

共焦测量方法由于具有高精度的三维成像能力，已经大量用于表面轮廓与三维精细结构的精密测量。本文通过分析白光共焦光谱的基本原理，建立了透明靶丸内表面圆周轮廓测量校准模型;同时，基于白光共焦光谱并结合精密旋转轴系，建立了靶丸内表面圆周轮廓精密测量系统和靶丸圆心精密定位方法 ，实现了透明靶丸内、外表面圆周轮廓的纳米级精度测量。用白光共焦光谱测量靶... 【查看详情】

激光位移传感器用于重要结构高精度实时监测效果良好，传感器寿命至少可达3～5年，维修工作量也较小。对于精度要求不高且量程较大的场合，采用常规岩土工程传感器更为经济。从各条线路加装监控系统实践看，国外主要品牌激光位移传感器质量相近，选择重点是根据监测对象的变形范围选择传感器型号和量程。例如 ，梁体横向位移宜采用小量程传感器，梁体纵向位移宜采用... 【查看详情】

近年北京市轨道交通建设发展迅速，截止目前运营线路已达19条，为及时掌握高架线路运行状态，自2012年起北京地铁陆续在5号线、13号线、八通线、机场线、亦庄线、房山线、昌平线和15号线高架线路上安装自动化监测系统，开展对桥梁梁体的位移、裂缝、支座位移、梁体应力、挠度、环境温度和风力风向等参数的监测。位移是结构监测的重要参数之一 ，在进行位移... 【查看详情】

光谱共焦技术主要包括成像、位置确认和检测三个步骤。首先，使用显微镜对样品进行成像，并将图像传递给计算机处理。然后通过算法对图像进行位置确认，以确定样品的空间位置。之后，通过对样品的光谱信息分析，实现对其成分的检测。在点胶行业中，光谱共焦技术可以准确地检测点胶的位置和尺寸，确保点胶的质量和精度。同时，通过对点胶的光谱分析，可以了解到点胶的成... 【查看详情】

光谱共焦测量技术是共焦原理和编码技术的结合 。白色光源和光谱仪可以完成一个相对高度范围的准确测量。光谱共焦位移传感器的准确测量原理如图1所示。在光纤和超色差镜片的帮助下，产生一系列连续而不重合的可见光聚焦点。当待测物体放置在检测范围内时，只有一种光波长能够聚焦在待测物表面并反射回来，产生波峰信号。其他波长将失去对焦。使用干涉仪的校准信息可... 【查看详情】

激光位移传感器在精密制造行业中有着广泛的应用。如在汽车制造中，激光位移传感器可以用于测量车身的变形和尺寸，确保汽车的质量和安全性能。在航空航天制造中，激光位移传感器可以用于测量航空器件的尺寸和变形，以及机翼的形状和弯曲度。在微电子制造中，激光位移传感器可以用于测量芯片的尺寸和形状，确保芯片的质量和性能。因此 ，激光位移传感器在精密制造行业... 【查看详情】

光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来的技术，在测量过程中无需轴向扫描，直接由波长对应轴向距离信息，因此可以大幅提高测量速度。基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器，精度理论上可达到纳米级。由于光谱共焦传感器对被测表面状况要求低、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高，因此迅速成为工业测量的热门... 【查看详情】

光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析，通过光谱波峰位置反推出被测物体的位移，实现通过光谱共焦的原理测量位移的过程。应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。一条连接结构，实现便于装配的... 【查看详情】

随着汽车行业的迅速发展 ，汽车零部件的加工质量和精度要求也越来越高。为了满足这一需求，高精度光谱共焦传感器成为了一种可靠的解决方案。本文将探讨高精度光谱共焦传感器在汽车零部件加工方面的应用，并提出相应的解决方案。首先，高精度光谱共焦传感器在汽车零部件加工中的应用主要体现在其精确的测量能力上。传统的测量方法往往需要接触式测量，容易受到人为因... 【查看详情】