光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来的技术，在测量过程中无需轴向扫描，直接由波长对应轴向距离信息，因此可以大幅提高测量速度。基于光谱共焦技术的传感器是近年来出现的一种高精度、非接触式的新型传感器，精度理论上可达到纳米级。由于光谱共焦传感器对被测表面状况要求低、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高，因此迅速成为工业测量的热门... 【查看详情】

光谱共焦测量原理是使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面上。透镜的排列方式是通过控制色差（像差）将白光分散成单色光。每个波长都有一定的偏差（特定距离）进行工厂校准。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。通过共焦孔径反射到目标表面的光会被光谱仪检测并处理。漫反射表面和镜面反射表面都可以使用光谱共焦原理进行测量。共焦测量提供纳... 【查看详情】

确定靶丸折射率及厚度的算法 ，由于干涉光谱信号与膜的光参量直接相关，这里主要考虑光谱分析的方法根据测量膜的反射或透射光谱进行分析计算，可获得膜的厚度、折射率等参数。根据光谱信号分析计算膜折射率及厚度的方法主要有极值法和包络法、全光谱拟合法。极值法测量膜厚度主要是根据薄膜反射或透射光谱曲线上的波峰的位置来计算，对于弱色散介质，折射率为恒定值... 【查看详情】

如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述可伸缩导轨包括一电动伸缩双直线导轨、一number one支撑件、一第二支撑件、一滑动轮、一伸缩制动开关以及一控制面板；所述number one支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨固定端的底部，所述第二支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨可伸缩端的底部；所述滑动轮设于所述第二支撑件... 【查看详情】

集成于2D扫描系统上，光谱共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和高度测量数据。创新的光谱共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪... 【查看详情】

硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器，TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传... 【查看详情】

所述微调装置2包括一蜗轮蜗杆机构21、一电子测量仪22以及一微调平台23；所述微调平台23设于所述电动伸缩双直线导轨11上端的尾部，所述微调平台23的末端向上设有一延伸部231；所述蜗轮蜗杆机构21设于所述微调平台23的前端；所述电子测量仪22的一端抵接于所述延伸部231，另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构21。所述蜗轮蜗杆机构21包括一横向蜗... 【查看详情】

在弧矢方向偏离2.1mm，IMA：-2.115，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-2.115mm。如图3a至图3c所示，在按照上述方式设计由成像物镜6与感光元件7所组成的成像系统的MTF值后，不论被测物体在激光位移传感器量程内的什么位置，best终所呈现的光斑均为长条状，且长条状的光斑在子午方向(T)上被拉长，而... 【查看详情】

针对目前国内自主研制的激光位移传感器精度低，测量范围小等问题，提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个激光位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上，结合具体要求设计了一个激光位移传感器的光学系统，其工作范围为（50±10）mm。采用系统分割的方法，将整个光学系统分为两部分进行设计，No.1部分是激光束的整形透镜，要求在有... 【查看详情】

多个光入射口可以沿着与线传感器的线方向相对应的预定方向设置。因此,可以容易地设计分光器。分光器可以包括设置有多个光入射口的光入射面。在这种情况下,多个光入射口可以设置在包括线方向和预定基准轴的方向的平面与光入射面相交的直线上。因此,可以容易地设计分光器。在针对多个光学头中的各光学头将如下区域假定为测量对象区域的情况下，多个受光区域可以与分... 【查看详情】

本实用新型由于采用了上述技术方案,具有以下有益效果:1、该系统采用价格便宜的Y型光纤和光谱共焦透镜组,结构简单,使用方便,具有较强的实用性,实现了传感器探头的小型化,光源发射和接收同光路,利用光谱仪来对采集的光波进行采集分析2、该系统结构简单,易于产业化,测量精度高,能对有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃进行测量3、光谱共焦具有更高的分辨... 【查看详情】

将纸币放置在平台上，调整感测头与纸币的距离大约在30mm左右，直至焦点对准纸币且监视器中显示可变化的读数；(2)按下人机界面中的Start按钮，平台将以设置好的速度、相邻数据点物理间隔和时间间隔进行移动，直到数据采集完为止；(3)保存步骤(2)中所采集到的数据，取下纸币，对平台进行复位；(4)重复步骤(2)操作，采集到的为平台表面离基准线... 【查看详情】