在半导体行业中，激光位移传感器被用于测量晶圆键合的方式，以确保键合的质量和精度。晶圆键合是将两个不同材料的表面连接在一起的过程，通常使用热压键合或焊接键合的方式。在这个过程中，激光位移传感器可以用来测量键合的间隙和压力，以确保键合的质量和精度。激光位移传感器的原理是利用激光束对物体进行非接触式测量，通过测量激光束反射回来的时间和光程差来计... 【查看详情】

白光光谱法克服了干涉级次的模糊识别问题 ，具有动态测量范围大，连续测量时波动范围小的特点，但在实际测量中，由于测量误差、仪器误差、拟合误差等因素，干涉级次的测量精度仍其受影响，会出现干扰级次的误判和干扰级次的跳变现象。导致公式计算得到的干扰级次m值与实际谱峰干涉级次m'(整数)之间有误差。为得到准确的干涉级次，本文依据干涉级次的连续特性设... 【查看详情】

本章主要介绍了基于白光反射光谱和白光垂直扫描干涉联用的靶丸壳层折射率测量方法 。该方法利用白光反射光谱测量靶丸壳层光学厚度，利用白光垂直扫描干涉技术测量光线通过靶丸壳层后的光程增量，二者联立即可求得靶丸折射率和厚度数据。在实验数据处理方面，为解决白光干涉光谱中波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差的问题，提出MATLAB曲... 【查看详情】

激光位移传感器是一种常用于非接触测量领域的重要工具。它通过测量光束与目标物体之间的位移来确定目标物体的位置。激光位移传感器的研究内容涵盖了光学、电子学和信号处理等多个领域 。在光学方面，研究人员致力于优化传感器的光路设计，以提高测量的精确性和稳定性。在电子学方面，研究人员关注传感器的电路设计和信号放大 ，以确保传感器能够准确地捕捉目标物体... 【查看详情】

确定靶丸折射率及厚度的算法 ，由于干涉光谱信号与膜的光参量直接相关，这里主要考虑光谱分析的方法根据测量膜的反射或透射光谱进行分析计算，可获得膜的厚度、折射率等参数。根据光谱信号分析计算膜折射率及厚度的方法主要有极值法和包络法、全光谱拟合法。极值法测量膜厚度主要是根据薄膜反射或透射光谱曲线上的波峰的位置来计算，对于弱色散介质，折射率为恒定值... 【查看详情】

在半导体行业中 ，激光位移传感器是一种非常重要的工具。半导体芯片是现代电子设备中基础的组成部分，因此制造高质量的半导体芯片对于电子工业来说至关重要。然而，由于半导体芯片尺寸非常小，其制造和生产过程需要高度精确的控制和测量。激光位移传感器被广泛应用于半导体芯片的生产过程中，可以用于半导体芯片的位置测量和精密加工控制。在半导体生产的测量和控制... 【查看详情】

通过安装在键合头上的激光位移传感器 360测量贴装台元401上基板贴装位相对于XY平面的倾角，同时用安装其上的精测相机402检测贴装台单元上基板的贴装位位置，并记录以上检测结果；键合头370从翻转模块104处拾取芯片后，在X向直线电机模组202和Y向直线电机模组203的驱动下，键合头上的相机351与平面镜352组成的飞行视觉模块350配合... 【查看详情】

为限度提高靶丸内爆压缩效率 ，期望靶丸所有几何参数、物性参数均为理想球对称状态。因此，需要对靶丸壳层厚度分布进行精密的检测。靶丸壳层厚度常用的测量手法有X射线显微辐照法、激光差动共焦法、白光干涉法等。下面分别介绍了各个方法的特点与不足，以及各种测量方法的应用领域。白光干涉法[30]是以白光作为光源，宽光谱的白光准直后经分光棱镜分成两束光，... 【查看详情】

位移传感器测量频率是指在一定时间内测量到的位移次数。激光位移传感器测量频率的定义是单位时间内测量到的位移次数。通常，激光位移传感器的测量频率与其采样率相关，采样率越高，测量频率越高。测量频率是激光位移传感器重要的性能参数之一，其测试方法主要包括两种：一是采用外部振动台进行实验测量，通过改变振动台的频率从而得到激光位移传感器的测量频率；二是... 【查看详情】

激光位移传感器的分辨率是指它能够测量到的小位移量，通常用微米或纳米表示。分辨率是激光位移传感器性能指标之一，决定了其测量精度和可靠性。分辨率的测试方法一般为将被测物体移动一个已知的小位移 ，然后测量激光位移传感器输出的信号变化量，即为分辨率。在测试分辨率时，需要注意被测物体的表面状态和光斑的大小等因素，以保证测试结果的准确性。为了优化激光... 【查看详情】

光谱法是以光的干涉效应为基础的一种薄膜厚度测量方法 ，分为反射法和透射法两类[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射会引起多光束干涉效应，不同特性的薄膜材料的反射率和透过率曲线是不同的，并且在全光谱范围内与厚度之间是一一对应关系。因此，根据这一光谱特性可以得到薄膜的厚度以及光学参数。光谱法的优点是可以同时测量多个参数且可以有效... 【查看详情】

激光三角法测量不仅具有大的偏置距离和大的测量范围，而且测量系统结构相对简单，维护方便，可有效应用于三维曲面的非接触精密测量中；但同时由于其测量精度与被测物体表面结构 、特性及环境条件等因素有关，当激光三角法应用于易拉罐罐盖开启口压痕残余厚度测量时，要求测量精度达到1μm，从上面的分析可以看到，由于激光光点尺寸、激光散斑和精细结构对测量精度... 【查看详情】