本实用涉及蚀刻设备技术领域,具体为一种ito蚀刻液制备装置。背景技术:蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明...
查看详细 >>图7:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构运作局部放大图。图8:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图9:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图10:本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图11:本实用新型蚀刻设备其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置...
查看详细 >>铝板面蚀刻用:酸、碱都行。(铝板是两性材料,既能与酸反应,又能与碱反应,所以腐蚀液有的用碱性材料腐蚀,有的用酸性材料腐蚀,一般情况下,以酸性材料腐蚀的为多,碱性材料可以洗白。下好料的铝板用枣木碳研磨,去掉油腻、划痕,磨出哑光表面。然后用丝网版印上纹样,油墨型号为80-39、80-59、80-49等。这种耐腐蚀油墨细腻,印出的纹样质量高。印...
查看详细 >>该挡液板结构10包括有一***挡板11、一与该***挡板11接合的第二挡板12,以及一与该第二挡板12接合的第三挡板13,其主要特征在于:该第二挡板12具有复数个贯穿该第二挡板12且错位设置的宣泄孔121。该***挡板11与该第二挡板12呈正交设置,且该第二挡板12与该第三挡板13呈正交设置,以使该***挡板11、该第二挡板12与该第三挡...
查看详细 >>伸缩杆12下端固定安装有圆环块13,圆环块13与喷头10之间固定连接有连接杆14,分隔板2与承载板3相互垂直设置,电解池4内部底端的倾斜角度设计为5°,进液管8的形状设计为l型,且进液管8贯穿分隔板2设置在进液漏斗6与伸缩管9之间,圆环块13通过伸缩杆12活动安装在喷头10上方,且喷头10通过伸缩管9活动安装在电解池4上方,通过设置有伸缩...
查看详细 >>etchingamount)的相互关系的图表。具体实施方式本发明人确认了用于氮化物膜去除工序用蚀刻液组合物的具有防蚀能力的添加剂在满足特定参数值时能够使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜且不损伤氧化物膜的效果极大化,从而完成了本发明。本发明包括选择在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*将氮化物膜选择性去除的能力优异的添加剂的方法...
查看详细 >>近年来,oled显示器广泛应用于手机和平板显示。金属银以优异的电导率和载流子迁移率被广泛应用于oled显示器的阳极布线(ito/ag/ito)结构中。为了对此进行蚀刻,目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸盐的湿蚀刻液(cna)。这样的体系虽然能有效去除金属银,但在实际使用过程中仍会存在少量的银残留或银再吸附沉积问题。4.本发明所要解决的...
查看详细 >>铜蚀刻液近期成为重要的微电子化学品产品,广泛应用于平板显示、LED制造及半导体制造领域。随着新技术的不断进步,对该蚀刻液也有了更高的要求。并且之前市场上的铜蚀刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高浓度双氧水的情况。在此基础上我司自主进行了无氟,无硝酸,低双氧水浓度铜蚀刻液的研发,并可兼容于不同CuMo镀膜厚度之工艺。产品特点:1.6%双氧水浓度的...
查看详细 >>过滤器的出液管自动上行离开储存罐,将装满的储存罐从铝蚀刻液生产车间移动至自动灌装车间中,将灌装头的快速接头插入储存罐的出液口中便可将储存罐内的铝蚀刻液分装。本实用新型除上述技术方案外,还包括以下技术特征:进一步的是,所述地磅的顶部平台中设置有两条卡块,所述卡块与平台之间形成一插槽;所述气动夹紧机构包括气缸和压紧块,所述压紧块位于所述插槽中...
查看详细 >>可以维持合适的蚀刻速度且提高sin/sio2选择比。(b)硅烷系偶联剂本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶联剂作为防蚀剂可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化时使用。上述硅烷系偶联剂推荐使上述硅烷系偶联剂的反应位点(activesite)的数量除以上述硅烷系偶联剂的水解(hydrolysis)...
查看详细 >>所述液位计7安装于所述分离器的外表面。液位计7安装在方便工作人员查看的位置,有利于提高工作人员工作的效率。在一个实施例中,如图1所示,所述液位开关9为控制阀,设置于所述滤液出口2处。控制阀为内螺纹截止阀,通过旋转操纵盘实现阀门的开关,这种阀结构简单,维修方便,工作行程小,启闭时间短,使用寿命长。在一个实施例中,如图2所示,所述分离器的侧壁...
查看详细 >>以及一设置于基板下方的第二风刀,其中***风刀与第二风刀分别吹出一气体至基板。如上所述的蚀刻设备,其中蚀刻设备可进一步设置有一喷洒装置,喷洒装置相对于风刀装置一端而设置于挡液板结构的另一端部。如上所述的蚀刻设备,其中喷洒装置喷洒一药液至基板上。如上所述的蚀刻设备,其中挡液板结构与基板的垂直距离介于8mm至15mm之间。如上所述的蚀刻设备,...
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