东莞市晟鼎精密仪器有限公司为客户提供 RPS 远程等离子体源的定制化工艺开发服务，满足个性化加工需求。针对不同客户的特定材料、加工要求，RPS 技术团队通过大量实验，优化工艺参数，开发专属工艺方案。在工艺开发过程中，RPS 团队与客户保持密切沟通，及时反馈实验结果，根据客户意见调整工艺方案；完成工艺开发后，为客户提供详细的工艺操作手册，并进行技术培训，确保客户能够熟练掌握。晟鼎精密建立了庞大的 RPS 工艺数据库，涵盖多种材料与加工场景，可快速为客户提供基础工艺方案并进行优化。该 RPS 定制化工艺开发服务已为多个行业的客户解决了特殊加工难题，成为客户信赖的 RPS 技术合作伙伴。RPS 远程等离子体源模块化设计易于集成，可快速升级现有真空设备，降低改造成本。江苏半导体设备RPS石英舟腔体清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源，针对柔性电子器件易受损伤的特性，打造了专属低损伤加工方案。柔性电子器件采用聚合物基底，传统加工方式易导致基底褶皱、破裂，而RPS通过远程传输设计，使高能离子在传输过程中被有效过滤，只让中性自由基作用于器件表面，从根本上避免物理损伤。在柔性OLED屏封装工艺中，RPS可精细活化基底表面，提升封装胶的附着强度，同时将基底温度控制在40℃以下，确保器件性能不受影响。RPS支持连续化生产模式，处理速度可达10米/分钟，且加工均匀性控制在±3%以内，完全适配柔性电子的量产需求。目前，该RPS方案已应用于柔性传感器、可穿戴设备等产品的制造，成为柔性电子行业高质量加工的中心RPS装备。广东国内RPS等离子源处理cvd腔室RPS 远程等离子体源采用高频微波技术，等离子体密度更高，工艺效果更均匀稳定。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出 RPS 快速模具与 3D 打印的协同应用方案，整合两种技术优势，为客户提供更高效的生产解决方案。在产品研发初期，通过 RPS 3D 打印快速制作样品，进行外观与结构验证；当样品验证通过后，利用 RPS 快速模具进行小批量生产，满足市场测试需求。RPS 3D 打印具备快速成型、设计自由度高的优势，可制作复杂结构样品；RPS 快速模具则具备生产效率高、零件质量好的特点，可实现接近量产标准的小批量生产。两种技术的协同应用，实现了从样品研发到小批量生产的无缝衔接，大幅缩短了产品上市周期。该 RPS 协同应用方案已应用于智能装备、医疗设备等多个领域，成为企业产品研发与生产的高效 RPS 组合方案。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS定位技术，向智慧农业领域拓展，实现农业生产的精细管控。在大型温室大棚中，RPS可定位农业机器人、灌溉设备的实时位置，引导机器人精细完成播种、施肥、采摘等作业，定位误差控制在±5cm以内。通过RPS定位与传感器数据融合，可实现灌溉设备根据作物位置精细供水，避免水资源浪费，使灌溉效率提升30%。在畜禽养殖场景中，RPS可定位养殖设备与牲畜位置，监测牲畜活动轨迹，及时发现异常情况。RPS定位系统具备低功耗特性，适配农业户外场景的长期使用需求，且抗粉尘、抗潮湿能力突出。该RPS智慧农业方案已在多个现代化农场落地，帮助农户降低生产成本，提升农产品产量与质量，成为智慧农业发展的重要RPS技术支撑。高纯度气源配套 RPS 远程等离子体源可避免二次污染，确保超净工艺稳定输出。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。RPS 远程等离子体源支持远程诊断与数据监控，便于工艺优化与设备管理。河北推荐RPS腔体清洗
半导体前道制程离不开 RPS 远程等离子体源，它是原子层刻蚀与薄膜沉积前清洗的关键装备。江苏半导体设备RPS石英舟腔体清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 基准点系统，是保障汽车零部件装配一致性的中心技术。在汽车生产过程中，不同批次、不同供应商的零部件需实现精细装配，RPS 通过统一的定位点标准，确保零部件在装配环节的定位统一。RPS 定位点由 3 个主定位点和若干辅助定位点组成，通过 “3-2-1 定位原则” 限制零部件的 6 个自由度，避免因定位误差导致的装配偏差。在总装车间，RPS 检测设备可快速验证零部件的定位精度，及时发现超差产品，避免不合格零部件流入装配环节。晟鼎精密的 RPS 系统可与汽车生产线上的自动化设备联动，实现零部件装配的自动化定位与检测，提升装配效率。通过 RPS 技术的应用，汽车车身间隙均匀性明显提升，零部件干涉问题大幅减少，成为汽车制造企业提升产品品质的中心 RPS 解决方案。江苏半导体设备RPS石英舟腔体清洗
