深圳晶圆水导激光加工在半导体行业的应用

中科煜宸RJ505-400W水导激光加工机床作为国内 的大功率水导激光设备，凭借 优越的性能斩获2024中国激光星锐奖“ 佳激光智能装备技术创新奖”，这一荣誉是行业对其技术实力的高度认可。该设备搭载400W大功率Nd:YAG脉冲激光器，波长可达532nm，能够在单位时间内提供更高的激光能量，明显提升加工效率，特别适用于批量生产、大面积切割或较厚材料的加工场景。其水路系统 大水压可达500bar，水压稳定性控制在±5bar，喷嘴直径可在40-120μm之间灵活调节，配合华中848五轴联动CNC系统，实现了X/Y/Z轴±3μm的定位精度和±2μm的重复定位精度，让复杂形状的精密加工变得游刃有余。无论是处理长达数米的航空发动机部件，还是加工微小的半导体元件，RJ505都能保持稳定的加工质量，成为 好品质制造企业的关键生产装备。我们不仅是设备供应商，更是提供从工艺开发、参数优化到技术支持的“工艺+设备”全链条解决方案合作伙伴。深圳晶圆水导激光加工在半导体行业的应用

中科煜宸水导激光设备的维护成本极低，由于采用了自主研发的关键部件和优化的设备结构，设备的故障率大幅降低，平均无故障运行时间超过10000小时。设备的易损件数量少，且更换便捷，更换时间不超过2小时，大幅减少了设备的停机时间。同时，公司提供完善的售后维护服务，在全国多个区域设立了售后服务点，售后服务人员能够在24小时内响应客户的维护需求，及时解决设备运行中出现的问题。低维护成本和完善的售后服务，为客户降低了运营成本，提升了设备的投资回报率。南京陶瓷基板水导激光加工在航空航天的应用热障涂层加工无脱落开裂，水导激光保障航空发动机叶片耐高温性能。

水导激光的概念起源于上世纪末，但长期以来被少数国外公司垄断，技术壁垒高，设备昂贵。中科煜宸立足国内制造业升级的迫切需求，组织精锐力量进行产学研联合攻关，历经原理验证、关键技术突破、工程样机开发、产业化定型等多个阶段，成功打破了国外技术垄断，推出了拥有完全自主知识产权的国产水导激光装备。这一过程不 填补了国内空白，更通过持续创新，在设备稳定性、工艺数据库建设、智能化水平等方面形成了自己的特色，推动了中国在 好品质激光制造装备领域的进步。

在航空航天领域，高温合金、陶瓷基复合材料等难加工材料的加工一直是行业难题，传统加工方式往往存在热损伤、加工精度低、效率低下等问题。中科煜宸水导激光技术的出现，为该领域带来了 创新性的解决方案。其大功率水导激光设备能够有效减少热影响区，避免过热引发的材料损伤，保证加工精度的同时保持高温合金的力学性能，成功解决了航空发动机涡轮叶片、喷嘴等关键部件的气膜孔加工难题。与传统加工方式相比，该技术不 将加工效率提升3倍以上，还大幅减少了熔渣、气孔等缺陷，加工表面粗糙度Ra值可低至0.4μm。目前，中科煜宸水导激光设备已批量应用于航空航天领域的关键部件加工，为我国 航空航天实力的综合提升做出了重要贡献。自主开发工业软件系统，水导激光设备操作便捷且工艺调试时间大幅缩短。

在船舶制造领域，船体结构件、螺旋桨等关键部件的加工精度直接影响船舶的性能和安全性。传统加工方式在处理船舶用 度钢、铝合金等材料时，存在加工效率低、表面质量差等问题。中科煜宸水导激光技术凭借其高功率、高精度的优势，能够实现船舶关键部件的高效精密加工。在螺旋桨叶片加工中，该技术可实现复杂曲面的精确切割，表面粗糙度Ra值低至0.5μm，提升了螺旋桨的推进效率；在船体结构件加工中，加工效率提升4倍以上，大幅缩短了船舶建造周期。随着船舶制造向大型化、 好品质化发展，中科煜宸水导激光设备正成为船舶制造企业的重要技术装备。中科煜宸实现水导激光设备国产化，关键部件自主研发摆脱进口依赖。广州医疗器械水导激光加工加工样品展示

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实现 好品质水导激光加工的先决条件是生成一条极其稳定、均匀的微米级层流水射流。中科煜宸采用多级过滤与恒压供水系统，确保水源的纯净与压力稳定。关键喷嘴通常由单晶蓝宝石或金刚石经超精密加工而成，孔径公差达微米级，内壁光洁度极高，以保障水流在出口处保持完美的层流状态，避免湍流和散射。先进的压力反馈与控制系统实时调节水压，以补偿可能的波动。这项看似基础的技术，实则是决定激光耦合效率和加工质量的关键，体现了公司在流体精密控制领域的深厚功底。深圳晶圆水导激光加工在半导体行业的应用

南京中科煜宸激光技术有限公司是一家有着先进的发展理念，先进的管理经验，在发展过程中不断完善自己，要求自己，不断创新，时刻准备着迎接更多挑战的活力公司，在江苏省等地区的机械及行业设备中汇聚了大量的人脉以及**，在业界也收获了很多良好的评价，这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果，这些评价对我们而言是比较好的前进动力，也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神，努力把公司发展战略推向一个新高度，在全体员工共同努力之下，全力拼搏将共同南京中科煜宸激光技术供应和您一起携手走向更好的未来，创造更有价值的产品，我们将以更好的状态，更认真的态度，更饱满的精力去创造，去拼搏，去努力，让我们一起更好更快的成长！