东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。晟鼎RPS腔体可以损耗监测，实时检测参数变动趋势。海南国产RPS石墨舟处理
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术，在智慧园区建设中得到综合应用，提升园区管理效率与智能化水平。在智慧园区中，RPS 可实现人员、车辆、设备的实时定位管理，通过终端设备可快速查询目标位置，提升调度效率；在安防领域，RPS 可监测人员进出权限，实现区域入侵报警，提升园区安全性。RPS 定位技术与园区物联网平台联动，可实现能耗管理、环境监测等功能的智能触发，如根据人员分布调节照明、空调等设备。该 RPS 智慧园区解决方案具备良好的扩展性，可根据园区规模与需求进行功能升级；通过大数据分析，可优化园区资源配置，降低运营成本。目前，RPS 定位技术已应用于多个智慧园区项目，成为园区智能化建设的中心 RPS 技术支撑。浙江远程等离子电源RPS远程等离子体源为量子点显示提供精密图案化。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司制定的 RPS 检具设计规范，成为汽车行业高精度检测的重要参考标准。RPS 检具设计严格遵循定位一致性原则，确保检具的 RPS 定位结构与零部件在车身上的装配定位完全一致，包括定位销孔位置、定位面形状等关键参数。在精度匹配上，RPS 检具定位元件的制造精度高于零部件公差要求，例如零部件孔位公差为 ±0.2mm 时，RPS 检具销钉公差控制在 ±0.05mm 以内。RPS 检具具备快速装夹、稳定支撑的特点，通过机械锁紧装置固定零部件，避免人为操作导致的检测误差。为保障检测可靠性，RPS 检具需定期通过三坐标测量机进行校准，销钉间距公差需维持在≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。该 RPS 检具设计方案已应用于多家主流车企，有效提升了零部件检测效率与准确性，成为汽车制造质量控制的中心 RPS 工具。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具建立了完善的质量追溯与全生命周期管理体系，确保检测设备的长期可靠性。RPS 检具从原材料采购开始，每个生产环节都有详细的质量记录，包括加工参数、检测结果等，可实现全程追溯。在使用过程中，RPS 检具配备使用记录模块，记录每次检测的时间、操作人员、检测结果等信息，便于设备维护与质量问题排查。晟鼎精密提供 RPS 检具的定期校准与维护服务，根据设备使用情况制定个性化维护方案，延长设备使用寿命。当 RPS 检具达到使用年限后，公司提供专业的回收与报废处理服务，确保环保合规。该 RPS 检具全生命周期管理方案为客户降低了使用成本，提升了检测可靠性，成为企业质量控制的长期合作伙伴。晟鼎RPS拥有高可靠点火方式。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具采用轻量化设计，具备便携性强的明显优势，适用于多种工作场景。RPS 检具选用强度、轻量化的质量材料，在保证结构强度与检测精度的前提下，大幅降低设备重量，便于搬运与安装。对于需要现场检测的场景，如零部件安装现场、户外维修等，RPS 便携检具可快速部署，完成检测任务，无需依赖固定检测场地。该 RPS 便携检具的操作界面简洁直观，配备便携式电源，可在无外接电源的情况下长时间工作。轻量化与便携性设计让 RPS 检具的应用场景更加宽泛，成为现场检测、移动检测的推荐 RPS 设备，为客户提供了更大的使用灵活性。在柔性电子制造中实现低温基板表面活化。福建国内RPS技术指导
远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）作为一种先进的表面处理技术，正逐渐展现其独特的价值。海南国产RPS石墨舟处理
在汽车制造业中，RPS（基准点系统）是保障零部件装配一致性的中心标准，东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检测方案已广泛应用于行业。RPS 遵循 “3-2-1 定位原则”，通过 3 个主定位点和若干辅助定位点限制零部件 6 个自由度，确保设计、制造、检测全流程定位统一。晟鼎精密的 RPS 检测设备支持接触式与非接触式双重检测模式，接触式通过三坐标测量机获取 RPS 定位点实际坐标，非接触式则利用激光扫描快速采集三维数据，两种方式均能精细输出偏差报告。该 RPS 方案的检具定位元件制造精度达到零部件公差的 1/3~1/5，销钉间距公差≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。通过 RPS 系统检测，可有效避免车身间隙不均匀、零部件干涉等问题，目前已成功应用于车身骨架、底盘件、车门等关键零部件生产，成为汽车行业高精度检测的中心 RPS 技术支撑。海南国产RPS石墨舟处理
