RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源,是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术,通过单独腔室生成高密度等离子体,经远程传输区筛选后,只让中性自由基进入主工艺腔,从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中,RPS 展现出优越的工艺适配性,无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工,都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节,可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1,满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中,能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内,长时间运行稳定性强,为半导体量产提供可靠保障,成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。晟鼎RPS具备多种通讯方式。北京RPS

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具采用轻量化设计,具备便携性强的明显优势,适用于多种工作场景。RPS 检具选用强度、轻量化的质量材料,在保证结构强度与检测精度的前提下,大幅降低设备重量,便于搬运与安装。对于需要现场检测的场景,如零部件安装现场、户外维修等,RPS 便携检具可快速部署,完成检测任务,无需依赖固定检测场地。该 RPS 便携检具的操作界面简洁直观,配备便携式电源,可在无外接电源的情况下长时间工作。轻量化与便携性设计让 RPS 检具的应用场景更加宽泛,成为现场检测、移动检测的推荐 RPS 设备,为客户提供了更大的使用灵活性。江西国内RPS石墨舟处理在未来新材料开发中实现原子级操控。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,严格遵循医疗设备生产的合规性要求,为医疗设备小批量生产提供可靠保障。医疗设备属于高风险产品,生产过程需符合 GMP 等相关标准,RPS 快速模具的生产工厂具备医疗设备生产资质,生产环境与流程严格遵循合规要求。在材料选择上,RPS 采用符合医疗标准的环保材料,确保模具及零件的生物相容性与安全性;在质量控制上,RPS 通过多维度检测手段,确保零部件的尺寸精度与表面质量符合医疗设备要求。针对医疗设备的知识产权保护,RPS 建立了严格的保密体系,确保客户设计方案不被泄露。目前,RPS 快速模具已应用于手术器械、康复设备等医疗产品的小批量生产,为医疗行业提供了合规、高效的 RPS 生产方案。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 基准点系统,是保障汽车零部件装配一致性的中心技术。在汽车生产过程中,不同批次、不同供应商的零部件需实现精细装配,RPS 通过统一的定位点标准,确保零部件在装配环节的定位统一。RPS 定位点由 3 个主定位点和若干辅助定位点组成,通过 “3-2-1 定位原则” 限制零部件的 6 个自由度,避免因定位误差导致的装配偏差。在总装车间,RPS 检测设备可快速验证零部件的定位精度,及时发现超差产品,避免不合格零部件流入装配环节。晟鼎精密的 RPS 系统可与汽车生产线上的自动化设备联动,实现零部件装配的自动化定位与检测,提升装配效率。通过 RPS 技术的应用,汽车车身间隙均匀性明显提升,零部件干涉问题大幅减少,成为汽车制造企业提升产品品质的中心 RPS 解决方案。Remote Plasma Source,RPS 通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,凭借多维度技术突破成为精密测量领域的榜样产品。该 RPS 设备搭载双目 500 万像素工业相机,配合 3 组 9 个高分辨率镜头,可通过镜头切换实现 420×240mm² 至 90×52mm² 的多范围扫描,无需调节工作距离即可保证比较好扫描效果。RPS 采用蓝光窄带光源与格雷码、多频外差法双光栅模式,抗干扰能力强,即使在复杂环境下也能精细捕捉细节。在扫描效率上,RPS 单幅测量时间≤1.5 秒,结合多核多线程高速算法与 GPU 加速,数据三维重建速度大幅提升。RPS 支持标志点全自动拼接、特征拼接等多种拼接模式,拼接后自动报告精度,全局误差控制能力突出。该 RPS 设备可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三维软件,数据输出格式丰富,广泛应用于智能装备、机器人、医疗设备等领域的精密测量需求。用于磁性存储器件的精密图形化刻蚀工艺。重庆半导体RPS工厂直销

用于太赫兹器件的超精密清洗。北京RPS

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,为智能家居系统提供了精细的用户位置识别能力,实现个性化服务的智能触发。RPS 通过蓝牙信标、Wi-Fi 指纹等定位方式,可精细识别用户在室内的位置,当用户进入不同房间时,智能家居系统可自动调节灯光亮度、空调温度等设备参数。RPS 定位响应速度快,可实时跟踪用户移动轨迹,确保服务切换的连贯性;定位精度高,避免因位置识别误差导致的服务误触发。该 RPS 定位系统具备良好的扩展性,可与多种智能家居设备联动,支持个性化场景定制,满足不同用户的生活需求。在数据安全方面,RPS 采用加密传输技术,保护用户隐私信息不被泄露。通过 RPS 技术的应用,智能家居的智能化水平与用户体验大幅提升,成为智能家居领域的重要 RPS 技术应用。北京RPS

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