微流控芯片在技术优势上是一个交叉科学的高度集成芯片，可以实现自动完成分析全过程。由于它在生物、化学、医学等领域的巨大潜力，已经发展成为一个集生物、化学、医学、流体、电子、材料、机械等为一体的高科技生物传感芯片。目前针对加工技术的研究领域中，飞秒激光直写技术通常采用的是双光子聚合原理，该原理的基础来自于双光子吸收。简单地来讲，就是光聚合材料在光强足够大的条件下，同时吸收两个近红外光子，材料发生越来越多的光聚合反应。飞秒激光凭借着自己波长大的特性，可以很轻松地穿过材料抵达内部，使材料发生反应而聚合。科学家利用此原理，可以编制程序控制一束激光束逐点扫描建立起3D微纳结构，比如利用双光子吸收诱导光刻胶聚合。光刻胶是一种光敏材料，市面上以正胶和负胶较为常见，分别应用于激光非辐照区和辐照区的加工。除了可以用在聚合物上，双光子吸收还可以用于MEMS微机械制造，形成一些光化学或光物理机制。目前为止，光刻胶、微结构金属、碳材料等等都可以通过多光子的吸收过程进行加工，由此可以看出，双光子聚合具有比较多的可加工材料。硅基微流道键合微电极，为神经调控芯片提供稳定信号传输与生物相容性。广东微流控芯片控制系统
深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破：深硅刻蚀（DRIE）是制备高深宽比微流道的主要工艺，公司通过优化Bosch工艺参数，实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体（ICP）源，结合氟基气体（如SF6）与碳基气体（如C4F8）的交替刻蚀与钝化，确保侧壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时，可精确复制地下岩层的微孔结构，用于油气渗流特性研究；在生化试剂反应腔中，高深宽比流道增加了反应物接触面积，使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术，实现三维立体流道网络加工，为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力，推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。新疆微流控芯片方法深硅刻蚀实现 500μm 以上深度微流道，适用于高压流体控制与微反应器。
微流控芯片是微流控技术实现的主要平台。其装置特征主要是其容纳流体的有效结构（通道、反应室和其它某些功能部件）至少在一个纬度上为微米级尺度。由于微米级的结构，流体在其中显示和产生了与宏观尺度不同的特殊性能。因此发展出独特的分析产生的性能。微流控芯片的特点及发展优势：微流控芯片具有液体流动可控、消耗试样和试剂极少、分析速度成十倍上百倍地提高等特点,它可以在几分钟甚至更短的时间内进行上百个样品的同时分析,并且可以在线实现样品的预处理及分析全过程。
微孔阵列芯片在液滴分散与生化反应中的应用：微孔阵列作为微流控芯片的主要功能单元，其加工精度直接影响液滴生成效率与反应均一性。公司通过光刻胶模塑、激光微加工等技术，在PDMS或硬质塑料基板上制备直径5-50μm、间距可控的微孔阵列，孔密度可达10^4个/cm²以上。在数字PCR芯片中，微孔阵列将反应液分割成微腔，结合油相封装实现单分子级核酸扩增，检测灵敏度可达0.1%突变频率。针对生化试剂反应腔需求，开发了表面疏水处理技术，使液滴在微孔内的滞留时间延长30%，确保酶促反应充分进行。此外，微孔阵列与微流道的集成设计实现了液滴的高通量生成与分选，每分钟可处理10^3个以上液滴，适用于高通量药物筛选与细胞分选芯片，为医疗与生物制药提供高效工具。深度解析微流控芯片技术。
纳米级结构的集成的，让微流控芯片的性能实现质的飞跃，深圳市勃望初芯半导体科技有限公司凭借 EBL 电子束光刻技术，在微流控芯片上实现纳米级功能结构，拓展应用边界。公司可制作基于纳米级微电极阵列的超表面芯片，电极间距小可达 50nm，能精细捕获生物电信号，如在神经科学研究中，该芯片可记录单个神经元的电活动，为脑科学研究提供高分辨率工具；也可制作纳米级金属微柱阵列芯片，通过调控微柱尺寸与排布，实现生物分子的特异性捕获，如在早期检测中，微柱阵列可高效捕获血液中的循环肿瘤细胞（CTCs），捕获效率达 95% 以上。在某生物医疗公司的合作中，勃望初芯为其定制纳米微电极阵列微流控芯片，用于心肌细胞电生理检测，芯片可实时监测心肌细胞的动作电位，为药物心脏毒性评估提供精细数据，这种 “微流控 + 纳米结构” 的融合创新，让芯片具备了传统器件无法比拟的性能优势。微流控芯片技术用于药物筛选。山东微流控芯片功能
10-100μm 几十微米级微流控芯片可实现多样化结构设计与精密加工。广东微流控芯片控制系统
微流控芯片反应信号的收集和分析的难题：由于反应体系较小，故而只产生较低的信号强度，如何收集并分析芯片中产生的信号，是微流控芯片研究的另一项重点，因此，微流控芯片大多需要庞大的信号读取和分析设备。近年来便携性、自动化、敏感的新型微流控芯片读取设备受到科研人员关注。Hu等设计和制造的自动化微流控芯片检测仪器，体积小，功能完善，能够自动连接微流控芯片压力出口和蠕动泵的负压连接器，精确地操控微量液体，并通过内置检测和分析模块，实现自动化、可重复的快速免疫分析。此外一些团队已设计出体积更小的手持式设备用于定量测量反应信号广东微流控芯片控制系统
