本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术:以往,在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如专利文献1中提出了一种钛的蚀刻液,该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛,并且该蚀刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的过氧化氢、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。但是,含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高的问题,含有过氧化氢的蚀刻液存在缺乏保存稳定性的问题。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特许第4471094号说明书。技术实现要素:发明所要解决的问题本发明是鉴于所述实际情况而成,其目的在于提供一种蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法,所述蚀刻液可在铜的存在下选择性地蚀刻钛,而且毒性低,保存稳定性优异。解决问题的技术手段本发明的蚀刻液是为了在铜的存在下选择性地蚀刻钛而使用,并且含有:选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸;以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。所述硫酮系化合物推荐为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。BOE蚀刻液推荐苏州博洋化学股份有限公司。京东方用的蚀刻液蚀刻液厂家现货

silane)系偶联剂和水,上述硅烷系偶联剂使上述硅烷系偶联剂的反应位点(activesite)的数量除以上述硅烷系偶联剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以。此外,提供一种选择硅烷系偶联剂的方法,其是选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法,其特征在于,选择上述硅烷系偶联剂的反应位点(activesite)的数量除以上述硅烷系偶联剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以。发明效果本发明的蚀刻液组合物提供即使不进行另外的实验确认也能够选择在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻氮化物膜的效果和防蚀能力优异的硅烷系偶联剂的效果。此外,本发明的蚀刻液组合物提供在不损伤氧化物膜的同时*选择性蚀刻氮化物膜的效果。附图说明图1是示出3dnand闪存(flashmemory)制造工序中的一部分的图。图2和图3是示出制造3dnand闪存时氮化物膜去除工序(湿法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所发生的工序不良的图。图4是示出能够将3dnand闪存制造工序中发生的副反应氧化物的残留以及氧化物膜损伤不良**少化的、硅烷系偶联剂适宜防蚀能力范围的图。图5是示出硅烷系偶联剂的aeff值与蚀刻程度。池州天马用的蚀刻液蚀刻液生产蚀刻液,适用于多种材料,蚀刻效果好。

可用于银镍合金、银铜合金以及纯银的蚀刻,蚀刻后板面平整光滑。剂对油墨没有影响,可用于花纹蚀刻处理。三、使用方法:1、原液使用,不须加水,操作温度可以是25℃-60℃,温度越高,速度越快。2、将银板浸泡在银蚀刻剂中。用软毛刷来回轻轻刷动,使药水与银充分均匀反应;或者也可以用摇床,使药水来回动运,使板蚀刻速度加快。但不能超声波,以免破坏(感光)油墨。参考数据:50℃→5分钟→0.1毫米深度。30℃→20分钟→0.1毫米深度。3、水洗后做后续处理。
制备装置主体1的内部中间部位活动连接有高效搅拌装置2,制备装置主体1的一侧中间部位嵌入连接有翻折观察板4,制备装置主体1的底端固定连接有装置底座5,装置底座5的内部底部固定连接有成品罐6,装置底座5的顶端一侧固定连接有盐酸装罐7,装置底座5的顶端另一侧固定连接有硝酸装罐8,高效搅拌装置2的内部顶部中间部位活动连接有旋转摇匀转盘12,高效搅拌装置2的内部顶部两侧活动连接有震荡弹簧件14,震荡弹簧件14的顶端固定连接有运转电机组13,运转电机组13的顶端电性连接有控制面板15,高效搅拌装置2的内部中间部位固定连接有致密防腐杆16,致密防腐杆16的内部内侧贯穿连接有搅动孔17,盐酸装罐7的内部一侧嵌入连接有嵌入引流口22,嵌入引流口22的一端固定连接有负压引流器21,负压引流器21的一端固定连接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的内部内侧固定连接有注入量观察刻度线19,注入量控制容器18的一侧嵌入连接有限流销20。推荐的,翻折观察板4的内部顶部活动连接有观察窗翻折滚轮401,观察窗翻折滚轮401的底端活动连接有内嵌观察窗402,该装置在进行制备时,具有一定的危险性,工作人员无法直接对其内部的运行状况进行很好的实时查看,通过设置内嵌观察窗402。封装测试会用到哪些蚀刻液药水;

本实用涉及蚀刻设备技术领域,具体为一种ito蚀刻液制备装置。背景技术:蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发***热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本过高,且混合的效果不好。所以,如何设计一种ito蚀刻液制备装置,成为当前要解决的问题。技术实现要素:本实用新型的目的在于提供一种ito蚀刻液制备装置,以解决上述背景技术中提出的ito蚀刻液制备装置保护性不足、不具备很好的防腐蚀性和混合的效果不好的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种ito蚀刻液制备装置,包括制备装置主体、高效搅拌装置和过滤除杂装置。平板显示用的蚀刻液有哪些;铜钛蚀刻液蚀刻液销售电话
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铜蚀刻液适用于印制版铜的蚀刻,蚀刻速度快。蚀刻速度达4~5um/min。废液回收简单,用于印制板,线路板。本剂也可用于铜工艺品等的蚀刻。蚀刻后的板面平整而光亮。铜蚀刻液的反应速度快、使用温度低、溶液使用寿命长,后处理容易,对环境污染小。用于铜质单面板,双面板、首饰蚀刻,可以蚀刻出任意精美的形态,有效提高蚀刻速度,节约人工水电。常常应用于印刷线路板铜的蚀刻处理1、蚀刻速度快,效率高。使用方便。蚀刻速度可达10微米/分钟。2、可循环使用,无废液排放。1、蓝色透明液体,有气味。2、比重:1.10~1.13。3、PH值:10~11.0。1、采用浸泡的方法即可,浸泡过程中要搅动蚀刻液或移动工件。蚀刻温度为20~40℃,在通风排气处操作,操作时要盖好盖子。2、蚀刻时间可以根据蚀刻的深度确定。京东方用的蚀刻液蚀刻液厂家现货