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如前文所述，必须避免由该喷洒装置50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题，因此，该复数个宣泄孔121的孔径a0必须要足够小，例如：孔径a0小于3mm，即可因毛细现象的作用，亦即该水滴于该宣泄孔121孔洞内的夹角θ等于该水滴与该第二挡板12的该上表面123所夹的接触角θ4，而达到防止位于该第二挡板12的该上表面123的药液51水滴经由该复数个宣泄孔121滴下至该基板20上(如图9所示)。再者，请再参阅图10至图12所示，为本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图、其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图，以及宣泄孔的表面张力局部放大图，其中该宣泄孔121为直通孔与斜锥孔混合的态样(如图10所示)，或是全部为斜锥孔的态样(如图11所示)，其中该宣泄孔121具有一***壁面1211与一第二壁面1212，且该第二挡板12具有一下表面122，当该宣泄孔121为斜锥孔的态样时，该***壁面1211与该下表面122的***夹角θ1不同于该第二壁面1212与该下表面122的第二夹角θ2，亦即该***壁面1211与该第二壁面1212可不互相平行，但应避免该***夹角θ1与该第二夹角θ2差距过大而造成毛细现象破除；此外，当该宣泄孔121为斜锥孔态样时。铝蚀刻液的配方是什么？绵阳铜蚀刻液蚀刻液厂家现货

该宣泄孔121的上孔径a1与下孔径a2亦不相等，且该上孔径a1小于该下孔径a2，或该宣泄孔121由该第二挡板12的下表面122朝向上表面123的方向渐缩，以维持毛细现象而避免该药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题。当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时，该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动，并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出(如图10与图11所示)，除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的显影不均现象，亦可达到避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题；为了必须避免由该喷洒装置50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题，故该复数个宣泄孔121的孔径a0必须要足够小，例如：孔径a0小于3mm，即可因毛细现象的作用，亦即该水滴于该宣泄孔121孔洞内的夹角θ等于该水滴与该第二挡板12的该上表面123所夹的接触角θ4，而达到防止位于该第二挡板12上表面的药液51水滴经由该复数个宣泄孔121滴下至该基板20上(如图12所示)。另请参阅图13所示，为本实用新型蚀刻设备的蚀刻方法的步骤流程图，其中本实用新型蚀刻设备的蚀刻方法主要包括有下列步骤。深圳BOE蚀刻液蚀刻液推荐厂家蚀刻液应用于什么样的场合？

从蚀刻速度及安全性的观点来看，推荐为40℃至70℃，更推荐为45℃至55℃。处理时间视对象物的表面状态及形状等而变化，通常为30秒至120秒左右。实施例然后，对本发明的实施例与比较例一起进行说明。此外，本发明并非限定于下述实施例而解释。制备表1及表2所示的组成的各蚀刻液，在下述条件下进行蚀刻试验及蚀刻液的稳定性试验。此外，表1及表2所示的组成的各蚀刻液中，剩余部分为离子交换水。另外，表1及表2所示的盐酸的浓度为以氯化氢计的浓度。(蚀刻试验)通过溅镀法在树脂上形成50nm的钛膜，然后成膜200nm的铜膜，进而通过电镀铜在该铜膜上形成图案，将所得的基板用作试样。使用铜的蚀刻液，将试样的溅镀铜膜溶解而使钛膜露出。然后，将试样浸渍在实施例1至实施例12及比较例1至比较例3的蚀刻液中进行蚀刻实验。将实验结果示于表1。[表1]像表1所示那样，本发明的蚀刻液可在不蚀刻铜的情况下选择性地蚀刻钛。(蚀刻液的稳定性试验)将实施例1、实施例7、实施例12及比较例4的蚀刻液在室温下放置2天后，进行所述蚀刻试验，比较放置前后的蚀刻速度。将比较结果示于表2。[表2]像表2所示那样，本发明的蚀刻液的保存稳定性优异，即便在长期保存的情况下也可稳定地选择性地蚀刻钛。

本实用新型有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，尤其是指一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备。背景技术：请参阅图1所示，为传统挡液板结构的整体设置示意图，其中一实心pvc板态样的挡液板结构a设置于一湿式蚀刻机(图式未标示)内，主要用以阻挡一蚀刻药液(图式未标示)对设置于该挡液板结构a下方的基板(图式未标示)的喷溅而造成蚀刻不均匀的现象，并且在湿式蚀刻的制程步骤中，该基板设置于二风刀b之间，当该基板设置于一输送装置(图式未标示)而由该挡液板结构a的左方接受蚀刻药液蚀刻后移动至风刀b之间，该等风刀b再喷出一气体c到该基板的表面以将该基板表面残留的蚀刻药液吹除；然而，当在该等风刀b进行吹气的状态下，容易在该挡液板结构a下方形成微小的真空空间而形成涡流并造成真空吸板的问题；因此，如何有效借由创新的硬体设计，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险，仍是湿式蚀刻机等相关产业开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。铜蚀刻液是用来蚀刻铜金属的化学药水；

其中输送装置借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮带动基板由喷洒装置的下端部朝向风刀装置的***风刀的下端部的方向移动。如上所述的蚀刻方法，其中风刀装置分别借由一设置于该输送装置的上端部的***风刀与一设置于该输送装置的下端部的第二风刀朝向基板的上表面与下表面吹送气体。借此，本实用新型所产生的技术效果：本实用新型的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蚀刻不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。附图说明图1：传统挡液板结构的整体设置示意图。图2：本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图。图3：本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图4：本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图5：本实用新型挡液板结构其三较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图6：本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的整体结构示意图。使用蚀刻液，实现高精度图案制作。绵阳铜钛蚀刻液蚀刻液订做价格

蚀刻液使用时要注意什么？绵阳铜蚀刻液蚀刻液厂家现货

并利用水滴的表面张力现象防止水滴由该复数个宣泄孔121落下造成该基板20的蚀刻不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板而导致该基板20刮伤或破片风险等主要优势。该蚀刻设备1可进一步设置有一喷洒装置50，该喷洒装置50设置于该挡液板结构10的一端部，且该基板20设置于该挡液板结构10的下方约8毫米至15毫米之间，其中该喷洒装置50用以喷洒一药液51至该基板20上，以对该基板20进行一湿式蚀刻制程；由上述的说明，挡液板结构10的设置即是为了避免喷洒装置50的药液51继续对已经完成蚀刻步骤的基板20再进行蚀刻制程，故仍旧会有少量的药液51喷洒在挡液板结构10上而留下该药液51的水滴，而该药液51的水滴亦不能落入该基板20上，以避免该基板20的蚀刻不均的现象产生。该输送装置30设置于该基板20的下方，该输送装置30包括有至少一滚轮31，其中该滚轮31与该基板20接触以运行该基板20；在本实用新型其一较佳实施例中，该输送装置30用以承载并运送至少一该基板20于该湿式蚀刻机内运行，并接受湿式蚀刻的喷洒装置50的制程运作，故该输送装置30具有一驱动机构(图式未标示)以驱动该滚轮31转动，例如：顺时针旋转。绵阳铜蚀刻液蚀刻液厂家现货