企业商机
蚀刻液基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 产品名称
  • 钼铝钼蚀刻液
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机酸
  • 产品性状
  • 液态
蚀刻液企业商机

所述装置主体的内部底部中间部位固定连接有常闭式密封电磁阀,所述连接构件的内侧固定连接有过滤部件,所述装置主体的内部底端另一侧固定连接有收集仓,所述收集仓的另一侧底部固定连接有密封阀门,所述过滤部件的顶端两侧活动连接有滑动盖,所述过滤部件的内部中间两侧固定连接有收缩弹簧管,所述连接构件的内侧两端嵌入连接有螺纹管,所述连接构件的内部中间两侧活动连接有活动轴,所述连接构件的内侧中间两侧嵌入连接有密封软胶层。推荐的,所述硝酸钾储罐的顶部嵌入连接有密封环。推荐的,所述连接构件的两侧嵌入连接有海绵层。推荐的,所述支撑腿的底端嵌入连接有防滑纹。推荐的,所述过滤部件的内部两侧嵌入连接有过滤板。推荐的,所述过滤部件设置有一个,所述过滤部件设置在连接构件的内侧,所述过滤部件与连接构件固定连接。推荐的,所述连接构件设置有十四个,所述连接构件设置在搅拌仓的底部,所述连接构件与搅拌仓固定连接。与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:1.高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置,过滤部件,过滤部件设置在连接构件的内侧,过滤部件与连接构件固定连接,过滤部件能将制备出的蚀刻液进行过滤。哪家的蚀刻液价格比较低?铝钼铝蚀刻液蚀刻液哪里买

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提高反应体系的稳定性。当体系中加入过氧化氢后有助于提高过氧化氢的稳定性,避免由于过氧化氢分解而引发的,提高生产的安全性。具体实施方式下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。一种酸性铜蚀刻液的生产工艺,所述工艺包括以下步骤:第一步:将纯水进行低温处理,使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用;纯水罐中设有通过电路控制的电磁阀,当纯水温度高于10℃时,电磁阀无法打开。第二步:配制和准备原料,将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中,经过过滤器循环过滤,备用;将hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2分别投入对应的原料罐,备用。亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸需要稀释后使用,hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2无需调配可直接用于制备蚀刻液。第三步:根据混酸配制表算出各个原料的添加量,按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→hno3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐,将上述混料充分搅拌,搅拌时间为3~5h。第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,继续搅拌混匀,搅拌时间为3~5h,用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。苏州格林达蚀刻液订做价格「博洋化学」蚀刻液提铜 提供微电子领域个性化解决方案!

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以带动该基板20由该喷洒装置50下端部朝向该风刀装置40的该***风刀41下端部的方向移动。该风刀装置40设置于该挡液板结构10的一端部,该风刀装置40包括有一设置于该基板20上方的***风刀41,以及一设置于该基板20下方的第二风刀42,其中该***风刀41与该第二风刀42分别吹出一气体43至该基板20,以将该基板20上的一药液51带往与相反于该基板20的行进方向,以使该基板20上该药液51减少,其中该气体43远离该***风刀41与该第二风刀42的方向分别与该基板20的法线方向夹设有一第三夹角θ3,且该第三夹角θ3介于20度至35度之间。此外,请一并参阅图8与图9所示,为本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图,以及宣泄孔的表面张力局部放大图,其中该宣泄孔121为直通孔的态样,当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时,该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动,并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出(如图8所示),除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的蚀刻不均现象,亦可达到以破真空的原理避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题;此外。

本发明涉及蚀刻液组合物及选择添加于该蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法。背景技术:参照图1,可以确认3dnand闪存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand闪存可以通过在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)来制造。在不损伤氧化物膜的同时将氮化物膜完全去除是这样的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技术之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蚀刻液组合物利用具有防蚀能力的添加剂以获得在不损伤氧化物膜的同时*将氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不损伤氧化物膜的范围内将氮化物膜完全去除时,会使用防蚀能力强的添加剂,由此可能发生氮化物膜没有被完全去除的工序不良(参照图2)。此外,想要将氮化物膜完全去除时,会使用防蚀能力弱的添加剂,由此虽然氮化物膜被完全去除,但是可能发生对氧化物膜也造成损伤(damage)的工序不良(参照图3)。以往,为了在包含氧化物膜和氮化物膜的多层膜中*将氮化物膜选择性完全去除而选择具有适当水平的防蚀能力的添加剂时,按照添加剂的种类和浓度通过实验进行确认。没有这样的实验确认就选择添加剂实际上是不可能的。蚀刻液的分类有哪些;

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所述液位计连接有液相气相温度传感器和压力传感器。在其中一个实施例中,所述分离器的侧壁上设有多个视镜。在其中一个实施例中,所述液位计安装于所述分离器的外表面。在其中一个实施例中,所述液位开关为控制阀,设置于所述滤液出口处。在其中一个实施例中,所述加热器为盘管式加热器。在其中一个实施例中,所述分离器底部为锥体形状。上述,利用加热器对含铜蚀刻液进行加热,使其达到闪蒸要求的温度,将加热好的含铜蚀刻液输送至分离器,经过减压阀及真空泵减压,含铜蚀刻液在分离器内发生闪蒸,产生大量蒸汽,蒸汽中携带着大小不等的液滴,通过除雾组件和除沫组件可以防止大液滴从蒸汽出口飞出,减小产品损失。附图说明图1是本实施例的结构示意图;图2是本实施例的外观示意图。图中:1、液体入口;2、滤液出口;3、除雾组件;4、除沫组件;5、蒸汽出口;6、液相气相温度传感器;7、液位计;8、压力传感器;9、液位开关;10、视镜;11、加热器;12、减压阀;13、真空泵。具体实施方式在一个实施例中,如图1所示,一种含铜蚀刻液气液分离装置,包括分离器及加热器11,所述分离器设有液体入口1、蒸汽出口5及滤液出口2,所述液体入口1用于将加热器11产生的液体输入至分离器中。BOE蚀刻液生产厂家就找苏州博洋化学股份。成都蚀刻液溶剂

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也不能在回收结束后对装置内部进行清理的问题。为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种废铜蚀刻液的回收处理装置,包括装置主体,所述装置主体内部中间位置固定安装有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中间位置固定安装有承载板,所述承载板上端表面放置有电解池,所述电解池内部中间位置设置有隔膜,所述装置主体上端表面靠近右侧安装有进液漏斗,所述进液漏斗上设置有过滤网,所述装置主体内部靠近顶端设置有进液管,所述进液管左端连接有伸缩管,所述伸缩管下端安装有喷头,所述装置主体上端表面靠近左侧固定安装有液压缸,所述液压缸下端安装有伸缩杆,所述伸缩杆下端固定安装有圆环块,所述圆环块与喷头之间固定连接有连接杆,所述分隔板右端表面靠近上端固定安装有增压泵,所述增压泵下端与电解池之间连接有回流管,所述增压泵上端与进液管之间连接有一号排液管,所述回流管内部左端设置有一号电磁阀,所述装置主体左端表面靠近上端固定安装有抽气泵,所述抽气泵下方设置有集气箱,所述集气箱与抽气泵之间连接有排气管,所述电解池下端连接有二号排液管,所述二号排液管内部上端设置有二号电磁阀,所述装置主体内部底端靠近左侧设置有倾斜板。铝钼铝蚀刻液蚀刻液哪里买

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