微米级尺度微流控芯片的精密加工与应用:在0.5-5μm微米级尺度微流控芯片加工领域,公司依托MEMS光刻、深硅刻蚀及纳米压印等技术,实现亚微米级精度的微流道、微孔阵列及三维结构制造。电镜下可见的精细流道网络,其宽度误差可控制在±50nm以内,适用于单分子检测、液滴生成等超高精度场景。例如,在单分子免疫检测芯片中,微米级微孔阵列可实现单个生物分子的捕获与荧光信号放大,检测灵敏度较传统方法提升10倍以上。该尺度芯片的加工难点在于材料刻蚀均匀性与表面粗糙度控制,公司通过干湿结合刻蚀工艺与表面化学修饰技术,解决了高深宽比结构(如10:1以上)的加工瓶颈,成功应用于外泌体分选、循环肿瘤细胞捕获等前沿生物医学领域,为精细医疗提供器件支撑。完善 PDMS 芯片产线覆盖来料加工、生产、质检,支持高标准批量交付。湖北微流控芯片服务
lab-on-chip 产生的应用目的是实现微全分析系统的目标-芯片实验室,目前工作发展的重点应用领域是生命科学领域。当前(2006)研究现状:创新多集中于分离、检测体系方面;对芯片上如何引入实际样品分析的诸多问题,如样品引入、换样、前处理等有关研究还十分薄弱。它的发展依赖于多学科交叉的发展。目前媒体普遍认为的生物芯片(micro-arrays),如,基因芯片、蛋白质芯片等只是微流量为零的点阵列型杂交芯片,功能非常有限,属于微流控芯片(micro-chip)的特殊类型,微流控芯片具有更广的类型、功能与用途,可以开发出生物计算机、基因与蛋白质测序、质谱和色谱等分析系统,成为系统生物学尤其系统遗传学的极为重要的技术基础。重庆微流控芯片工程测量利用微流控芯片做疾病抗原检测。
公司独特的MEMS多重转印工艺:将硅母模上的微结构通过紫外固化胶转印至硬质塑料,可在10个工作日内完成从设计到成品的全流程开发。以器官芯片为例,通过该工艺制造的PMMA多层芯片,集成血管内皮屏障与组织隔室,可模拟肺、肝等的生理功能,用于药物毒性评估时,数据一致性较传统细胞实验提升80%。此外,PDMS芯片凭借优异的气体渗透性(O₂扩散系数达3×10⁻⁵cm²/s),广泛应用于气体传感领域,其标准化产线可实现月产10,000片的高效交付。
深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破:深硅刻蚀(DRIE)是制备高深宽比微流道的主要工艺,公司通过优化Bosch工艺参数,实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体(ICP)源,结合氟基气体(如SF6)与碳基气体(如C4F8)的交替刻蚀与钝化,确保侧壁垂直度>89°,表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时,可精确复制地下岩层的微孔结构,用于油气渗流特性研究;在生化试剂反应腔中,高深宽比流道增加了反应物接触面积,使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术,实现三维立体流道网络加工,为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力,推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。支持 0.5-5μm 微米级尺度微流控芯片加工,满足单分子检测等高精需求。
生物芯片表面亲疏水涂层工艺的精细控制:亲疏水涂层是调节微流控芯片内流体行为的关键技术,公司通过气相沉积、溶液涂覆及等离子体处理等方法,实现表面接触角在30°-120°范围内的精细调控(精度±2°)。在液滴生成芯片中,疏水涂层流道配合亲水微孔,可实现单分散液滴的稳定生成,液滴尺寸变异系数<5%;在细胞培养芯片中,亲水性表面促进细胞贴壁,结合梯度涂层设计实现细胞迁移方向控制,用于肿瘤细胞侵袭研究。涂层材料包括全氟聚醚(PFPE)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)及亲水性聚合物,通过表面能匹配与化学接枝技术,确保涂层在酸碱环境(pH2-12)与有机溶剂中稳定存在超过200小时。该技术解决了复杂流道内流体滞留、气泡形成等问题,提升了芯片在生化反应、药物筛选等场景中的可靠性,成为微纳加工领域的核心竞争力之一。利用微流控芯片做抗体检测。重庆微流控芯片工程测量
从设计到硬质塑料芯片成型的快速工艺,大幅缩短研发周期与试产成本。湖北微流控芯片服务
微流控芯片的未来发展与公司技术储备:面对微流控技术向集成化、智能化发展的趋势,公司持续投入三维多层流道加工、芯片与微纳传感器/执行器的异质集成,以及生物相容性材料创新。在技术储备方面,已突破10μm以下尺度的纳米流道加工(结合电子束光刻与纳米压印),为单分子DNA测序芯片奠定基础;开发了基于形状记忆合金的微阀驱动技术,实现芯片内流体的主动控制;储备了可降解聚合物(如聚乳酸-羟基乙酸共聚物,PLGA)微流控芯片工艺,适用于体内植入式检测设备。未来,公司将聚焦“芯片实验室”全集成解决方案,推动微流控技术在个性化医疗、环境监测、食品安全等领域的深度应用,通过持续创新保持在微纳加工与生物传感芯片领域的技术地位。湖北微流控芯片服务