深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破：深硅刻蚀（DRIE）是制备高深宽比微流道的主要工艺，公司通过优化Bosch工艺参数，实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体（ICP）源，结合氟基气体（如SF6）与碳基气体（如C4F8）的交替刻蚀与钝化，确保侧壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时，可精确复制地下岩层的微孔结构，用于油气渗流特性研究；在生化试剂反应腔中，高深宽比流道增加了反应物接触面积，使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术，实现三维立体流道网络加工，为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力，推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。支持 0.5-5μm 微米级尺度微流控芯片加工，满足单分子检测等高精需求。海南微流控芯片参考价
微流控芯片的原理：微流控芯片基于微流体力学原理，通过对微尺度通道内流体的操控，实现对微小流体的混合、分离、传输和操控。微流控芯片的操作通常通过控制微阀门、微泵等来调节流体的压力、流速和流量，从而实现对微流体的控制。
微流控芯片的分类：微流控芯片可以根据不同的应用领域和功能进行分类，常见的分类包括：生物传感芯片-用于生物医学研究、生物分析和生物检测等领域，如细胞培养芯片、DNA分析芯片等。化学芯片：用于化学分析、化学合成和药物筛选等领域，如微反应器芯片、分析芯片等。环境芯片：用于环境监测和污染物检测等领域，如水质监测芯片、气体传感器芯片等。 河北微流控芯片 产业化MEMS 多重转印工艺实，较短可 10 个工作日交付。
心脏组织微流控芯片（HoC）是一种先进的OoC，它模仿了服用剂型或特定药物分子后人类心脏的整体生理学。使用该芯片已经观察到一些不良反应。Mathur等人在2015年证明了动物试验不足以估计测试药物分子相对于人体的确切药代动力学和药效学。为此，微流控芯片技术在心血管疾病研究，心血管相关药物开发，心脏毒性分析以及心脏组织再生研究中起着至关重要的作用。Sidorov等人于2016年创建了一个I-wired HoC。他们检测到心肌收缩，这是通过倒置光学显微镜测量的。此外，工程化的3D心脏组织构建体（ECTC）现在能够在正常和患病条件下复制心脏组织的复杂生理学。图1C显示了心脏组织微流控芯片的示意图，其中上层由心脏上皮细胞组成，下层由心脏内皮细胞组成。两层都被多孔膜隔开。它还包括有助于抽血的真空室。
在微流控芯片定制加工方面，公司已建立完善的PDMS芯片标准化产线，以自研产品单分子系列PDMS芯片产线为基础，建立了完善的PDMS硅胶来料、PDMS芯片加工、PDMS成品质检、测试小试产线。涵盖硅胶来料处理、精密模具成型、成品质检等环节，可批量交付单分子级检测芯片、液滴生成芯片等产品。其微流控解决方案广泛应用于毛细导流模拟、高通量测序反应腔构建、地质勘探流体分析等多元化场景，彰显“MEMS+医疗”技术跨界融合的创新价值。通过工艺标准化与定制化能力的深度协同，正推动微纳加工技术从实验室原型向产业化应用的高效转化。微流控分为被动式微流控和主动式微流控。
公司独特的MEMS多重转印工艺：将硅母模上的微结构通过紫外固化胶转印至硬质塑料，可在10个工作日内完成从设计到成品的全流程开发。以器官芯片为例，通过该工艺制造的PMMA多层芯片，集成血管内皮屏障与组织隔室，可模拟肺、肝等的生理功能，用于药物毒性评估时，数据一致性较传统细胞实验提升80%。此外，PDMS芯片凭借优异的气体渗透性（O₂扩散系数达3×10⁻⁵cm²/s），广泛应用于气体传感领域，其标准化产线可实现月产10,000片的高效交付。
硬质塑料微流控芯片可加工 PMMA、COC 等材质，满足工业检测与 POCT 需求。新型微流控芯片材料
微流控芯片技术用于液体活检。海南微流控芯片参考价
特定设计芯片的批量生产也降低了其成本。Caliper的旗舰产品是LabChip 3000新药研发系统，其微流体成分分析可以达到10万个样品，还有用于高通量基因和蛋白分析的LabChip 90 电泳系统。据Caliper宣称，75 %的主要制药和生物技术公司都在使用LabChip 3000系统。美国加州的安捷伦科技公司曾与Caliper科技公司签署正式合作协议，该项合作于1998年开始，安捷伦作为一个仪器生产商的实力，结合其在喷墨墨盒的经验，在微流控技术尚未成熟时，就对微流体市场做出了独特的预见，除了采用MEMS微纳米加工技术外，采用喷墨打印是目前为止微流控技术应用很多的产品路径之一。海南微流控芯片参考价
