光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。上海晶圆等离子清洗机设备
随着科技的进步和市场需求的变化，Plasma封装等离子清洗机也在不断进行技术创新和升级。一方面，为了提高处理效率和效果，研究人员正在探索更高频率、更高能量的等离子体产生技术，以及更优化的工艺气体组合和反应条件。另一方面，为了满足不同行业、不同材料的需求，Plasma封装等离子清洗机正在向多功能化、智能化方向发展。例如，通过集成传感器和控制系统，实现对清洗过程的实时监测和自动调节；通过开发软件和算法，实现对不同材料、不同污染物的准确识别和高效处理。此外，随着环保意识的提高和绿色生产理念的普及，Plasma封装等离子清洗机在设计和制造过程中也将更加注重环保性能，采用低能耗、低排放的设计理念和技术手段。上海晶圆等离子清洗机设备等离子清洗机对所处理的材料无严格要求，无论是金属、半导体、氧化物，都能进行良好的处理。
在半导体制造行业，等离子清洗机被广泛应用于晶圆清洗、封装前处理等环节。通过去除芯片表面的微小颗粒、有机物残留和金属离子等污染物，确保芯片的纯净度和可靠性，提高成品率和性能。在精密机械领域，等离子清洗技术用于清洗精密零件表面，去除油渍、锈迹和氧化物等，改善零件的表面粗糙度和光洁度，提高机械配合精度和使用寿命。航空航天工业中，等离子清洗机用于处理飞行器部件的表面，去除涂层脱落、油漆残留等问题，同时增强涂层与基材之间的结合力，提高飞行器的安全性和耐久性。生物医药领域，等离子清洗技术被用于医疗器械、植入物、生物材料的表面清洁与改性，去除表面污染物，提高材料的生物相容性和细胞粘附性，促进伤口愈合和组织再生。这些应用案例充分展示了等离子清洗机在多个行业中的广适用性和重要作用。
等离子清洗机，作为现面处理技术中的佼佼者，其基本原理基于等离子体物理学。等离子体，作为物质的第四态，由高度电离的气体组成，其中包含了大量的电子、离子、自由基及中性粒子等活性成分。在等离子清洗机中，通过特定的放电方式（如射频放电、微波放电或直流放电等），将工作气体（如氩气、氧气、氮气或混合气体）激发成等离子体状态。这些高能活性粒子在电场作用下，加速撞击待处理物体的表面，与表面污染物发生物理化学反应，如剥离、氧化、还原、刻蚀等，从而实现表面清洁与改性的目的。等离子清洗机因其非接触式、无化学残留、环境友好、清洗效果明显且可处理复杂形状工件等优点，被广泛应用于半导体制造、精密机械、航空航天、生物医药等多个领域，成为现代工业中不可或缺的表面处理设备。plasma等离子清洗机是一款通过plasma（等离子体）进行表面处理的设备。
等离子清洗机的应用领域极为广，几乎涵盖了所有需要表面清洗和改性的行业。在半导体与光电子行业中，等离子清洗机被用于去除晶圆表面的有机污染物、颗粒、金属杂质等，提高器件的良率和性能；在汽车零部件制造中，等离子清洗机用于清洗发动机缸体、活塞、喷油嘴等部件，去除油污、油脂等污染物，提高零件的清洁度和性能；在医疗器械领域，等离子清洗机则用于手术器械、植入物、牙科器械等的清洗和消毒，确保无菌性和安全性。此外，等离子清洗机还在生物材料表面改性、飞机零部件清洗、航空电子设备清洗、精密机械零件清洗等多个领域发挥着重要作用。随着工业化、信息化的发展，等离子清洗机的市场需求持续增长，特别是在半导体、汽车、医疗等行业中，其应用前景更加广阔。大气等离子适用于各种平面材料的表面清洗活化，可搭配直喷或旋转喷头。北京常压等离子清洗机
真空等离子清洗设备是利用等离子体的物理和化学作用来清洗物体表面的一种设备。上海晶圆等离子清洗机设备
等离子清洗机应用领域1.汽车行业：点火线圈骨架表面活化、汽车门窗密封件的处理、控制面板在粘合前处理、内饰皮革包裹、内饰植绒前处理等等；2.医疗行业：培养皿表面活化、医疗导管粘接前处理、输液器粘接前的处理、酶标板的表面活化等等；3.新能源行业：新能源电池电芯的表面处理、电池蓝膜的表面处理、电池表面粘接前的处理等等；4.电子行业：芯片表面处理、封装前的预处理、各类电子器件粘接前处理、支架及基板的表面处理等等；等离子清洗机设计的行业非常的大，在用户遇到，表面粘接力、亲水性、印刷困难、涂覆不均匀等等问题，都可以尝试等离子清洗机的表面处理，通过表面活化、改性的方式解决问题。上海晶圆等离子清洗机设备
