气流流型的设计应满足以下要求:1.气流流型应符合空气洁净度等级的要求。当空气洁净度要求为1~4级时,应采用垂直单向流;当空气洁净度要求为5级时,应采用垂直单向流或水平单向流;当空气洁净度要求为6~9级时,宜采用非单向流。2.洁净室工作区的气流分布应均匀。3.洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。4.洁净室的送风量应取以下三项中的最大值:a.为保证空气洁净度等级的送风量;b.根据热、湿负荷计算确定的送风量;c.向洁净室内供给的新鲜空气量。5.为保证空气洁净度等级,送风量应按照下表中的相关数据进行计算,或根据室内发尘量进行计算。洁净车间设计欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。贵州净化工程设计品牌推荐
洁净厂房的平、剖面设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应具有良好的隔声性能,并使各部分隔声量相接近。洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,应设置隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。洁净室内的排风系统除事故排风外应进行减噪设计。净化空调系统,根据室内容许噪声级要求,风管内风速宜按下列规定选用:总风管为6~10m/s,无送、回风口的支风管为4~6m/s,有送、回风口的支风管为2~5m/s。贵州净化工程设计是干什么的细胞设计欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。
应设置单独的物料入口,物料传递路线应短,物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。洁净区、人员净化、物料净化和其它辅助用房应分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调。洁净厂房内应少设隔间,但在下列情况下应予分隔:按生产的火灾危险性分类,甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间,或有防火分隔要求者。生产联系少,并经常不同时使用的两个生产区段之间。在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下,洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置,应优先考虑净化空调系统的要求。洁净实验室设计联系成都博一医药设计有限公司。
洁净室(区)外窗设计应符合下列要求:1.当洁净室(区)和人员净化用室设置外窗时,应采用双层玻璃固定窗,并应有良好的气密性。2.靠洁净室室内一侧窗不宜设窗台。3.洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启,并加设闭门器,无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。4.洁净室门窗、墙壁、顶棚等的设计应符合下列要求:5.洁净室门窗、墙壁、顶棚、地(楼)面的构造和施工缝隙,均应采取可靠的密闭措施。6.当采用轻质构造顶棚做技术夹层时,夹层内宜设检修通道。7.洁净室窗宜与内墙面齐平,不宜设窗台。8.洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数:顶棚和墙面宜为0.6~0.8,地面宜为0.15~0.35。细胞厂房设计认准成都博一医药设计有限公司。北京净化工程设计选型
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洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施,并应根据需要设置生活用室和其它用室。人员净化用室和生活用室的设置应为:人员净化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更换洁净工作服等房间。厕所、盥(guàn)洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等其它用室,可根据需要设置。人员净化用室和生活用室的设计,应符合下列要求:人员净化用室的入口处,应设净鞋措施。存外衣和更洁净工作服应分别设置。外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜,洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内。盥(guàn)洗室应设洗手和烘干设施。空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按比较大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设旁通门。贵州净化工程设计品牌推荐