本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS>MTFT或MTFT>MTFS,能够利用像散,让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变窄,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变宽,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变窄),有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置,从而提高测量的准确度;由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形,将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低,也不会影响测量精度;不仅如此,由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄,而在MTF值被降低的方向上光斑变宽,所以光斑与像元之间的接触面积增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响;此外,由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜无需兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值,所以能够降低物镜的设计难度,节省制造和维护成本;高精度激光位移传感器的响应速度非常快,能够实时监测目标物体的位移变化。徐汇区激光位移传感器生产商
激光位移传感器根据入射光角度的不同可分为直入射式和斜入射式两种[1],本设计采用的是直入射式,其光路结构如图1所示。整套光路可以分为两部分,即整形系统和接收系统[2]。左边部分是光束整形系统,其作用是将激光器发出的光束汇聚在工作范围内,使汇聚的光斑尽量小而均匀。光源为半导体激光器(LD),它经整形系统在测量范围50±10mm内形成均匀的光斑。后面则是光束接收系统,它将物体表面的漫反射光汇聚到光敏探测器上,使其精确成像。图中α为被测面与成像透镜光轴夹角,β为光敏探测器与光轴的夹角,do和di分别表示物距和像距。原装激光位移传感器详情非接触式位移传感器的出现推动了现有技术的适应,以满足新的测量要求并提高测量的准确性和分辨率。
方式[0019]请参照图1所示,本实用新型激光位移传感器检验校准装置100的较佳实施例,包括一可伸缩导轨1、一微调装置2、一传感器夹持装置3、一激光位移传感器4以及一激光红外线接收挡板5;所述微调装置2和传感器夹持装置3设于所述可伸缩导轨1的上端;所述激光位移传感器4夹持在所述传感器夹持装置3上,且使所述激光位移传感器4的激光发射端朝向所述微调装置2;所述激光红外线接收挡板5与所述微调装置2固接,且使所述激光红外线接收挡板5的接收面朝向所述传感器夹持装置3。
加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度检测不仅包括非球面表面形状的检测,还包括非球面中心偏差的测量。要求非球面透镜的形状误差在几厘米到几十厘米的范围内小于1μm。受现有冷加工工艺、车床运动误差、磨削力变形及检测误差的限制,加工的非球面光学元件会产生一些质量缺陷,无法保证跨尺度的产品满足高精度要求。为了使非球面透镜表面形状误差、中心偏差等参数满足设计精度要求,往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差检测信息进行多误差校正和补偿加工。它可以用于测量液压系统的位移,以提高系统的控制精度。
本实用新型涉及一种检验校准装置,特别指一种激光位移传感器检验校准装置。激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器,它由激光器、激光检测器、测量电路组成。激光位移传感器是一种新型的测量仪表,能够非接触测量被测物体的位移变化,并且测量精度高。在激光位移传感器的使用过程中,由于设备的磨损老化等原因,导致激光位移传感器的测量误差增大,此时需要将激光位移传感器进行定期的检验、校准。目前,对激光位移传感器的检验、校准,主流的做法是测量一个已知的距离(比如:1米、5米、10米等),通过对比测量的数值与实际的数值来判断测量的精确度。但是这种方法存在有如下问题:1、检验的精度不够高;2、需要较大的场地。它可以用于测量建筑结构的变形和振动。常州激光位移传感器量大从优
激光位移传感器是利用激光技术进行测量的传感器。徐汇区激光位移传感器生产商
在采用方式2的情况下,可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃),配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时,可以在微米量级进行调整。每次调整后,可以进行MTF解析,在判断解析结果满足上述条件时,停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件,则继续进行调整。此外,在图1所示的实施例中,反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间,从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率,减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下,反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。徐汇区激光位移传感器生产商