在以激光三角法为基本原理的激光位移传感器中，相对于成像物镜，物面和像面都成倾斜状态，即物面与像面都与成像物镜光轴成一定的夹角。在传统激光位移传感器中，光学系统设计都兼顾成像物镜子午方向(T方向)和弧矢方向(S方向)两个方向的成像质量。由于需要兼顾两个方向的成像质量，所以这种需求的存在会增加激光位移传感器的成像物镜设计难度，提高制造和维护成本。不仅如此，随着激光位移传感器的使用，很可能会因为振动、机械变形等原因，使得激光器发出的光斑无法准确投射到传感器上，导致系统信噪比降低，影响测量的准确性，甚至可能出现完全无法进行测量的问题。高精度激光位移传感器采用激光技术，能够实现非常精确的位移测量。嘉定区激光位移传感器免费咨询
一种激光位移传感器，包括激光器、成像物镜以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT>MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，所述成像物镜本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，所述成像物镜本身的MTFT>MTFS，使得所述解析结果满足所述条件；和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件，并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离，使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS>MTFT×10。南京激光位移传感器规格尺寸齐全高精度激光位移传感器的响应速度非常快，能够实时监测目标物体的位移变化。
如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置；所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上，所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器；所述夹持器套设在所述纵向螺杆上，所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa
在一个实施例中，激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离，在空间频率为62.5lp/mm处，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值，MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值，曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值，曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值；曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值；曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中，在弧矢方向内，向光轴以里偏离为正，向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中，在空间频率为62.5lp/mm处，量程内被测点的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。类似地，在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下，同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。它具有高度稳定性和可靠性。
系统的整体结构如图1所示。从图1可以看出，整个系统由上位机、激光位移传感器和平台运动控制系统三部分组成。激光位移传感器由激光位移控制器、感测头和监视器组成。平台运动控制系统主要由平移台运动控制器、驱动器、电源和二维电动平移台组成。系统的部分设备如图2所示。图2列出了激光位移传感器感测头和二维电动平移台。图3为激光位移传感器感测头测量对象物原理。参考距离根据被测对象物的变化可测量范围为2 mm，基准距离为30 mm，传感器显示解析度为0.3μm，线性度达到满量程的0.3％，即精度达到6μm。它可以实时监测物体的位移变化，提供准确的数据支持。闵行区激光位移传感器行情
此外，它们通常具有用户友好的界面和操作方式，使得使用者能够轻松地进行测量和数据分析。嘉定区激光位移传感器免费咨询
2、与传统激光位移传感器相比，本发明所涉及的激光位移传感器在光学系统中，S方向的成像质量更高，进而从理论上可提高其测量精度；3、通过增加像散使线阵感光元件上的光斑信号呈现长条状态，增大光斑信号与像元之间的接触面积，进而降低机械件变形对信噪比的影响。在以上描述的实施例中，感光元件的感光单元沿着水平方向(将弧矢方向定义为水平方向)排列，将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在子午方向上的MTF值降低，而将弧矢方向上的MTF值拉高。在其他实施例中，感光元件的感光单元沿着竖直方向(将子午方向定义为竖直方向)排列，此时，可以将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在弧矢方向上的MTF值降低，而将子午方向上的MTF值拉高。这样，同样能够达到上述类似的技术效果。以上所述only为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。嘉定区激光位移传感器免费咨询
