在硅片栅线的厚度测量过程中,创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光谱共焦位移传感器具有0.025 µm的重复精度,±0.02%的线性精度,10kHz的测量速度和±60°的测量角度。它适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面和多层玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太网和模拟量数据传输接口。在测量太阳能光伏板硅片栅线厚度时,使用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线厚度可通过栅线高度与基底高度之差获得,通过将需要扫描测量的硅片标记三个区域并使用光谱共焦C1200单探头单侧测量来完成测量。由于栅线不是平整面,并且有一定的曲率,因此对于测量区域的选择具有较大的随机性影响。光谱共焦技术主要来自共焦显微术,早期由美国学者Minsky提出。内径测量 光谱共焦的原理
玻璃基板是液晶显示屏必须的部件之一,每个液晶屏需要两个玻璃基板,用作底部基板和彩色滤光片底部的支撑基板。玻璃基板的质量对面板的分辨率、透光度、厚度、净重和可见角度等参数都有很大的影响。玻璃基板是液晶显示屏中基本的构件之一,其制备过程需要获得非常平坦的表面。当前在商业上使用的玻璃基板厚度为0.7毫米和0.5毫米,未来还将向更薄的特殊groove (如0.4毫米)厚度发展。大多数TFT-LCD稳定面板需要两个玻璃基板。由于玻璃基板很薄,而厚度规格要求相当严格,通常公差稳定在0.01毫米,因此需要对夹层玻璃的厚度、膨胀和平面度进行清晰的测量。使用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以很好地解决这个问题,一次测量就可以获得多个高度值和厚度补偿。同时,可以使用多个传感器进行测量,不仅可以提高效率,还可以防止接触式测量所带来的二次损伤。内径测量 光谱共焦的原理光谱共焦技术可以测量位移,利用返回光谱的峰值波长位置。
表面粗糙度是指零件在加工过程中由于不同的加工方法、机床与刀具的精度、振动及磨损等因素在工件加工表面上形成的具有较小间距和较小峰谷的微观水平状况,是表面质量的一个重要衡量指标,关系零件的磨损、密封、润滑、疲劳、研和等机械性能。表面粗糙度测量主要可分为接触式测量和非接触式测量。触针式接触测量容易划伤测量表面、针尖易磨损、测量效率低、不能测复杂表面,而非接触测量相对而言可以实现非接触、高效、在线实时测量,而成为未来粗糙度测量的发展方向。目前常用的非接触法主要有干涉法、散斑法、散射法、聚焦法等。而其中聚焦法较为简单实用。采用光谱共焦位移传感器,搭建了一套简易的测量装置,对膜式燃气表的阀盖粗糙度进行了非接触的测量,以此来判断阀盖密封性合格与否,取得了一定的效果。基于光谱共焦传感器,利用其搭建的二维纳米测量定位装置对粗糙度样块进行表面粗糙度的非接触测量,并对测量结果进行不确定评定 ,得到 U95 为 13.9%。
在电化学领域,电极片的厚度是一个重要的参数,直接影响着电化学反应的效率和稳定性,我们将介绍光谱共焦位移传感器对射测量电极片厚度的具体方法。首先,我们需要准备一块待测电极片和光谱共焦位移传感器。将电极片放置在测量平台上,并调整传感器的位置,使其与电极片表面保持垂直。接下来,通过软件控制传感器进行扫描,获取电极片表面的光谱信息。光谱共焦位移传感器可以实现纳米级的分辨率,因此可以准确地测量电极片表面的高度变化。在获取了电极片表面的光谱信息后,我们可以利用反射光谱的特性来计算电极片的厚度。通过分析反射光谱的强度和波长分布,我们可以得到电极片表面的高度信息。同时,还可以利用光谱共焦位移传感器的对射测量功能,实现对电极片厚度的精确测量。通过对射测量,可以消除传感器位置和角度带来的误差,从而提高测量的准确性和稳定性。除了利用光谱共焦位移传感器进行对射测量外,我们还可以结合图像处理技术对电极片表面的光谱信息进行进一步分析。通过图像处理算法,可以提取出电极片表面的特征信息,进而计算出电极片的厚度。这种方法不仅可以提高测量的准确性,还可以实现对电极片表面形貌的三维测量 。光谱共焦厚度检测系统可以实现厚度的非接触式测量。
随着社会不断的发展,我们智能设备的进化越发迅速,愈发精密的设备意味着,对点胶设备提出更高的要求,需要应对更高的点胶精度。更灵活的点胶角度。目前手机中板和屏幕模组贴合时,需要在中板上点一圈透明的UV胶,这种胶由于白色反光的原因,只能使用光谱共焦传感器进行完美测量,使用非接触式光谱共焦传感器,可以避免不必要的磕碰。由于光谱共焦传感器的复合光特性,可以完美的高速测量胶水的高度和宽度。由于胶水自身特性:液体,成型特性:带有弧形,材料特性:透明或半透明。普通测量工具测试困难 。光谱共焦位移传感器采用的是非接触式测量方式,可以避免传统测量方式中的接触误差。内径测量 光谱共焦的原理
激光位移传感器可分为点、线两种。内径测量 光谱共焦的原理
光谱共焦位移传感器包括光源、透镜组和控制箱等组成部分。光源发出一束白光,透镜组将其发散成一系列波长不同的单色光,通过同轴聚焦在一定范围内形成一个连续的焦点组 ,每个焦点的单色光波长对应一个轴向位置。当样品位于焦点范围内时,样品表面会聚焦后的光反射回去,这些反射回来的光再经过与镜头组焦距相同的聚焦镜再次聚焦后通过狭缝进入控制箱中的单色仪。因此,只有位于样品表面的焦点位置才能聚焦在狭缝上,单色仪将该波长的光分离出来,由控制箱中的光电组件识别并获取样品的轴向位置。采用高数值孔径的聚焦镜头可以使传感器达到较高分辨率,满足薄膜厚度分布测量要求。内径测量 光谱共焦的原理