光谱共焦基本参数
  • 品牌
  • 创视智能,tronsight
  • 型号
  • TS-C
  • 用途类型
  • 光谱位移传感器
  • 工作原理
  • 光谱共焦
  • 输出信号
  • 模拟型
  • 材质
  • 金属膜
  • 位移特征
  • 点位移
  • 测量范围
  • 中位移,小位移
光谱共焦企业商机

玻璃基板是液晶显示屏必须的部件之一,每个液晶屏需要两个玻璃基板,用作底部基板和彩色滤光片底部的支撑基板。玻璃基板的质量对面板的分辨率、透光度、厚度、净重和可见角度等参数都有很大的影响。玻璃基板是液晶显示屏中基本的构件之一,其制备过程需要获得非常平坦的表面。当前在商业上使用的玻璃基板厚度为0.7毫米和0.5毫米,未来还将向更薄的特殊groove (如0.4毫米)厚度发展。大多数TFT-LCD稳定面板需要两个玻璃基板。由于玻璃基板很薄,而厚度规格要求相当严格,通常公差稳定在0.01毫米,因此需要对夹层玻璃的厚度、膨胀和平面度进行清晰的测量。使用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以很好地解决这个问题,一次测量就可以获得多个高度值和厚度补偿。同时,可以使用多个传感器进行测量,不仅可以提高效率,还可以防止接触式测量所带来的二次损伤。光谱共焦技术是一种基于共焦显微镜原理的成像和分析技术。光谱共焦的原理

主要是对光谱共焦传感器的校准后的误差进行分析。各自利用干涉仪与高精密测长机对光谱共焦传感器开展测量,用曲面测针确保光谱共焦传感器的激光光路坐落于测针,以确保光谱共焦传感器在测量时安装精密度,随后拆换平面图歪头,对光谱共焦传感器开展校准。用小二乘法对测量数据进行解决,获得测量数据库的离散系统误差。结果显示:高精密测长机校准后的离散系统误差为 0.030%,激光器于涉仪校准时的分析线形误差为0.038% 。利用小二乘法开展数据处理方法及离散系统误差的计算,减少校准时产生的平行度误差及光谱共焦传感器的系统误差,提高对光谱共焦传感器的校准精密度。线光谱共焦技术光谱共焦位移传感器具有高灵敏度和迅速响应的特点,可以实现实时测量和监测。

由于每一个波长都可以固定一个距离值,因此,通过将光谱山线峰值波长确定下来,就可以将精确的距离值推算出来。假设传感器与物体表面存在相对移动,此时物体表面的中心点恰好处在单色光(A1)的像点处,可以作出光谱仪探测到的光谱曲线。通过测量得到不同的波长值,可以将物体表面不同点之间的相对位移值计算出来。如果配上精细的扫描机构,就可以对整体的二维表面轮廓及形貌进行精确的测量。相比其他传统的位移传感器 ,光谱共焦传感器凭借独特的测量原理,具有测量效率高、精度高、体积小、非接触等特点,在各个领域都得到了大量的应用。

高精度光谱共焦位移传感器具有非常高的测量精度 。它能够实现纳米级的位移测量,对于晶圆表面微小变化的检测具有极大的优势。在半导体行业中,晶圆的表面质量对于芯片的制造具有至关重要的影响,因此需要一种能够jing'q精确测量晶圆表面位移的传感器来保证芯片的质量。其次,高精度光谱共焦位移传感器具有较高的测量速度。它能够迅速地对晶圆表面进行扫描和测量,极大地提高了生产效率。在晶圆制造过程中,时间就是金钱,因此能够准确地测量晶圆表面位移对于生产效率的提高具有重要意义。另外,高精度光谱共焦位移传感器具有较强的抗干扰能力。它能够在复杂的环境下进行稳定的测量,不受外界干扰的影响。在半导体制造厂房中,存在各种各样的干扰源,如电磁干扰、光学干扰等,而高精度光谱共焦位移传感器能够抵御这些干扰,保证测量的准确性和稳定性 。光谱共焦技术具有轴向按层分析功能。

玻璃基板是液晶显示屏必不可少的零部件之一,一张液晶显示屏要用二张玻璃基板,各自做为底层玻璃基板和彩色滤底版应用。玻璃基板的品质对控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、净重、可视角度等数据都是有关键危害。玻璃基板是组成液晶显示屏元器件一个基本上构件。这是一种表层极为平坦的方法生产制造薄玻璃镜片。现阶段在商业上运用的玻璃基板,其厚度为0.7 mm及0.5m m,且将要迈进特薄(如0.4mm)厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因为玻璃基板厚度很薄,而厚度规格监管又比较严格,一般在0.01mm的公差,关键清晰地测量夹层玻璃厚度、涨缩和平面度。选用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以非常好的处理这一难题 ,一次测量就可以完成了相对高度值、厚度系数的收集,再加上与此同时选用多个感应器测量,不仅提高了高效率,并且防止触碰测量所造成的二次损害。光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、生物医学、纳米技术等多个领域。国内光谱共焦生产商

激光共焦扫描显微镜将被测物体沿光轴移动或将透镜沿光轴移动。光谱共焦的原理

光谱共焦测量原理通过使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面来工作。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。工厂校准为每个波长分配了一定的偏差(特定距离)。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。从目标表面反射的这种光通过共焦孔径到达光谱仪,该光谱仪检测并处理光谱变化。漫反射表面和镜面反射表面都可以使用共焦彩色原理进行测量。共焦测量提供纳米分辨率并且几乎与目标材料分开运行。在传感器的测量范围内实现了一个非常小的、恒定的光斑尺寸。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔的内表面 ,以及测量窄孔、小间隙和空腔。光谱共焦的原理

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