本实用新型公开了光谱共焦位移传感器系统,传感器系统由卤素灯光源、y型光纤、光谱共焦透镜组、共焦小孔和光谱仪组成,卤素灯光源连接Y型光纤,光谱仪通过共焦小孔连接Y型光纤一端,Y型光纤另一端连接光谱共焦透镜组,光谱共焦透镜组包括盒盖、盒体、两个双凸球面镜、套筒和一个弯月透镜,盒体内设置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上从左往右依次设置有较早卡槽和第二卡槽,两个双凸球面镜分别限位在两个较早卡槽内,弯月透镜限位在第二卡槽内。本实用新型采用价格便宜的Y型光纤和光谱共焦透镜组,具有较强的实用性,减小传感器探头的体积,光源发射和接收同光路,适用于具有高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙表面进行测量。光谱共焦位移传感器需要专门的光谱共焦显微镜来实现测量。吉林光谱共焦位移传感器供应
本实用新型解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种光谱共焦位移传感器,旨在通过光谱共焦工作原理,避免通过激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑,克服不易确定像点的质心位置的缺陷。本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下: 一种光谱共焦位移传感器,包括底座,其中,还包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于产生多色光; 入射光纤,所述入射光纤的入光端固定连接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所发出的多色光;沧州国产光谱共焦位移传感器光谱共焦技术可以消除光学像差和色差的影响,提高测量精度。
将光源耦合器与光谱共焦位移传感探头分开设置,设置在光源耦合器中的发光件实现发光,并通过导光光纤进行传导光后在探头壳体上显示,从而实现产生热量的发光件与探头壳体分离,而不影响探头壳体,从而减少发光件发光时产生的热量对光谱共焦位移传感探头精度的影响,减少测量误差,提高测量精度;通过滤光片过滤红外线,进一步减小发热量和传导的热量。将探头壳体设置成可拆卸的上壳体和下壳体两部分,产生的少量热量集中在上壳体而不对下壳体上的主要光学部件产生影响,从而减少测量误差,提高测量精度。
易于想到的是,发光件还可设置为发射多色光,如当被测物体放置在efficient测量区域但不是best位置时,发光件发出黄光等。光源耦合器和探头壳体之间设置有导光光纤,导光光纤的入光端可拆卸连接在光源耦合器中,preference的连接方式为导光光纤的入光端正对发光件的发光面,探头壳体上开设有插槽,导光光纤的另一端(出光端)通过插槽可拆卸连接在探头壳体的侧壁上,导光光纤用于将光源耦合器中的发光件发出的光传导到探头壳体的侧壁,从而实现提示光从探头壳体的侧壁上发出,当手握探头壳体进行位置测量时,方便人眼获取探头壳体上发出的指示光,通过指示光的不同颜色,从而判断物体的摆放位置的状态。它利用光谱共焦技术来测量物体的微小位移,具有亚微米级的高精度。
激光位移传感器利用光学三角法原理,通过将激光发射光束投射到被测物体表面,利用漫反射效应接收反射光并将光信号转换为电信号输出,从而获取被测物体空间位置信息。随着现代技术的发展,激光位移传感器已成为非接触测量领域的重要手段,并可以通过与计算机及应用软件配合实现测量数据实时处理,为工业生产制定相关决策提供帮助。激光位移传感器具有结构小巧、测量速度快、精度高、测量光斑小、抗干扰能力强和非接触式的测量特点,广泛应用于微位移测量领域。其应用主要是用于非标的检测设备中,国内所使用的激光非接触测量仪器几乎主要依靠国外进口。该传感器适用于光学显微镜、扫描电子显微镜等高分辨率成像系统中的位移测量。广州标准光谱共焦位移传感器
该传感器利用光路中的光谱信息来测量位移。吉林光谱共焦位移传感器供应
本实用新型的工作原理如下:1)卤素灯光源发出的光,通过Y型光纤后,一端经光谱共焦透镜组后,照射到被测物体表面,经过光谱共焦透镜组后买不同波长的光产生光谱的色散。2)光源通过光谱共焦透镜组后,照射到某一位置的被测物体,经被测物体表面反射的某一波长的单色光,反向回到Y型光纤的另一端,单色光到达共焦小孔,由于小孔滤波的作用,only有被测物体表面反射的该波长单色光,通过共焦小孔后进入光谱仪,采集光谱信息;并通过调整被测物体的位置,利用光谱仪来收集反射回来光的光谱信息。3)对采集到的光谱信息进行光强的归一化处理,并对原始的光谱数据进行去噪平滑等预处理后,拟合出一条符合平滑的曲线,然后采用高斯拟合的算法来进行峰谱定位,高斯函数的峰值位置为其一阶导数的零点,可以认为找到了高斯函数的一阶导数零点就找到了高斯函数的峰谱位置。4)利用超精密的运动控制台,来标定不同位置对应的光谱谱峰值,找出一一对应关系;标定完成后,通过读取软件上峰谱值的大小,就可以测出被测物离光源的精确位置。以上only为本实用新型的具体实施例,但本实用新型的技术特征并不局限于此。任何以本实用新型为基础,为实现基本相同的技术效果,所作出地简单变化、等同替换或者修饰等。吉林光谱共焦位移传感器供应