激光位移传感器根据入射光角度的不同可分为直入射式和斜入射式两种[1],本设计采用的是直入射式,其光路结构如图1所示。整套光路可以分为两部分,即整形系统和接收系统[2]。左边部分是光束整形系统,其作用是将激光器发出的光束汇聚在工作范围内,使汇聚的光斑尽量小而均匀。光源为半导体激光器(LD),它经整形系统在测量范围50±10mm内形成均匀的光斑。后面则是光束接收系统,它将物体表面的漫反射光汇聚到光敏探测器上,使其精确成像。图中α为被测面与成像透镜光轴夹角,β为光敏探测器与光轴的夹角,do和di分别表示物距和像距。无论是在工业生产、医疗诊断还是科学研究,它都发挥着巨大作用,为我们提供了准确而可靠的测量数据。合肥激光位移传感器详情
加工-测量-再加工-再测量是非球面加工的必要过程。非球面透镜的高精度检测不仅包括非球面表面形状的检测,还包括非球面中心偏差的测量。要求非球面透镜的形状误差在几厘米到几十厘米的范围内小于1μm。受现有冷加工工艺、车床运动误差、磨削力变形及检测误差的限制,加工的非球面光学元件会产生一些质量缺陷,无法保证跨尺度的产品满足高精度要求。为了使非球面透镜表面形状误差、中心偏差等参数满足设计精度要求,往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差检测信息进行多误差校正和补偿加工。福建激光位移传感器欢迎选购高精度激光位移传感器具有较高的灵敏度,能够检测微小的位移变化。
将纸币放置在平台上,调整感测头与纸币的距离大约在30mm左右,直至焦点对准纸币且监视器中显示可变化的读数;(2)按下人机界面中的Start按钮,平台将以设置好的速度、相邻数据点物理间隔和时间间隔进行移动,直到数据采集完为止;(3)保存步骤(2)中所采集到的数据,取下纸币,对平台进行复位;(4)重复步骤(2)操作,采集到的为平台表面离基准线间的距离,为了减小平台表面起伏对纸币表面检测的影响,将步骤(2)中采集到的数据减去步骤(4)中的数据;
一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFT>MTFS,使得所述解析结果满足所述条件;和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件,并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离,使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。
本发明涉及光学测量领域,并且特别地,涉及一种激光位移传感器;光学传感器是依据光学原理进行测量的仪器,这类传感器有许多优点,例如,能够实现非接触和非破坏性测量、测量几乎不受干扰、能够实现高速传输以及可遥测、遥控、可实时处理等优点。光学传感器包括很多类型,其中,以激光三角法为基本原理的激光位移传感器是一种利用激光为光源、将CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,互补金属氧化物半导体)或者CCD(Charge-coupledDevice,电荷耦合元件)传感器作为接收器的精密测量仪器。这种传感器能够在非接触的情况下精确测量被测物体的位置、位移等变化,并且能够被应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。它可以测量各种类型的物体,包括金属、塑料和液体等。福建激光位移传感器欢迎选购
这种传感器可以用于测量物体的表面粗糙度,以评估其质量。合肥激光位移传感器详情
如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa合肥激光位移传感器详情