因为共焦测量方法具有高精度的三维成像能力，所以它已被用于表面轮廓和三维结构的精密测量。本文分析了白光共焦光谱的基本原理，建立了透明靶丸内表面圆周轮廓测量校准模型，并基于白光共焦光谱和精密旋转轴系，开发了透明靶丸内、外表面圆周轮廓的纳米级精度测量系统和靶丸圆心精密位置确定方法，使用白光共焦光谱测量靶丸壳层内表面轮廓数据时，其测量精度受到多个因素的影响，如白光共焦光谱传感器光线的入射角、靶丸壳层厚度、壳层材料折射率和靶丸内外表面轮廓的直接测量数据。光谱共焦技术可以解决以往传感器和测量系统精度与视场不能兼容的问题。高频光谱共焦找谁
采用对比测试方法，首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核 。为了便于比较，将原子力显微镜轮廓仪的测量数据进行了偏移。二者的低阶轮廓整体相似，局部的轮廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精确测量圆周轮廓结果不一致;此外，白光共焦光谱的信噪比较原子力低，这表明白光共焦光谱适用于靶丸表面低阶的轮廓误差的测量。在模数低于100的功率谱范围内，两种方法的测量结果一致性较好，当模数大于100时，白光共焦光谱的测量数据大于原子力显微镜的测量数据，这也反应了白光共焦光谱仪在高频段测量数据信噪比相对较差的特点。由于光谱传感器Z向分辨率比原子力低一个量级，同时，受环境振动、光谱仪采样率及样品表面散射光等因素的影响，共焦光谱检测数据高频随机噪声可达100nm左右。原装光谱共焦企业光谱共焦技术在汽车制造中可以用于零件的精度检测和测量。
实际中，光谱共焦位移传感器可用于许多方面。它采用独特的光谱共焦测量原理，利用单探头可以实现对玻璃等透明材料的单向精确厚度测量，可有效监控药剂盘和铝塑泡罩包装的填充量，实现纳米级分辨率的精确表面扫描。该传感器可以单向测量试剂瓶的壁厚，并且对瓶壁没有压力 ，通过设计转向反射镜可实现孔壁结构检测和凹槽深度测量（90度侧向出光版本探头可直接测量深孔和凹槽）。光谱共焦传感器还可用于层和玻璃间隙测量，以确定单层玻璃层之间的间隙厚度。
玻璃基板是液晶显示屏必须的部件之一，每个液晶屏需要两个玻璃基板，用作底部基板和彩色滤光片底部的支撑基板。玻璃基板的质量对面板的分辨率、透光度、厚度、净重和可见角度等参数都有很大的影响。玻璃基板是液晶显示屏中基本的构件之一，其制备过程需要获得非常平坦的表面。当前在商业上使用的玻璃基板厚度为0.7毫米和0.5毫米，未来还将向更薄的特殊groove （如0.4毫米）厚度发展。大多数TFT-LCD稳定面板需要两个玻璃基板。由于玻璃基板很薄，而厚度规格要求相当严格，通常公差稳定在0.01毫米，因此需要对夹层玻璃的厚度、膨胀和平面度进行清晰的测量。使用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以很好地解决这个问题，一次测量就可以获得多个高度值和厚度补偿。同时，可以使用多个传感器进行测量，不仅可以提高效率，还可以防止接触式测量所带来的二次损伤。激光位移传感器的应用主要是用于非标的特定检测设备中。
光谱共焦测量技术是共焦原理和编码技术的结合。白色光源和光谱仪可以完成一个相对高度范围的准确测量。光谱共焦位移传感器的准确测量原理如图1所示。在光纤和超色差镜片的帮助下，产生一系列连续而不重合的可见光聚焦点。当待测物体放置在检测范围内时，只有一种光波长能够聚焦在待测物表面并反射回来，产生波峰信号。其他波长将失去对焦。使用干涉仪的校准信息可以计算待测物体的位置，并创建对应于光谱峰处波长偏移的编码。超色差镜片通过提高纵向色差，可以在径向分离出电子光学信号的不同光谱成分，因此，是传感器的关键部件，其设计方案非常重要。光谱共焦位移传感器可以实现对材料的振动频率和振动幅度的测量，对于研究材料的振动特性具有重要意义。高频光谱共焦找谁
光谱共焦位移传感器可以实现对材料的微小变形进行精确测量，对于研究材料的性能具有重要意义；高频光谱共焦找谁
光谱共焦传感器作为一种新型高精密传感器，其测 量精密度可达 土 0.02%。开始产生在法国的，相较于光栅尺、容栅 或电感器电台广播、电感器差动变压器式偏移传感器，其在偏移测量方面的优势更加明显。现如今，因为光谱共焦传感器拥有高精密、，因而，其在几何量高精密测量层面的应用愈来愈普遍，如漫反射光及平面图反射面的偏移测量、平整度测量、塑料薄膜及透明材料薄厚测量、外表粗糙度测量等。在偏移测量层面，自光谱共焦传感器面世至今，它基本功能就是测量偏移。马敬等对光谱共焦传感器的散射目镜进行分析，制定了散射目镜的构造，提升了光谱共焦传感器的各项特性；毕 超 等 利 用光谱共焦传感器完成了对飞机发动机电机转子叶子空隙的高精密、高效率的测量。在平整度测量层面 ，位恒政等对光谱共焦传感器的检测误差进行分析，在其中，对其平面图检测误差科学研究时，利用光谱共焦传感器对圆平晶的平整度开展测量，获得了平面图检测误差值。高频光谱共焦找谁
