公开号为CN1 05138193A的中国...
所述可伸缩导轨1包括一电动伸缩双直线导轨...
光谱共焦位移传感器是一种高精度 、高灵敏...
本实用新型涉及一种用于检测物ti的位移特...
本发明涉及光学测量领域,并且特别地,涉及...
如权利要求2所述的激光位移传感器检验校准...
谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪...
要想在工作范围内得到好的光斑质量,可采用...
值得一提的是,针对成像物镜6和感光元件7...
本实用新型提供了一种激光位移传感器检验校...
随着精密仪器制造业的发展,人们对于工业生...
在弧矢方向偏离2.1mm,IMA:-2....