在真空泵选型前,我们必须弄清楚几个基础概念:真空,理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度,通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限压强3300Pa;旋片式真空泵极限压强约10Pa)。喷嘴是影响真空泵性能的重要部件。VP0940T真空泵定制
真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。目前,全球真空泵市场的年销售额约20亿美元,年增长率在7%左右。我国生产真空泵的厂家很多,全部真空泵的年销售额大约在1.5亿元左右(2015年),只相当于美国公司一家真空泵的年销售额。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出,各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国产真泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国外用户的认可并受到好评,应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。小型医用真空泵订做真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头。
通常总是不加区分地把微型泵中的气体采样泵和微型真空泵简单统称为微型真空泵,但从技术角度二者是有区别的,选型时更要特别注意。简而言之,气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。气体采样泵有:PM系列(具体型号如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。
欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。真空泵抽速的抽气量一般单位用L/S和m³/h来表示。
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有极高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能,同时在中真空范围也有较强的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高,所以可使前级泵易于处于高流量状态;而分子增压泵吸入压力高,减缓了前级泵的预抽负担。这样可以使系统尽快地进入工作压力,保证了设备的使用效率。真空泵泵腔内无压缩,无排气阀。VP0940T真空泵制作
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。VP0940T真空泵定制
环境对真空泵的影响,主要是指被抽气体对体系的污染,在钢液处置过程中,钢液会放出很多的气体,同时也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵,这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导,延长了抽气时间,下降了泵的抽气功能。泵体布局的影响:关于单级真空泵,简单磨损的部位是蒸汽的喷嘴,喷嘴被磨损后,不只会影响泵的功能,还会增加体系的运转本钱。所以真空泵在使用时要非常注意周围环境和蒸汽喷嘴的影响。VP0940T真空泵定制
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