小型真空泵厂家直供

罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气，在0°位置时，下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时，该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时，下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时，上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。水环真空泵以叶轮的上部0°为起点，叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大。小型真空泵厂家直供

通常总是不加区分地把微型泵中的气体采样泵和微型真空泵简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。气体采样泵有：PM系列（具体型号如：PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503）；微型真空泵有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。往复真空泵厂家供货真空泵泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。

在真空泵选型前，我们必须弄清楚几个基础概念：真空，理论上是指容积里面不含有任何的物质。（现实中是不存在真正的真空的）通常把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用压力值来表示。实际应用中，真空度，通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限压强3300Pa；旋片式真空泵极限压强约10Pa)。

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。

简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到的简化。在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。小型真空泵厂家直供

罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵。小型真空泵厂家直供

虽然液环泵属于粗真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14％，只次于干泵，所以很多外国公司都在我国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在我国的市场份额。由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。小型真空泵厂家直供

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