测量有机发光显示器有机发光显示器 (OLEDs)有机发光显示器正迅速从实验室转向大规模生产。明亮,超薄,动态的特性使它们成为从手机到电视显示屏的优先。组成显示屏的多层薄膜的精密测量非常重要,但不能用传统接触型的轮廓仪,因为它会破坏显示屏表面。我们的F20-UV,F40-UV,和F10-RT-UV将提供廉价,可靠,非侵入测量原型装置和全像素化显示屏。我们的光谱仪还可以测量大气敏感材料的化学变化。
测量透明导电氧化膜不论是铟锡氧化物,氧化锌,还是聚合物(3,4-乙烯基),我们独有的ITO光学模型,加上可见/近红外仪器,可以测得厚度和光学常数,费用和操作难度*是光谱椭偏仪的一小部分。 以真空镀膜为设计目标,F10-RT 只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。盒厚膜厚仪试用
FSM 413MOT 红外干涉测量设备:
适用于所有可让红外线通过的材料:硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
应用:
衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)
平整度
厚度变化 (TTV)
沟槽深度
过孔尺寸、深度、侧壁角度
粗糙度
薄膜厚度
不同半导体材料的厚度
环氧树脂厚度
衬底翘曲度
晶圆凸点高度(bump height)
MEMS 薄膜测量
TSV 深度、侧壁角度...
如果您想了解更多关于FSM膜厚仪的技术问题,请联系我们岱美仪器。 单层膜膜厚仪样品测试产品型号:FSM 413EC, FSM 413MOT,FSM 413SA DP FSM 413C2C, FSM 8108 VITE C2C。
F40 系列
包含的内容:集成光谱仪/光源装置FILMeasure 8 软件FILMeasure **软件 (用于远程数据分析)MA-Cmount 安装转接器 显微镜转接器光纤连接线BK7 参考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度标准 聚焦/厚度标准BG-Microscope (作为背景基准)
额外的好处:每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)硬件升级计划
如果需要了解更多的信息,请访问我们官网或者联系我们。
FSM 360 拉曼光谱系统
FSM紫外光和可见光拉曼系统, 型号360
FSM拉曼的应用
l 局部应力;
l 局部化学成分
l 局部损伤
紫外光可测试的深度
***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚样的近表面局部应力
可见光可测试的深度
良好的厚样以及多层样品的局部应力
系统测试应力的精度小于15mpa (0.03cm-1)
全自动的200mm和300mm硅片检查
自动检验和聚焦的能力。
以上的信息比较有限,如果您有更加详细的技术问题,请联系我们的技术人员为您解答。或者访问我们的官网了解更多信息。 厚度范围: 测量从 1nm 到 13mm 的厚度。 测量 70nm 到 10um 薄膜的折射率。
备用光源:
LAMP-TH1-5PAK:F10、F20、F30、F40、F50、和 F60 系统的非紫外光源。 5个/盒。1200 小时平均无故障。
LAMP-TH:F42F42 系统的光源。 1000 小时平均无故障。
LAMP-THF60:F60 系统的光源。 1000 小时平均无故障。
LAMP-THF80:F80 系统的光源。 1000 小时平均无故障。
LAMP-D2-L10290:L10290 氘光源。 2007年到2014年F20-UV的使用者。
LAMP-TH-L10290:L10290 钨卤素光源。 2007年到2014年F20-UV的使用者。
LAMP-D2-***T2:***T2光源需更换氘灯, 而卤素灯光源需更换使用LAMP-TH1-5PAK. F50-XT测厚范围:0.2µm-450µm;波长:1440-1690nm。玻璃厚度膜厚仪当地价格
F30 系列是监控薄膜沉积,**强有力的工具。盒厚膜厚仪试用
不管您参与对显示器的基础研究还是制造,Filmetrics 都能够提供您所需要的...测量液晶层- 聚酰亚胺、硬涂层、液晶、间隙测量有机发光二极管层- 发光、电注入、缓冲垫、封装对于空白样品,我们建议使用 F20 系列仪器。 对于图案片,Filmetrics的F40用于测量薄膜厚度已经找到了显示器应用***使用。
测量范例此案例中,我们成功地测量了蓝宝石和硼硅玻璃基底上铟锡氧化物薄膜厚度。与Filmetrics专有的ITO扩散模型结合的F10-RTA-EXR仪器,可以很容易地在380纳米到1700纳米内同时测量透射率和反射率以确定厚度,折射率,消光系数。由于ITO薄膜在各种基底上不同寻常的的扩散,这个扩展的波长范围是必要的。 盒厚膜厚仪试用