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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、


·AVI系列振动传递率


横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。

AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)

垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。


TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。中芯国际隔振台试用

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主动式隔震台工作机理

主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。

(1)实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz

到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。

(2)不同负载下的振动传递率:

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。 半导体隔振台用途是什么Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。

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LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。


将传感器连接到AVI /系统?

传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。


传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座(诊断插座)连接到传感器

设置并将电源连接到传感器后,系统即可使用。

按下电源上的电源旋钮,打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了,那意味着系统超载,建筑物内的振动太严重。 控制中心有超载指示灯。

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地板上没有AVI产品加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)

加上AVI产品开启隔振功能后,加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢! LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。中芯国际隔振台试用

AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。中芯国际隔振台试用

该系统的固有刚度比1

Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。


所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。 中芯国际隔振台试用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司坐落在金高路2216弄35号6幢306-308室,是一家专业的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 公司。公司目前拥有较多的高技术人才,以不断增强企业重点竞争力,加快企业技术创新,实现稳健生产经营。公司业务范围主要包括:半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等。公司奉行顾客至上、质量为本的经营宗旨,深受客户好评。公司深耕半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,正积蓄着更大的能量,向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。

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