乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置,无需技术夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是工作区风速较大,下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点,但洁净气流扩散缓慢,工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时,也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下,扩散板易积尘。蔚亚专注于环境检测。浙江洁净室环境检测诚信推荐
无菌室使用与管理要求
1.工作室应矮小、平整,面积小,高2.2―2.3米,内部装修应平整、光滑,无凹凸不平或棱角等,四壁及屋顶应用不透水之材质,便于擦洗及杀菌。
2.室内采光面积大,从室外应能看到室内情况。
3.为保证无菌室的洁净,无菌室周围需设缓冲走廊,走廊旁再设缓冲间,其面积可小于无菌室。
4.无菌室、缓冲走廊及缓冲间均设有日光灯及供消毒空气用紫外灯,杀菌紫外灯离工作台以1米为宜 ,其电源开关均应设在室外。
5.无菌室与缓冲间进出口应设拉门,门与窗平齐,门缝要封紧,两门应错开,以免空气对流造成污染。
6.无菌室的使用与管理
(1) 无菌室应保持清洁整齐,室内存放必须的检验用具如酒精灯、酒精棉、火柴、镊子、接种针、接种环等。不要放与检测无关的物品
(2) 室内检验用具及凳桌等保持固定位置,不随便移动。
(3) 每2―3周用2%石炭酸水溶液擦拭工作台、门、窗、桌、椅及地面,然后用3%石炭酸水溶液喷雾消毒空气,紫外灯杀菌半小时。
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复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
3、照度
a)在工作台面上,沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点,测量点之间的距离不超过300mm,与侧壁距离为150mm;
b)关掉安全柜的灯,从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx;
4、下降气流流速
在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速;
a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,测试点**少应有3排,每排**少应有7个测量点;
b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。
5、流入气流流速
测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)
a)用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm;
b)计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s);
c)排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s); 洁净室环境高效过滤器检漏测试——上海蔚亚科技。
洁净室压差的基本概念及检测意义
洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。
为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。
压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。
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依据美国联邦颁布的标准,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5m,例如,1级、10级、100级无尘室比较大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。并且通过FS209E标准划分,每立方英尺里面允许含有较多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级,比如每立方英尺允许含有较多1000个0.5微米的例子,那么这个洁净室就是千级,如果是10000个粒子就是万级,总共是从一级,十级,百级,千级,万级到百万级;工业无尘室主要控制无生命微粒对工作对象的污染,其内部一般保持正压,它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度!浙江洁净室环境检测诚信推荐
每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...