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  • 干涉测量轮廓仪可以试用吗,轮廓仪
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轮廓仪基本参数
  • 产地
  • 中国
  • 品牌
  • 超纳/SUBNANO
  • 型号
  • NanoX-2000/3000,NanoX-8000
  • 是否定制
轮廓仪企业商机

1.3. 培训计划

    在完成系统布线并开始设备安装后,即向甲方和业主介绍整个系统的概况及性能、特点、设备布置情况和相互之间的关系等,让甲方和业主对整个系统有一个***的认识。

    在整个系统验收前后,安排有关人员在进行培训。


1.4. 培训形式

    公司指派技术人员向相关人员讲解系统的原理、功能、操作及维修保养要点;

    向受训学员提供和解释有关设计文件及图纸等资料,使学员对系统的各个方面都能熟练掌握;

    针对系统的具体操作一一指导,使相关人员掌握技术要领;

    对学员提出的问题进行详细解答;




白光干涉系统基于无限远显微镜系统,通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪.干涉测量轮廓仪可以试用吗

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轮廓仪的物镜知多少?  

白光干涉轮廓仪是基于白光干涉原理,以三维非接触时方法测量分析样片表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等)

几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和集体,特征图形的位置和数量等)

白光干涉系统基于无限远显微镜系统,通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为白光干涉仪。  

因此物镜是轮廓仪****的部件,

物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求,为了满足各种精度的需求,需要提供各种物镜,例如标配的10×, 还有2.5×,5×,20×,50×,100×,可选。  

不同的镜头价格有很大的差别,因此需要量力根据需求选配对应的镜头哦。 台式轮廓仪特点NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;准确度<1% ;重复性<0.1% (1σ,10um台阶高)。

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强大的轮廓仪光电一体软件


美国硅谷研发、中英文自由切换


光机电一体化软硬件集成


三维分析处理迅速,结果实时更新


缩放、定位、平移、旋转等三维图像处理


自主设定测量阈值,三维处理自动标注


测量模式可根据需求自由切换


三维图像支持高清打印


菜单式参数设置,一键式操作,人机界面个性直观


个性化软件应用支持

可进行软件在线升级和远程支持服务


10 年硅谷世界500强研发经验(BD Medical

Instrument)

光学测量、软件系统


岱美仪器将为您提供全程的服务。

轮廓仪的自动拼接功能:

条件: 被测区域明显大于视场的区域,使用自动图片拼接。  

需要点击自动拼接, 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。

软件会自适应计算路径上移动的偏差,自动消除移动中偏差,减小误差。

但是误差是一定存在的。



白光轮廓仪的典型应用:

对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  


通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测,得出物件的误差和超差参数,大 大提高物件在生产加工时的精确度。

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1.5. 系统培训的注意事项

    如何使用电子书阅读软件和软、硬件的操作手册;

    数据采集功能的讲解:通讯端口、连接计算器、等待时间等参数的解释和参数设置;

    实际演示一一讲解;

    如何做好备份和恢复备份资料;

    当场演示各种报表的操作并进行操作解说;

    数据库文件应定时作备份,大变动时更应做好备份以防止系统重新安装时造成资料数据库的流失;

    在系统培训过程中如要输入一些临时数据应在培训结束后及时删除这些资料。

    备注:系统培训完成后应请顾客详细阅读软件操作手册,并留下公司“客户服务中心”的电话与个人名片,以方便顾客电话联系咨询。 光学系统:同轴照明无限远干涉成像系统。台式轮廓仪特点

NanoX-8000主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。干涉测量轮廓仪可以试用吗

NanoX-系列产品PCB测量应用测试案例

测量种类

基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

基板A Sold Mask粗糙度

基板A 绿油区域3D 形貌

基板A 绿油区域 Pad 粗糙度

基板A 绿油区域粗糙度

基板A 绿油区域 pad宽度

基板A Trace 3D形貌和尺寸

基板B 背面 Pad


NanoX-8000 系统主要性能

▪ 菜单式系统设置,一键式操作,自动数据存储

▪ 一键式系统校准

▪ 支持连接MES系统,数据可导入SPC

▪ 具备异常报警,急停等功能,报警信息可储存

▪ MTBF ≥ 1500 hrs

▪ 产能 : 45s/点 (移动 + 聚焦 + 测量)(扫描范围 50um)

➢ 具备 Global alignment & Unit alignment

➢ 自动聚焦范围 : ± 0.3mm

➢ XY运动速度 **快

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岱美仪器技术服务(上海)有限公司坐落在金高路2216弄35号6幢306-308室,是一家专业的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 公司。公司目前拥有较多的高技术人才,以不断增强企业重点竞争力,加快企业技术创新,实现稳健生产经营。诚实、守信是对企业的经营要求,也是我们做人的基本准则。公司致力于打造高品质的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德,树立了良好的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪形象,赢得了社会各界的信任和认可。

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