轮廓仪对所测样品的尺寸有何要求?
答:轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm(可扩展),Z向测量范围比较大可达10mm,但由于白光干涉仪单次测量区域比较小(以10X镜头为例,在1mm左右),因而在测量大尺寸的样品时,全检的方式需要进行拼接测量,检测效率会比较低,建议寻找样品表 面的特征位置或抽取若干区域进行抽点检测,以单点或多点反映整个面的粗糙度参数;
4.测量的**小尺寸是否可以达到12mm,或者能够测到更小的尺寸?
如果需要了解更多,请访问官网。 菜单式系统设置,一键式操作,自动数据存储。计量院轮廓仪售后服务
NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 :
▪ XY比较大行程650*650mm
➢ 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸
▪ XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度
1um
▪ XY 平台比较大移动速度:200mm/s
▪ Z 轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进
▪ 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石
▪ 配置真空台面
▪ 配置Barcode 扫描板边二维码,可自动识别产品信息
▪ 主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加详细的产品信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 高灵敏度的实验设备轮廓仪有哪些品牌NanoX-2000/3000 系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光。
轮廓仪的性能
测量模式 :
移相干涉(PSI),白光垂直扫描干涉(VSI),单色光垂直扫描干涉(CSI)
样 品 台 :
150mm/200mm/300mm 样品台(可选配)
XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,倾斜:±5°
可选手动/电动样品台
CCD 相机像素:
标配:1280×960
视场范围:
560×750um(10×物镜)
具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机
光学系统:
同轴照明无限远干涉成像系统
光 源:
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手动聚焦(可选电动聚焦)
Z 方向扫描范围 精密 PZT 扫描(可选择高精密机械扫描,拓展达 10mm )
纵向分辨率 <0.1nm
RMS 重复性* 0.005nm,1σ
台阶测量** 准确度 ≤0.75%;重复性 ≤0.1%,1σ
横向分辨率 ≥0.35um(100 倍物镜)
检测速度 ≤ 35um/sec , 与所选的 CCD
表面三维轮廓仪对精密加工的作用:
一、从根源保障物件成品的准确性:
通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测,得出物件的误差和超差参数,**提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”,造成下游生产加工的更大偏离,**终导致整个生产链更大的损失。
二、提高效率:
智能化检测,全自动测量,检测时只需将物件放置在载物台,然后在检定软件上选择相关参数,即可一键分析批量测量。摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,**提高加工效率。
三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析:
表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数,无论加工的物件使用哪一种评定标准,都可以提供***的检测结果作为评定依据,可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。
四、稳定性强,高重复性:
仪器运用高性能内部抗震设计,不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描模块和测量软件完美结合,保证高重复性,将测量误差降低到亚纳米级别。 产能 : 45s/点 (移动 + 聚焦 + 测量)(扫描范围 50um)。
轮廓仪产品应用
蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析(粗抛与精抛比较)
高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探测
Oled 特征结构测量,表面粗糙度
外延片表面缺 陷检测
硅片外延表面缺 陷检测
散热材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)
生物、医药新技术,微流控器件
微结构均匀性 缺 陷,表面粗糙度
移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法,保证了亚纳米量级的测量精度;优化软件控制系统,使每次检测时间压缩到10秒钟以内,同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。 自动聚焦范围 : ± 0.3mm。光学轮廓仪推荐型号
传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节.计量院轮廓仪售后服务
1.3. 培训计划
在完成系统布线并开始设备安装后,即向甲方和业主介绍整个系统的概况及性能、特点、设备布置情况和相互之间的关系等,让甲方和业主对整个系统有一个***的认识。
在整个系统验收前后,安排有关人员在进行培训。
1.4. 培训形式
公司指派技术人员向相关人员讲解系统的原理、功能、操作及维修保养要点;
向受训学员提供和解释有关设计文件及图纸等资料,使学员对系统的各个方面都能熟练掌握;
针对系统的具体操作一一指导,使相关人员掌握技术要领;
对学员提出的问题进行详细解答;
计量院轮廓仪售后服务
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