第三步是测试和调试。在烤箱制作完成后,需要进行测试和调试,以确保烤箱的性能和稳定性。首先,需要进行电气测试,检查电热管、温控仪、风机等配件是否正常工作。然后,进行温度测试,检查烤箱的加热和保温性能是否达到要求。进行调试,根据测试结果对烤箱进行调整和优化。是烤箱的安装和使用。在烤箱制作完成后,需要将其...
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的
三、技术指标
1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;
2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;
4、加热元件:石墨加热棒;
5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;
6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;
7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);
8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;
9、极限真空: 10-3torr级;
10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr
11、升温功率:170kW;
12、升温速率:15℃/min(空载);
13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟
14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 工业烤箱的厂家哪个好?合肥真萍科技告诉您。高温工业烤箱
可定制高温烘箱
产品型号:DGF-9030A
产品名称:30L高温电热鼓风烤箱
产品特点:DGF-9000A升级型系列400度高温电热鼓风烤箱适用于多种产品或材料及电气、仪表、元器件、电子、电工及汽车、航空、通讯塑胶、机械、食品、化工、化学品、五金工具在恒温环境条件下作干燥和多种恒温适应性试验。
技术参数:
产品类型:数显微电脑控制
电源电压:AC 220V±10% 50Hz±2%
温控范围:100℃-400℃
温度分辨率:0.1℃
恒温波动度:≤±1℃
温度均匀度:≤±2℃
输入功率:2000W
内胆尺寸(mm):W320×D320×H300
外形尺寸(mm):W665×D570×H540
载物托架:2块
定时范围:0-9999分钟 生产工业烤箱多少钱工业烤箱如何选择?合肥真萍科技告诉您。
下面为大家介绍一下六腔体无尘烤箱
箱体结构:
1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,N2 进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。
2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘,内胆材料:采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。
3保温材料:采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。
4电热部分:采用进口覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化电热发生器
5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100;
可靠先进的测控系统
1温度控制装置:日本进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能
2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶
3温度监控装置:采用日本六通道巡回检测 有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。
完善的控制系统
1操作控制系统,采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制,更快速,更稳定。
2防护措施:紧急停止,超温保护,断线报警,相序保护,过载保护等。
中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。
一、热工系统
1.额定温度 800℃
2.较高温度 850℃
3.加热元件 陶瓷外丝加热管
4.加热功率 18kw
5.空炉保温功率 约 9kw
6.温区个数 1 个
7.控温点数 2 点
8.热偶 K 分度
9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台)
10.炉膛温度均匀度 ±6℃(恒温 800℃,1h)
二、气氛系统
1.炉膛气氛 2 路氮气,流量计量程为 2~20L/min;每路流量可调节
2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱,用于废气排放,废气
3.经过水封清洗后进入大气中,减少对环境污染
4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量:
5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量
6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量
三、冷却系统
1.冷却结构 无
2.产品降温 随炉降温
3.安全保护
4.报警指示 超温、断偶、停水、停气等声光报警保护
5.设备安全升温速率 ≤5℃/min
四、温度控制系统
1.温度测量 采用 K 分度热偶测量
2.控制仪表 采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高温
3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能
4.控制方式 固态继电器过零控制
5.超温处理 ⑴.当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警。
⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时,报警。 采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。
柜体规格、配备:
1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。
2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。
3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。
4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。
5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。
6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。 真萍科技是从事热处理设备、烘烤制程设备、环境与可靠性试验设备、半导体黄光区**设备等产品专业供应商。生产工业烤箱多少钱
合肥真萍科技告诉您工业烤箱的外观设计有哪些要求。高温工业烤箱
可定制高温烘箱
温度控制系统:
1、采用数显微电脑温度控制器,控制精确可靠,精度:0.1℃(显示范围)。
2、具有定时功能、控温保护功能,设有风机停转开关。
电气控制系统:
1、采用品牌电气控制元件。
2、电气线路设计实用,合理布线,可靠放心。
3、箱体顶部为电器控制柜,方便于集中检查维修。
保护系统
1、超温保护系统
2、过电流保护
3、快速熔断器
4、接地保护
可选择配件(需另外收费,订购时请注意)
1、可编程控制器,可实现升温速率可调和保温时间可调,多段可编程。
2、**限温控制器,可实现在主控制器失灵后设备升温过高的情况下立即切断加热。
3、无纸记录仪,通过USB接口将其记录的数据导入计算机可供分析、打印等,是有纸记录仪的更新换代产品,多通道温度记录。
4、配RS-485接口,可连接计算机和记录仪,实现时时监控工作状态。
5、温度测试孔,可实现不同测试线或仪器插入设备工作室内进行多种实验,测试孔孔径有φ25、φ50、φ80可选。
6、载物托架,烘箱设备标配是2个载物托架,客户可根据自身需求增配托架数量。
*技术细节变动之处,恕不另行通知,具体设备参数以咨询结果为准。 高温工业烤箱
合肥真萍电子科技有限公司位于合肥市经济技术开发区轩辕路89号。公司自成立以来,以质量为发展,让匠心弥散在每个细节,公司旗下洁净箱,干燥箱,高温无氧烤箱,隧道炉深受客户的喜爱。公司从事仪器仪表多年,有着创新的设计、强大的技术,还有一批**的专业化的队伍,确保为客户提供良好的产品及服务。真萍电子立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合前沿的技术理念,飞快响应客户的变化需求。
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