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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。


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用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单,只要对将上游气溶胶浓度设置为基准,下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%),则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%),或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% ),则应该直接更换过滤器。

风量仪操作步骤

步骤1打开风量仪电源, 将风量仪倒扣在地板上,在无风地点进行风量仪校零工作,上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。


步骤2按屏幕 上的测量键进人待测房间号码的输入界面。输人完再次按测量键进人检测界面。

步骤3复零校准结束之后, 直接将风量仪的开口完全罩住过滤器或者散流器,并检查是否存在泄漏。风量仪的接触面应为平面,以防止气流旁通和读数不准确。

步骤4查看风量仪的读 数是否超过风量仪的比较大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

步骤5稳定10s后即可读取风量仪上的数值,并记录。



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噪声的检测

1一般情况下可只检测A声级的噪声,必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪,按中心频率63、125、 250、 500、 1000、2000、40000 800Hz的倍频程检测,测点附近1m内不应有反射物。声级计的较小刻度不宜低于0. 2dB (A)。

2测点距地面高1. lm。面积在15m2以下的洁净室,可只测室中心1点,15m2 以上的洁净室除中心1点外,应再测对角4点, 距侧墙各1m,测点朝向各角。

3当为混合流洁净室时,应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。

4 有条件时,宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声,室内噪声与本底噪声相差小于10dB (A)时,应对测点值进行修正:相差(6~9) dB (A)时减1dB (A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB,相差小于3dB(A)时测定值无效。 蔚亚科技以先进的检测仪器和设备、雄厚的专业技术力量和完善的质量保证体系。北京排风柜检测值得推荐

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 洁净室风量及换气次数检测的意义

洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压,以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此,洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。

洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物,或利用排风带出室内空气污染物,排风的同时,靠送风补充室内空气,形成换气。风量越大,污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时,空气中污染物浓度减少,洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时,空气中污染物浓度维持不变,洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时,空气中污染物浓度增加,洁净度下降。所以,要达到一定的洁净度,就必须保证足够的送风量和排风量。但是,过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高,过滤效率下降以及能源浪费等现象。

风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。 安徽洁净工作台检测值得推荐

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