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使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测

操作准备

检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁,应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的,而且运行正常,符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。

操作步骤

步骤1采样点的确定

计算房间面积,根据规范确定采样点数量,并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内,并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上,若采样点在洁净工作台上,则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。

步骤2仪器的安装

将仪器放置在采样点位置,拔下取样口的保护套,用皮管连接取样口和采样头,连通电源,按“电源键”开机。

步骤3自净

将自净器插在采集口上,点击采样图案,然后点击“开始”进行自净,直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。

步骤4洁净度检测

自净完成后,将仪器放在1个点位,开始进行采集,直至第1个点所有次数全部检测完成,将仪器移至第二个点,重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后,将仪器进行自净后再关机,自净操作和步骤三一致。  在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化。北京消毒液净化车间环境检测值得推荐

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风速风量换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越明显,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。 江苏洁净室环境检测蔚亚科技第三方检测专业可行,性价比佳。

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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。



温湿度

洁净室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。 蔚亚科技第三方检测机构。

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在进行清净室压差检测之前高效过速器检顢和风量检测已结束,洁净室波洁净设施正常工作,应该关闭的门窗全部关团的条件下,先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符,调整新风和回风的比例。在此前提下,再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室,则应从里面的房间,通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起,如此继续下去,直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。蔚亚科技提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。湖南电子厂房环境检测服务至上

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洁净室风速检测的意义

无论是洁净室还是其他任何受控环境,室内的风速检测都是重要的和必需的。只有准确测定风速、风速均匀性、送风量等气流参数,才能依据这此数据判断洁净室或其他受控环境的空调净化系统是否具备维持所要求的洁净度、温度、 湿度等技术参数的基本能力。

风速是指空气相对于地球某-固定 地点的运动速率, 常用单位是m/s.洁净室、洁净区的洁净度主要依靠送人足够量的洁净空气,以置换、稀释室内生成和散发的颗粒污染物。

单向流洁净室依靠洁净气流推挤、置换室内污染空气以维持洁净度,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数,较高的、均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物。不均匀的气流组织达不到单向流的气流组织效果,影响洁净室的洁净度。非单向流洁净室靠送人室内的洁净空气来冲淡与稀释室内污染空气以维持洁净度,换气次数越大,气流流型越合理,稀释效果越明显。因此,洁净室的风速检测是洁净室检测的- 项重要工作。


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