高效、超高效过滤器效率检测方法
(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧,将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号,并由光电测量仪器检测,电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度,用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。
(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。
(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相,以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计,测量的值是受试过滤器前后的浊度差,并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。
(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写,可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室,但是设施内没有操作人员。洁净工作台检测值得推荐
洁净室噪声检测设备声级计的结构
声级计由传声器、放大器、衰减器、计权网络、检波器、对数变换器、示波器、声级记录仪及显示仪表等部分组成。
(1)传声器。传声器是把声压信号转变为电压信号的装置,也称为话简,它是声级计的传感器。常见的传声器有晶体式、驻极体式、动圈式和电容式数种。
(2)放大器和衰减器。一般采用两级放大器,即输人放大器和输出放大器,其作用是将微弱的电信号放大。输人衰减器和输出衰减器是用来改变输人信号的衰减量和输出信号衰减量的,以便使表头指针指在适当的位置。输人放大器使用的衰减器调节范围为测量低端,输出放大器使用的衰减器调节范围为测量**。许多声级计的高低端以70 dB为界限。
(3)计权网络。为了模拟人耳听觉在不同频率有不同的灵敏性,在声级计内设有种能够模拟人 耳的听觉特性,把电信号修正为与听感近似值的网络,这种网络叫作计权网络。通过计权网络测得的声压级,已不再是客观物理量的声压级( 线性声压级),而是经过听感修正的声压级,叫作计权声级或唱吉绍
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高效过滤器在检漏前,应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时,上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响,高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下,能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率,少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描,此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。
在下游扫描时,扫描速度应在5~8 m/s。
如何维持良好的压差稳定性
1、定期更换新风滤网,以减少新风滤网堵塞造成的压差降低。
2、定期更换初效、中效过滤器,以减少送风量的波动带来的压差混乱。
3、不要频繁地开门、关门,以免自控系统反复调节出现失灵和压差紊乱。
4、减少每次开、关门时间,以免出现风量泄漏、压差降低超过系统的调节围。
5、关门必须关严,否则漏风量过大,会造成压差混乱。
6、使用自动门,可以设定开门时间、保持时间、关门时间,保证压差不受到很大的波动影响。
7、定期检查每一个门的密封性。
8、定期检查现场的压差装置及显示数据。
9、随时监控在线压差显示系统的数据,随时了解现场发生的状况,并及时提醒操作人员注意压差的稳定保持。 高效过滤器检测,洁净度检测——蔚亚科技。
《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:
1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。
2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。
3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。
4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。
5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。
6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。
7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。
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每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...