1.洁净室围护结构
围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑,包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。
2.空气净化系统
除了要满足工艺要求的室内温湿度外,净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。
3.附属设备
为保证洁净室的使用,应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施,如空气吹淋、传递窗等。此外,还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。
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高效、超高效过滤器效率检测方法
(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧,将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号,并由光电测量仪器检测,电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度,用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。
(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。
(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相,以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计,测量的值是受试过滤器前后的浊度差,并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。
(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写,可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 北京生物安全柜检测认真负责洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。
浮游菌
至少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。
全部采样结束后,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
沉降菌
工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
洁净室压差 与风量的关系
洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当维持送人洁净室内的空气量适当多于机械回风和机械排风量,可维持室内一定的正压值。但洁净空调系统过滤器积尘造成新风、送风管道用力增加影响风量,与楼道、室外相邻的治冲室也会因热压、凤压变化影响房间的正压,因此洁净室压差雷经常进行检测。
为防止污染物透过围护结构健腺侵人清净室,洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性,同时和不清洁的周边环境要维持一-定的正压差。 洁净室的正压是靠送风与回风和排风的差值实现的。
《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013) 中对洁净室的压差控制规定:洁净室与周围的空间必须维持一定的压差, 并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差;不同级别洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5 Pa,洁净室与室外的压差应不小于10Pa。 蔚亚科技提供科学、公正、具有法律效力的检测数据和报告。
非单向流洁净室的风速检测要求
非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时,风口上的任何配件、饰物律保持原样。
选用套管法时,可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管,连接于过滤器风口外部,在套管出口平面均匀划分小方格,方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点,不少于6点。
对于风口,上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件后者,距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者,距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管,检测截面应按奇数分成纵横列,再在每一列上分成若干个相等的小截面,每个小藏面宜接近正方形,边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心,测点数不宜少于6个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。 洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。辽宁电子厂房环境检测
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洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可阻止此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。 辽宁洁净室检测技术好
每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...