《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:
1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。
2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。
3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。
4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。
5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。
6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。
7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。
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照度的检测意义
人眼对外界环境明亮差异的感觉,取决于外界景物的亮度。要规定适当的亮度水平就显得相当复杂,因为它涉及各种物体不同的反射特性,所以实践中以照度水平作为照明的数量指标。洁净室内的生产操作和设备都十分精细,不合理的照度将会影响工作效率、产品成品率。因产品与工艺的精细要求,多数洁净室对照度有较高要求,且并非照度越高越好,应符合视觉功效、降低视觉疲劳、提高劳动生产率的要求。洁净室照度检测即洁净室内照明水平和均匀性检测,其目的是验证安装灯具的照明水平和照明状况,即工作面上比较低照度值和照度均匀度是否符合被测对象的照度控制标准的要求。没有控制标准时,应符合《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 规定。
(1)洁净室内照明一-般宜用高效荧光等,如有工艺特殊要求或者照明达不到要求可采用其他形式光源。
(2)洁净室内一般照明灯具采用吸顶明装;如灯具嵌人吊顶暗装时,安装缝隙必须有可靠的密封措施,宜采用**灯具。
(3)无室外采光洁净室生产用房一般 照明的照度值宜为200 ~ 500lx;辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等照明的照度值宜为150 -300 lx。 实验室检测服务至上上海蔚亚科技检测服务发现问题解决问题。
非单向流洁净室的风速检测要求
非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时,风口上的任何配件、饰物律保持原样。
选用套管法时,可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管,连接于过滤器风口外部,在套管出口平面均匀划分小方格,方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点,不少于6点。
对于风口,上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件后者,距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者,距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管,检测截面应按奇数分成纵横列,再在每一列上分成若干个相等的小截面,每个小藏面宜接近正方形,边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心,测点数不宜少于6个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。
粒子计数法
粒子计数法在欧洲通用,美国超高效过滤器检测方法也与之类似,这是目前国际上的主流检测方法。尘源为多分散相液滴,或确定粒径的固体粉尘。有时,过滤器厂商要按照用户的特殊要求,使用大气粉尘或其他特定粉尘。若检测中使用的是凝结核计数器,就必须使用粒径已知的单分散相检测尘源。主要检测仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器(CNC)。用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检测,计数器给出每点的粉尘个数,还可以比较各点的局部效率。 蔚亚第三方检测测试范围较广。
FFU风机过滤单元 风机过滤单元(FFU)是一种空气自净装置,可室内吊顶安装或放置在支架上,使局部级别达到百级。也可用于洁净室末端送风。该产品设有初、高效两级过滤装置。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风口送出。安装方式有悬挂式和落地支架两种。 风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。洁净室环境沉降菌菌落数测试——上海蔚亚科技。江苏电子厂房环境检测规范性强
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高效、超高效过滤器效率检测方法
(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧,将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号,并由光电测量仪器检测,电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度,用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。
(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。
(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相,以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计,测量的值是受试过滤器前后的浊度差,并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。
(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写,可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 湖南洁净室检测
每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...