工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:

1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;

2. 载物托架:2块

3.室温+10℃-250℃   控温范围:温度分辨率:0.1℃   温度波动度:±0.5℃

4. 真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,

5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)

6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。

7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。 合肥真萍科技为您提供专业质量服务。宿迁定制工业烤箱

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下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 大工业烤箱手柄工业烤箱的制作方法难吗?合肥真萍科技告诉您。

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电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

柜体规格、配备:

1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。

下面为大家介绍一下真空干燥箱。它是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。

特点:

1、长方体工作室,增加有效容积,微电脑温度控制器,精确控温。

2、双层玻璃视窗观察工作室内物体,一目了然。

3、箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。

4、工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。

5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行,所以不会氧化。

真空程序分段控制

该型号机型,抽真空过程可提供程序化编程,根据客户要求编辑设定真空值,保压时间值。可实现多段抽真空和保压编程。

操作步骤

1,接通电源

2,产品送入腔体,关门

3,打开电源

4,工作温度设定好,启动加热,设备进入自动恒温状态

5,真空值和时间设定好后,启动真空泵,开始进入自动抽真空阶段

6,到达时间值后,真空泵自动关闭 欢迎致电合肥真萍科技咨询工业烤箱相关知识。

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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

氮气监控系统:

1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。

1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。

1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。

1.4 、湿度控制:

2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。

2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。

1.5、温湿度记录功能:

2.5.1内建内存,可储存温度/湿度,收集时间1~240 分钟可自行设定。

2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。

2.5.3 品管记录格式设计,有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。

1.6、湿度警报系统:

1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件,内配蜂鸣器(90分贝)及闪烁警示功能。

1.6.2可另外选配积层式警示灯。

1.7、温湿度偏移校正功能:内建校正功能,确保显示准确度。 设备适用于产品或材料及电气、仪表、电子、电工及汽车、航空在恒温条件下作干燥和各种恒温适应性试验。宿迁定制工业烤箱

真萍科技为您提供定制各种尺寸工业烤箱。宿迁定制工业烤箱

可定制高温烘箱

温度控制系统:

1、采用数显微电脑温度控制器,控制精确可靠,精度:0.1℃(显示范围)。

2、具有定时功能、控温保护功能,设有风机停转开关。

电气控制系统:

1、采用品牌电气控制元件。

2、电气线路设计实用,合理布线,可靠放心。

3、箱体顶部为电器控制柜,方便于集中检查维修。

保护系统

1、超温保护系统

2、过电流保护

3、快速熔断器

4、接地保护

可选择配件(需另外收费,订购时请注意)

1、可编程控制器,可实现升温速率可调和保温时间可调,多段可编程。

2、**限温控制器,可实现在主控制器失灵后设备升温过高的情况下立即切断加热。

3、无纸记录仪,通过USB接口将其记录的数据导入计算机可供分析、打印等,是有纸记录仪的更新换代产品,多通道温度记录。

4、配RS-485接口,可连接计算机和记录仪,实现时时监控工作状态。

5、温度测试孔,可实现不同测试线或仪器插入设备工作室内进行多种实验,测试孔孔径有φ25、φ50、φ80可选。

6、载物托架,烘箱设备标配是2个载物托架,客户可根据自身需求增配托架数量。

*技术细节变动之处,恕不另行通知,具体设备参数以咨询结果为准。 宿迁定制工业烤箱

合肥真萍电子科技有限公司创立于2010-04-14,总部位于安徽省合肥市,是一家电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的公司。真萍电子作为电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的品牌企业,为客户提供质量的[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]。依托效率源扎实的技术积累、完善的产品体系、深厚的行业基础,目前拥有员工数11~50人,年营业额达到500-700万元。真萍电子始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力以准确定位,实现与客户的成长共赢。

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