工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 合肥真萍科技的工业烤箱怎么样?实地考察下真萍就知道了。厦门工业烤箱价格

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洁净烘箱,本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。

箱体结构:

1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,

N2 进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防

止微尘,内胆材料:采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3保温材料:采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。

4电热部分:采用进口覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化电热发生器

5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100;

可靠先进的测控系统

1温度控制装置:日本进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能

2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶

3温度监控装置:采用日本六通道巡回检测 有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。


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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

洁净节能氮气柜的氮气监控系统:

1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。

1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。

1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。

洁净节能氮气柜的湿度控制:

2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。

2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。


冷热冲击试验箱具有模拟大气环境中温度变化规律。主要针对于电工,电子产品,以及其元器件及其它材料在高温,低温综合环境下运输,使用时的适应性试验。用于产品设计,改进,鉴定及检验等环节。

真萍科技作为冷热冲击试验箱设备制造厂商,在冷热冲击试验箱设备制造领域的专业性是不用多说的。下面让真萍科技从温度方面,带您了解冷热冲击试验箱。一、温度波动度

    这个指标也有叫温度稳定度,控制温度稳定后,在给定任意时间间隔内,工作空间内任一点的较高和较低温度之差。这里有个小小的区别“工作空间”并不是“工作室”,是大约工作室去掉离箱壁各自边长的1/10的一个空间。这个指标考核产品的控制技术。

二、温度范围

     指产品工作室能耐受和(或)能达到的极限温度。通常含有能控制恒定的概念,应该是可以相对长时间稳定运行的极值。一般温度范围包括极限高温和极限低温。一般标准要求指标为≤1℃或±0.5℃。

三、温度均匀度

     旧标准称均匀度,新标准称梯度。温度稳定后,在任意时间间隔内,工作空间内任意两点的温度平均值之差的较大值。这个指标比下面的温度偏差指标更可以考核产品的**技术,因此好多公司的样本及方案刻意隐藏此项。一般标准要求指标为≤2℃。



工业烤箱有哪些种类?合肥真萍科技告诉您。

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HMDS 预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。 选用定制工业烤箱有哪些好处呢?合肥真萍科技为您介绍。做工业烤箱厂家

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用途介绍:无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、***、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,模压固烤、IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

1、技术指标与基本配置:

1.1使用温度:RT~260℃,极限温度:300℃;

1.2炉膛腔数:2个,上下布置;

1.3炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶:K分度

1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪;

2、氧含量(配氧分析仪):

2.1高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量

2.2控温稳定度:±1℃; 2.3温度均匀度:±2%℃(260℃平台); 厦门工业烤箱价格

合肥真萍电子科技有限公司是一家电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的公司,创建于2010-04-14。真萍电子深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]。公司终坚持自主研发创新发展理念,不断优化的技术、产品为客户带来效益,目前年营业额达到500-700万元。真萍电子始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力以准确定位,实现与客户的成长共赢。

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