第三步是测试和调试。在烤箱制作完成后,需要进行测试和调试,以确保烤箱的性能和稳定性。首先,需要进行电气测试,检查电热管、温控仪、风机等配件是否正常工作。然后,进行温度测试,检查烤箱的加热和保温性能是否达到要求。进行调试,根据测试结果对烤箱进行调整和优化。是烤箱的安装和使用。在烤箱制作完成后,需要将其...
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的
三、技术指标
1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;
2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;
4、加热元件:石墨加热棒;
5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;
6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;
7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);
8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;
9、极限真空: 10-3torr级;
10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr
11、升温功率:170kW;
12、升温速率:15℃/min(空载);
13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟
14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 如有需要各种工业烤箱,欢迎致电合肥真萍科技咨询。定制工业烤箱
电热鼓风烤箱:本设备适用于各种产品或材料及电气、仪表、元器件、电子、电工及汽车、航空、通讯塑胶、机械、食品、化工、化学品、五金工具在恒温环境条件下作干燥和各种恒温适应性试验。
箱体结构:
1、本烘箱由室体、加热系统、电气控制系统、送风系统、保护系统等组成。
2、箱体采用先进设备制作、业内**的制造工艺流程、线条流畅、美观大方。
3、工作室材质为不锈钢、外箱材质为质量冷轧钢板,产品外壳使用环保金属漆喷制,整体设计美观大方,适合**实验室的颜色搭配。
4、工作室内的搁架不可调节。
5、工作室与外箱之间的保温材质是质量超细玻璃纤维保温棉,保温厚度:>70mm,隔温效果好,国内**,高性能的绝缘结构。从内到外有内腔、外壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层,内胆热量损失少。内胆外箱及门胆结构独特,极大减少了内腔热量的外传。
6、门与门框之间采用高性能密封材料及独特的橡胶密封结构,密封、耐高温性、抗老化性好。
控制系统:
1、采用数显微电脑温度控制器,控制精确可靠。
2、具有定时功能、控温保护功能,设有风机停转开关。
保护系统
1、超温保护系统
2、过电流保护
3、快速熔断器
4、接地保护 立式工业烤箱专卖怎样选择工业烤箱呢?合肥真萍科技建材告知您专业的方法。
HMDS 预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:
1. 内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
2. 载物托架:2块
3.室温+10℃-250℃ 控温范围:温度分辨率:0.1℃ 温度波动度:±0.5℃
4. 真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,
5. 加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)
6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。
7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为 常规降温)。 真萍科技是具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。
连续炉即是连续作业炉,是指连续地或间歇地装料,工件在炉内不断移动,完成加热、保温,有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料,连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量,提高劳动生产率和改善劳动条件。
1、 采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能控制温度之精细度;
2、 分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果)
3、 内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好);
4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,防止失误动作;
1、双边配有链条传动,解决传送过程中跑偏的现象;
2、烘箱分段式加热,**电箱控制,方便操作,结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成,多段**;
3、PID温度控制,炉内温度均匀;
4、输送速度变频调速,调节自如,运行平稳,产能高;
5、每段**箱体设置废气排放接口,可外接到车间外面,避免车间废气污染。 为您推荐工业烤箱的专业生产厂家。哪里有工业烤箱价格多少
合肥真萍科技建材为您提供专业的工业烤箱定制服务。定制工业烤箱
下面为大家简单介绍一下洁净烘箱
箱体结构:
1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,N2 进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。
2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘,内胆材料:采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。
3保温材料:采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,防止了热能浪费。
4电热部分:采用覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化电热发生器
5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100;
可靠的测控系统
1温度控制装置:进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能
2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶
3温度监控装置:采用六通道巡回检测 有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。
定制工业烤箱
合肥真萍电子科技有限公司位于安徽省合肥市,创立于2010-04-14。公司业务分为[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供质量的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为**,发挥人才优势,打造仪器仪表质量品牌。截止当前,我公司年营业额度达到500-700万元,争取在一公分的领域里做出一公里的深度。
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