RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 资产追踪系统,为仓库、物流中心等场景提供高效的资产管理解决方案。RPS 基于射频指纹定位技术,通过蓝牙信标、超宽带等定位模块,实现对货物、设备等资产的实时位置追踪。该 RPS 系统可精细记录资产的移动轨迹,生成详细的位置报表,帮助管理人员快速查找目标资产,提高仓储管理效率。RPS 资产追踪系统具备多资产同时监测能力,支持批量资产的位置同步更新,定位误差控制在合理范围。在数据安全方面,RPS 系统采用加密传输技术,确保资产信息不被泄露;通过与 ERP 系统联动,RPS 实现资产位置与库存数据的实时同步,优化库存管理流程。目前,RPS 资产追踪方案已应用于多个行业的物流仓储环节,成为企业降本增效的重要 RPS 技术工具。高活性气态分子经过真空泵组抽出处理腔室,提高处理腔室内部洁净度。湖北推荐RPS远程等离子体源

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08,为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术,通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体,释放出高活性自由基,与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应,聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离,避免离子轰击造成的腔室损伤,同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中,RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物,确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷,维护简单,运行稳定性强,可适配不同规格半导体工艺腔体,目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。浙江半导体设备RPS腔室远程等离子源晟鼎RPS拥有高可靠点火方式。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具具备强大的多场景适配能力,并提供专业的定制化服务,满足不同行业的检测需求。RPS 检具可根据零部件的结构特点、尺寸规格定制设计,适配汽车、智能装备、机器人等多个行业的检测场景。针对复杂曲面零部件,RPS 检具采用非接触式检测方案;针对高精度孔位检测,RPS 检具配备特用接触式探针;针对生产线在线检测,RPS 检具设计为快速装夹结构,满足高效检测需求。晟鼎精密的工程师团队可根据客户提供的零部件 CAD 模型,快速完成 RPS 检具的设计与制造,并提供安装调试、操作人员培训等一站式服务。该 RPS 检具定制化方案周期短、适配性强,已为多家企业解决了特殊检测需求,成为行业内定制化检测方案的质量 RPS 供应商。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,为车辆导航提供了有效的增强解决方案,弥补了传统 GNSS 信号在复杂环境中的不足。在城市峡谷、隧道等 GNSS 信号受阻区域,RPS 通过构建城市道路的射频地图,结合 GNSS 信号提供连续、可靠的车辆位置信息,确保导航不中断。RPS 定位技术的抗干扰能力强,可有效避免多径效应对定位精度的影响,在复杂路况下仍能保持较高的定位准确性。晟鼎精密的 RPS 车辆导航增强系统可与车载导航设备无缝对接,无需额外改装即可使用,适配性强。通过 RPS 技术的应用,车辆导航的路径规划更精细,行驶指引更及时,大幅提升了驾驶体验,成为智能交通领域的重要 RPS 技术应用。为半导体设备腔室提供高效在线清洁解决方案。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,为增强现实(AR)应用提供了高精度的位置信息支撑。AR 应用对定位精度要求严苛,RPS 通过 Wi-Fi 指纹定位、室内地图定位等多种技术融合,实现厘米级定位精度,确保虚拟物体与现实场景的精细叠加。在 AR 导航、AR 工业维修等场景中,RPS 可实时更新用户位置信息,保障虚拟指引与实际环境的一致性;在 AR 娱乐应用中,RPS 快速的定位响应速度提升了用户交互体验。晟鼎精密的 RPS 定位系统具备良好的兼容性,可与多种 AR 设备与平台对接,支持多用户同时定位。通过持续优化定位算法,RPS 在复杂环境中的定位稳定性不断提升,为 AR 技术的商业化应用提供了可靠的 RPS 技术基础。在生物传感器制造中提升检测灵敏度。湖南远程等离子源RPS联系方式

在石墨烯器件制备中实现无损转移。湖北推荐RPS远程等离子体源

东莞市晟鼎精密仪器有限公司针对新能源汽车电池壳体检测需求,定制开发了RPS特用检具方案,保障电池包的装配安全性与密封性。新能源汽车电池壳体尺寸大、结构复杂,对平面度、孔位精度要求极高,RPS检具采用模块化设计,通过多个RPS定位基准点实现壳体的稳定支撑与精细定位。检具配备高精度接触式探针与激光传感器,可同时检测壳体的平面度、孔位坐标、壁厚等20余项关键参数,检测精度达0.01mm。RPS检具支持全自动检测流程,机器人自动上下料、自动完成检测,检测节拍只需45秒/件,满足新能源汽车生产线的高效需求。检测数据可实时上传至MES系统,生成追溯报告,为电池壳体质量控制提供数据支撑。该RPS检具方案已应用于多家新能源车企,有效降低了电池包泄漏风险,成为电池安全保障的中心RPS检测工具。湖北推荐RPS远程等离子体源

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