控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内,确保测量过程的稳定性和 0.1% 的控制输出精度。
湿度与洁净协同保障:设备同时实现 ±0.5%@8h 的高湿度稳定性,杜绝因湿度问题导致的零部件腐蚀和镜片结雾风险。洁净度控制可达百级以上,关键工作区蕞高优于 ISO class3 标准,严防尘埃颗粒干扰精密光路。
全方wei环境定制:极测具备强大的全场景非标定制能力,不仅能满足严苛的温湿度稳定性需求,还能根据用户具体场景定制抗微振、防磁、隔音等综合环境参数,为干涉仪量身打造理想的工作空间。
数据全流程可溯:实时记录并图形化显示温度、湿度等关键环境参数变化曲线,数据自动存储并支持表格导出。江苏0.02精密温控
极测(南京)微环境控制系统设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长立式干涉仪使用寿命。同时,系统可实现百级以上洁净度控制,蕞高优于 ISO class3(设备工作区),避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹,为干涉仪营造超净工作空间。 智能功能助力运维极测微环境控制系统具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线,便于操作人员直观掌握环境变化。微环境控制系统数据自动保存且可随时导出,运行状态与故障状态同步记录,方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外,自动安全保护系统可实现故障自动保护,确保设备全天候稳定运行,减少因故障导致的测量中断。安徽集成电路精密温控极测(南京)深凭借在微环境控制领域的深厚技术积累,为高duan半导体量测设备设计精密环控系统。
精密环境受到多种因素的影响。温度波动会导致仪器设备、被测样品等产生形变,影响空气对光的折射波动;湿度波动会影响空气折射率,湿度过高还易造成电器故障;二氧化碳浓度、压力梯度波动会影响空气折射率;微振动会造成仪器设备等抖动,影响光路;电磁干扰、接地电阻过大会影响仪器设备正常工作。
极测(南京)技术有限公司针对不同环境控制需求,提供了完善的解决方案。普通环境控制需求温度控制精度为 ±2℃,湿度控制精度为 ±5~15%,洁净度等级为十万级到百级,采用恒温恒湿超净间;精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.5~1℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为万级到百级,采用精密恒温恒湿超净间;高精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.1~0.3℃,湿度控制精度为 ±2~5%,洁净度等级为千级到百级,采用高精密恒温恒湿超净间;超精密环境控制需求温度控制精度为 ±0.002~0.1℃,湿度控制精度为 ±1~5%,洁净度等级为百级到十级,在高精密恒温恒湿超净间中搭建精密环控系统,同时气流 / 风速 / 压差控制、CO₂浓度调节、噪音控制、环境参数闭环控制。
合理的箱体结构有助于提升精密环控设备温湿度的均匀性和控制效果,例如双层保温结构、优化风道设计等,能增强精密环控设备的保温性能和控制精度。精密环控设备的外壳和内部材质应具备良好的耐磨性,部分还需要优良的保温性能,以延长精密环控设备的使用寿命。极测的精密环控柜采用合理的柜体结构设计,主柜体为内部精密组件提供稳固物理空间,同时采用可拆卸铝合金框架,方便大型设备在不同科研场所进行现场组装,其箱体采用的高质量钣金材质坚固耐用。 极测(南京)研发及设计团队,涵盖了产品经理、结构工程师、暖通、电气自控等各类专业人才。
不同场景对精密环控设备的设计和功能要求差异很大,比如实验室用的精密环控设备与工业生产线配套的精密环控设备,在结构和性能侧重上就大不相同。其次要明确温湿度要求,根据实际需求确定所需控制的温度和湿度稳定性参数,这是精密环控设备能否满足关键需求的基础。不同洁净度标准对精密环控设备的过滤系统等设计影响很大。除了温湿度和洁净度,如光照、气压等,这会影响精密环控设备的功能配置。另外,使用频率也不容忽视,如果需要长时间连续使用,精密环控设备的稳定性和可靠性就极为关键;而偶尔使用时,可适当降低对设备部分性能的要求。在众多精密环控设备供应商中,极测(南京)技术有限公司值得关注。作为南京拓展科技旗下企业,极测(南京)凭借深厚的技术沉淀与持续的创新热忱,在行业内崭露头角。该公司拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,涵盖温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等个性化需求。其研发的精密环控柜蕞高可实现±0.002℃高精密温度控制,以及洁净度十级的洁净环境,已成功为光刻机、激光干涉仪等精密仪器提供稳定工作环境,服务了多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室。 稳定电子元件内部结构,应用于超声波清洗、真空镀膜等场景,防止清洗剂挥发并保障镀膜质量。安徽集成电路精密温控
一般来说,温度要求在20~25℃之间,但某些精密的光学仪器可能要求更严格的温度稳定性要求,比如±0.005℃。江苏0.02精密温控
半导体制造:光刻工艺的“守护神”在芯片光刻环节,温度波动Jin0.1℃就足以导致光学元件热变形,造成曝光位置漂移。极测精密温控设备提供的±0.002℃恒温环境,使光刻机光学系统保持稳定,直接提升芯片良品率。在蚀刻工艺中,温湿度波动可能引发刻蚀过度或不足。精密温控设备提供的稳定环境保障了刻蚀速率的均匀性,确保芯片电路完整性。航空航天:微米级精度的幕后功臣航空发动机涡轮叶片加工中,0.05℃的温度波动可能导致机床热变形,使叶片加工精度不达标。极测精密温控设备维持的恒温环境,保障了叶片曲面精度和表面质量。在航空航天材料测试环节,设备将湿度波动精确控制在±2%RH内,满足极端严苛的测试要求。光学仪器:纯净与稳定的双重保障在光学镜片研磨中,温度波动会导致研磨盘与镜片材料热膨胀系数差异,影响镜片曲率精度。恒温环境确保研磨精度稳定。同时,洁净环境防止镜片表面污染,避免后续镀膜工序产生缺陷。新能源电池:水分与温度的双重管控在电极涂布工艺中,湿度变化会影响浆料水分含量,导致涂布不均匀。极测精密温控设备提供的±0.5%RH湿度稳定性,确保电极涂布一致性。在电池组装环节,恒温环境避免了不同材料热胀冷缩差异导致的密封不良问题。江苏0.02精密温控