南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司凭借深厚的技术积淀，精心打造的精密温控箱罩设备，以其蕞高±0.002℃高精密温度控制及可实现洁净度十级以上的能力，成为三坐标测量仪的蕞佳拍档。目前精密温控箱罩已拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，比如温湿度稳定性、洁净度，抗微振、防磁、隔音等不同个性化需求。现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板前列企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景。 在精密制造与检测领域，三坐标测量仪作为获取高精度尺寸数据的关键设备，其测量精度直接关系到产品质量与生产效率。而要确保三坐标测量仪稳定、精密地运行，精密温控箱罩起着不可或缺的作用。极测（南京）精密环控柜满足用户不同温湿度稳定性、洁净度，气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。四川激光精密温控
高精密冷冻水机组是一种专为工业及特殊环境设计的制冷设备，通过精确的温度控制和高效制冷循环，为高精度制造、数据中心、医药生产等领域提供稳定可靠的冷却解决方案。其关键特点在于高能效、低波动性及智能化控制，满足严苛的温控需求。极测（南京）技术有限公司采⽤⾃研温控技术，高精密冷冻水机组冷冻⽔的出⽔温度蕞⾼精度可达±0.002℃。高精密冷冻水机组采用国际有名品牌压缩机，配套高质量高效能铜管制作的板式换热器及有名品牌电气元器件。使机组具有精度高、体积小、噪音低、寿命长、操作简便、高效节能等优点。高精密冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块，准确测量实验舱内实时的温湿度数值并传输给控制器，冷冻水阀无级调节、无级调节电加热器、模拟量控制加湿器可根据实际实验舱需求调节输出功率。专为高精度恒温恒湿控制设计的PID算法，在运行过程中进行比例、积分、微分的计算并输出控制，使实验室内温度湿度处于稳定状态，绝dui焓湿量的控制策略，使控制实验舱内湿度控制快速准确，没有误操作误判断。陕西三坐标测量仪精密温控极测（南京）高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块，准确测量实验舱内实时的温湿度。
纳米级温度控制：系统采用高精密控温算法，能够将键合设备工作区域的温度波动控制在±0.002℃范围内（静态工况下可达±2mK），温度均匀性小于16mK/m。这种级别的温度稳定性，确保了键合过程中材料热变形量被压缩到纳米级别，为高精度键合提供了可能。
超高洁净环境保障：系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境（每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个），这一洁净级别极大降低了因颗粒物导致的键合缺陷风险。
湿度与压力协同控制：除了温控精度与洁净度，系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH，压力波动控制在±3Pa以内。这种多参数协同控制能力，为键合工艺提供了全方wei、全时段的稳定环境保障。
极测精密恒温洁净棚还配备了智能运维系统。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线，操作人员可以直观地掌握环境变化情况；数据自动保存且可随时导出，运行状态与故障状态同步记录，方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。自动安全保护系统更是为设备的稳定运行提供了全天候保障，一旦出现异常，系统将立即启动保护机制，减少因故障导致的测量中断和晶圆报废。 极测先进的环境控制技术，为晶圆操作空间树立了新的行业标准。精密恒温洁净棚不仅解决了半导体制造中环境控制的难题，更为芯片的高精度制造和研发提供了坚实的保障。随着半导体技术的不断发展，对晶圆操作环境的要求也将越来越高，而极测精密恒温洁净棚，必将在未来的产业发展中发挥更加重要的作用，助力我国半导体产业迈向新的高度。光学仪器行业通常要求相对湿度控制在40~60%RH之间，某些情况下可能要求更严格的范围，如45~55%RH。
打造高“温度精度”，避免热致误差温度是影响测量精度的首要因素。极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统，能够实现高温度精度和稳定性。蕞高将内部环境温度波动控制在极小的范围内（±2mK），确保每一次测量数据的重复性与可靠性。超净空间，避免微粒污染除了温控精度，洁净度同样至关重要。悬浮微粒一旦沉积在晶圆或设备光学镜头上，将造成缺陷或信号干扰。极测环控柜内部可维持蕞高ISO1级的超高洁净环境，有效隔绝灰尘、颗粒物等污染物，为半导体量测设备提供干净的环境，保护昂贵的光学组件和敏感样品。智能集成，一站式环境配套我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的综合环境配套系统。支持根据您设备的特定型号和工艺要求进行非标定制，匹配不同半导体量测设备的精密需求。设备智能管理系统提供7x24小时实时数据监控与记录，所有环境参数一目了然，数据可追溯，为质量分析和故障排查提供坚实依据。除了温控精度与洁净度，系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH，压力波动控制在±3Pa以内。静音精密温控平台
极测（南京）高精密环境控制设备确保实验结果的准确性和可靠性，满足光刻机、加速器等设备的恒温需求。四川激光精密温控
晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀，还是封装环节，温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果，影响芯片的功能或造成短路或断路，导致整片晶圆报废。南京拓展科技旗下企业，极测（南京）技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚，凭借突破性的环境控制技术，为晶圆构建起无可比拟的操作空间，可实现±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等级精度的温度控制，及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度，相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化，极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破，主动调控外部温度，形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”，成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。四川激光精密温控
