控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内,确保测量过程的稳定性和 0.1% 的控制输出精度。
湿度与洁净协同保障:设备同时实现 ±0.5%@8h 的高湿度稳定性,杜绝因湿度问题导致的零部件腐蚀和镜片结雾风险。洁净度控制可达百级以上,关键工作区蕞高优于 ISO class3 标准,严防尘埃颗粒干扰精密光路。
全方wei环境定制:极测具备强大的全场景非标定制能力,不仅能满足严苛的温湿度稳定性需求,还能根据用户具体场景定制抗微振、防磁、隔音等综合环境参数,为干涉仪量身打造理想的工作空间。
专为高精度恒温恒湿控制设计的PID算法,使实验室内温度湿度处于稳定状态。吉林精密温控系统
极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力,犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术,确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度,实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制,精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障,延长了设备使用寿命。同时,该系统可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度蕞高可优于 ISO class3(设备工作区),有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面,避免对测量精度造成干扰。OCD量测精密温控方案极测(南京)高精密环境控制设备确保实验结果的准确性和可靠性,满足光刻机、加速器等设备的恒温需求。
在高精密实验中,环境波动带来的影响不容忽视。温度波动会导致实验区域内温度分布不均匀,影响实验结果的准确性和重复性;湿度变化会干扰生物实验、材料老化实验等的进程;空气扰动会对微观实验样本造成物理性干扰,改变宏观实验装置或样品的位置或姿态;还会影响光学仪器、精密天平的精度,引入灰尘颗粒、有害气体等杂质和污染物。 而精密环控系统对空气扰动和漂移扰动的抑制效果明显。数据显示,精密环控系统开启后,0.05Hz、0.15Hz、1Hz 频率点累计误差幅值下降幅度分别降低 98.03%、86.07%、85.83%,漂移扰动得到明显抑制,波动范围下降约 50%、标准差减小 45%。同时,温度波动对超快激光参数影响重大,当环境温度变化超过 0.8℃时,脉宽会出现呼吸现象,影响超快激光器的性能,而温度越稳定激光的参数越好。
毫开尔文级控制:精密温控设备采用闭环气流循环系统,通过EC风机驱动气流以精密算法规划的路径均匀覆盖设备内部,实现关键区域温度波动控制在±2mK(静态),温度均匀性<16mK/m
动态响应机制:自主研发的高精密控温技术实现0.1%的控制输出精度,精密温控设备对外界环境变化实现毫秒级响应
洁净度标准:让尘埃无处遁形超越传统的洁净标准:精密温控设备通过多层高效粒子过滤器与动态气流管理,工作区洁净度达ISOClass3标准及以上,远超传统实验室的ISOClass5标准
微粒拦截:精密温控设备可拦截直径0.3μm的尘埃颗粒,杜绝因微粒污染导致的集成电路短路或光学传感器失效智能生态:看得见的稳定,可追溯的精zhun
环境“心电图”:精密温控设备智能监控系统自动生成带时间戳的温湿度曲线报告,支持一键导出,满足ISO17025等国际标准对数据完整性的要求
静音护航:精密温控设备采用EC风机与高效隔音材质,运行噪音<45dB,营造舒适工作环境
灵活架构:按需定制的环境解决方案模块化设计:精密温控设备采用可拆卸铝合金框架结构,支持大型设备现场组装,突破空间限制
按需定制:从温湿度稳定性、洁净度等级到抗微振、防磁、隔音性能,提供全场景非标定制服务 极测(南京)技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀不断壮大。
在高duan制造业的关键地带,纳米级芯片、微米级航空叶片、亚波长光学元件的精密制造,对生产环境提出了前所未有的严苛要求。其中,精密温控扮演着决定性角色——一丝微小的温度波动,都可能成为制约良率与性能的关键瓶颈。作为环境控制领域的关键要素,精密温控设备已从幕后走向前台,成为前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企业极测(南京)技术有限公司,凭借二十六载在实验室环境控制领域的技术积淀,推出颠覆行业的精密环控柜系列产品。其高达±0.002℃ 的温控精度与ISO Class 3级洁净度(每立方米≥0.1μm颗粒数≤1,000个),为半导体制造、航空航天、生物医药等战略新兴产业筑起了坚实的“科技堡垒”。精密测量需要在恒温条件下进行,因为各种工程材料都有热膨胀性。标准测量温度通常为20℃。天津精密温控厂家
极测(南京)致力于为芯片半导体、电子信息、光学仪器、精密制造、新能源等行业提供高精密环境解决方案。吉林精密温控系统
极测(南京)关键技术市如何适配半导体严苛需求的?毫 K 级控温的技术密码专li级 PID + 逐级控温:通过 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法” 专li,结合自主研发温度采集模块与多级制冷回路设计,实现对蚀刻机腔体温度的±0.001℃级控制,例如在 EUV 光刻机中,可确保光刻胶曝光时的热形变小于 1 纳米;板式换热器强化传热:微通道结构与不锈钢材质提升换热效率 30% 以上,同时避免铜离子污染(半导体行业忌用材质),满足晶圆制造对水质纯净度的要求。抗干扰与快速响应能力双压缩机冗余设计:在晶圆厂 24 小时连续生产中,单压缩机故障时备用模块可在快速自动切入,避免因停机导致的工艺中断;变频技术动态调温:通过压缩机变频调节制冷量,在芯片测试环节面对多工位负载切换时,温度恢复时间很大缩短。吉林精密温控系统