6.2.1洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。6.2.2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。6.2.3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。6.2.4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反。负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。6.2.5非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化空调处理。工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件。上海实验室环境检测认真负责

风量或风速、室内静压差、空气洁净度等级、换气次数、室内浮游菌和沉降菌、温度和相对湿度、平均速度、速度不均匀度、噪声、气流流型、自净时间、污染泄露、照度(照明)、甲醛、细菌浓度。1、医院洁净手术部:风速、换气次数、静压差、洁净度级别、温湿度、噪声、照度、细菌浓度。2、医药工业洁净厂房:空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间、已安装过滤器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、电子工业洁净厂房:空气洁净度等级、静压差、风速或风量、气流流型、温度、相对湿度、照度、噪声、自净时间。4、食品工业洁净用房:定向气流、静压差、洁净度、空气浮游菌、空气沉降菌、噪声、照度、温度、相对湿度、自净时间、甲醛、Ⅰ级工作区截面风速、开发的洞口风速、新风量。辽宁排风柜检测技术好洁净室检测中发现的任何问题都应立即记录并跟踪处理。

B.2.1.2计数效率测量U描述符所用体系的计数效率应落在图B.1的阴影之内[1]。该阴影区为性能达标区,其中心对应的选定粒径超微粒子的计数效率为50%,粒径示为U。超微粒径U的允差为土10%,见图B.1中的1.1U和0.9U。这一计数效率允差的规定,是基于对扩散元件透过率的计算,该扩散元件对粒径大于选定超微粒径10%的粒子的透过率不低于40%,对粒径小于选定超微粒径10%的粒子的透过率不高于60%。若离散粒子计数器(DPC)或凝聚核计数器(CNC)的计数效率曲线落在图B.1阴影区之外的右侧,则不能用其测量或验证U描述符。若曲线落在阴影区之外的左侧,则可使用B.2.1.3介绍的粒径限制器来降低计数效率。此时,经改进的离散粒子计数器或凝聚核计数器的计数效率就成为原计数器的计数效率与粒径限制器透过率的乘积。
洁净室**主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。尘埃粒子的粒径分布分析有助于评估洁净室的过滤效率。

4.5.1有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定:1在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处,应按微振控制要求设计。2洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。3应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响,以决定是否采取被动隔振措施。4.5.2精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时,可按现行国家标准《隔振设计规范》GB50463的有关规定执行。洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65%。安徽实验室检测认真负责
洁净室检测时需特别注意对生物安全柜等特殊设备的检测。上海实验室环境检测认真负责
B.3.3.3.2离散粒子计数器(DPC)测量使用离散粒子计数器测量大粒子的方法与B.1中的空气悬浮粒子计数方法基本相同,不同点只有一处,由于只需要大粒子的计数数据,因此对1μm以下粒子的仪器灵敏度无要求。注意离散粒子计数器的样本需是直接采自采样点的空气;计数器采样管的长度不得超过1m;离散粒子计数器的采样流量至少0.00047m/s。单向流洁净室中,计数器采样口的尺寸应适应等动力采样。在非单向流区域,离散粒子计数器的采样口应朝上,采样口直径应不小于30mm。设定计数器的粒径范围,使其只测量大粒子。为了保证所测粒子的浓度不大于出现重叠误差的浓度,应保留一个低于5μm(见GB/T25915.1-2010中表1)的粒径档。将这个小于5μm粒径档的浓度数据加到大粒径数据中,浓度之和不应超过所用粒子计数器比较大浓度建议值的50%。上海实验室环境检测认真负责
洁净室检测设备的计量校准与期间核查检测设备的精度直接影响数据可靠性,需制定严格的计量校准计划。校准周期根据设备使用频率和稳定性确定,例如激光尘埃粒子计数器校准周期为1年,温湿度传感器为6个月,校准机构需具备CNAS认可资质,并提供可追溯至国家计量基准的校准证书。校准项目包括粒径分辨率(如验证0.3μm和0.5μm粒子的区分能力)、流量准确性(误差≤±5%)、温湿度传感器漂移(温度误差≤±0.3℃,湿度≤±2%RH)。除定期校准外,还需进行期间核查(每月一次),通过与已知标准值对比(如使用标准粒子发生器核查粒子计数器)、重复性测试(同一测点连续检测5次,相对标准偏差≤10%)确保设备在两次校准之...