浙江半导体净化车间无尘室检测方法

E.5.1无恒温恒湿要求的温湿度检测应符合下列要求：1室内空气温度和相对湿度测定之前，空调净化系统应已连续运行至少8h。2温度的检测可采用玻璃温度计、数字式温湿度计；湿度的检测可采用通风式干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度检测仪或露点传感器等。根据温湿度的波动范围，应选择足够精度的测试仪表。温度检测仪表的极小刻度不宜高于0.4℃，湿度检测仪表的极小刻度不宜高于2%。测点为房间中间一点，应在温湿度读数稳定后记录。测完室内温湿度后，还应同时测出室外温湿度。在运作时，无尘室需要严格控制人员进出，常规维护和定期检查是确保无尘室持续洁净的关键。浙江半导体净化车间无尘室检测方法

12.4.2消防应急照明灯(以下简称照明灯）的安装应符合下列规定：1当照明灯安装在墙上时，照明灯光线不应正面迎向人员疏散方向。2照明灯不得安装在地面上，或1m~2.2m之间的侧面墙上。照明灯宜采用嵌入式安装并与安装面平齐，四周应密封。3疏散走道上安装的照明灯应均匀布置，并保证其地面平均照度不低于5lx。12.4.3蓄光型疏散指示标志牌(以下简称标志牌）的安装应符合下列规定：1标志牌安装在疏散走道和主要疏散路线的地面或靠近地面的墙上时，其箭头应指向**近的疏散出口或安全出口。2标志牌安装在墙上时，其下边缘距地面距离不应大于1m；安装在地面上时，应采用粘贴、镶嵌式工艺安装，其安装后应平整、牢固。北京消毒液净化车间环境无尘室检测哪家好指洁净室(区)在生产操作全部结束,生产操作人员撤离现场并经过20 min自净后。

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统，除应符合本规范外，还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时，比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部，比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求：1应满足使用功能的要求，且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁，并应减少凹凸面，2当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。无尘室的设计充分考虑了环境污染的来源。

无尘车间工程是指按照客户的要求，提供对微粒、有害空气、细菌等污染物的有效控制，温度、湿度、噪声、照度、洁净度、室内压差、气流速度与气流分布、振动、静电等各项指标均满足安全生产需求的洁净受控空间。无尘车间的主要作用在于为产品生产(如硅芯片等)和服务提供所需环境的洁净程度，以及温湿度、微震动、噪声、照度等各项指标，使相关产品和服务能够在一个满足要求的、受控的、良好的环境空间中进行生产和操作，从而达到提高产品生产的良品率，改善和提升相关服务质量的目标。洁净厂房中以垂直构件分隔构成的廊道,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。上海医疗器具无尘室检测规范性强

无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。浙江半导体净化车间无尘室检测方法

6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局，应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不应采用内墙承重体系。6.1.3洁净厂房的立面设计应简洁、明快，并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。6.1.4洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造，应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。浙江半导体净化车间无尘室检测方法