光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。常温等离子清洗机原理在于“等离子体”,通过气体放电形成,可以在常温、常压的状态下进行产品的处理。四川宽幅等离子清洗机欢迎选购
复合材料边框的耐腐蚀能力较差,容易导致边框在长期使用过程中发生断裂或变形,影响光伏组件的整体结构稳定性和使用寿命。为了有效解决这一问题,可以使用等离子处理,活化复合材料边框表面,提高其表面能,从而提高密封胶点胶质量。经plasma等离子处理后能够在复合材料表面形成极性基团,提高其表面自由能,从而有助于增强其表面附着力,使其更容易与密封胶等粘合剂结合,显著提高密封胶的附着力,避免脱落等问题,从而确保光伏组件的密封性能,提高整体光伏系统的稳定性和可靠性。上海真空等离子清洗机技术参数等离子体表面处理机是一种应用广且效果明显的表面处理设备。
等离子体表面处理机也叫等离子清洗机、等离子表面处理机、plasma清洗机;用户对它的称呼非常多,它实际功能在于对物体表面处理,清洗、改性、刻蚀等;解决用户不同的表面处理需求。表面活化:设备生产的等离子体内有大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,通过物理及化学反应,将表面污染物、杂质处理,达到表面清洗的作用;表面改性:等离子体与物体表面发生反应,使得物体表面的化学键断裂,等离子体中的自由基反应生产新键,提高表面活性,有利于粘接、涂覆等工艺。表面刻蚀:通入腐蚀性气体进行等离子体反应时,气体与物体表面反应生产挥发性物质,通过真空泵抽离,在表面形成需要的图案、形状,完成刻蚀效果。
塑料制品基本材料主要为聚丙烯(PP)、聚已烯(PE)、聚氣乙烯(PVC)、聚酯(PET)等,其表面特性因分子结构基材的极性基团,结晶程度和塑料的化学稳定性等不同而有很大的差异,这些因素对印刷油墨层的粘附牢度影响很大。对属于极性结构的PS(聚苯乙烯)、PVC,印刷前不雪要做表面预处理,但对于其表面结构是非极性的PP、PE、PET等,其化学稳定性极高,不易被大多数油墨溶剂所渗透和溶解,与油墨印刷的结合牢度很低,所以在印刷之前必须经过等离子体表面处理,使塑料表层活化生成新的化学键使表面粗化,从而提高油墨与塑料表面的结合粘附牢度;同时制造某些粒料过程中,按不同要求掺入了一定数量的助剂,附加剂,下开口剂,当吸膜定型后,这些助剂就浮在材料表面,形成肉眼看不见油层,这些油层对印刷是完全不利的,它使塑料表面不易粘合,附着力下降,当等离子体与塑料表面相遇时,产生了清洁、活化、刻蚀作用,表面得到了清洁,去除了碳化氢类污物,如油脂、辅助添加剂等,根据材料成分,其表面分子链结构得到了改变。建立了羟基、羧基等自由基团,这些基团对各种涂敷材料具有促进其粘合的作用,在粘合和油漆应用时得到了优化。射频电源的频率直接决定了电场变化的速率,进而影响等离子体的生成和特性。
等离子清洗机通过使用物理或化学方法,可以有效地清洁、活化或改性材料表面。对于陶瓷基板,等离子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、层间介质等杂质,同时通过活化表面,提高其润湿性和粘合性。陶瓷基板处理后的主要优势:1.提高附着力:通过等离子清洗,陶瓷基板的表面可以得到明显改善,其粗糙度和清洁度均提高。这不仅可以提高基板与涂层或贴片的附着力,还能有效防止由于附着力不足导致的涂层脱落或翘曲等问题。2.增强润湿性:等离子清洗处理能够提高陶瓷基板的表面润湿性。对于需要液态材料覆盖或浸润的场合,如封接、焊接等,这种改善将极大地提高生产效率和良品率。3.改性表面:等离子清洗还可以对陶瓷基板表面进行改性。例如,通过引入特定的官能团或改变表面的化学组成,可以提高基板的耐腐蚀性、耐磨性等关键性能。射频等离子清洗机以其高效、环保清洗的特点,成为了半导体、微电子、航空航天等行业的关键设备。天津晶圆等离子清洗机用途
等离子表面处理机常用的气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。四川宽幅等离子清洗机欢迎选购
汽车保险杠通常会采用塑料材料,其中PP和EPDM材料具有韧性好、易加工,又加上具有成本优势,一直以来都是汽车保险杆生产厂商的好帮手。我们知道,保险杠需经过喷漆处理,而PP和EPDM材料表面能比较低,直接涂会掉漆,以往都是在喷漆前用火焰处理来提高材料的表面能,但火焰处理方式容易造成材料变形和色变,并且材料耐老化性差。真空等离子体清洗机表面处理技术不仅能解决保险杠PP和EPDM材料表面能低,粘接力差的问题,而且安全可靠,得到了生产厂商的认可和使用。等离子清洗机应用于PP和EPDM材料处理是一种干式环保的处理方式,通过等离子清洗机的处理,既能够有效提升PP包材的表面粘接力,使之在印染时粘得更牢、不易脱落,且无需使用溶剂,绿色环保、节约成本。四川宽幅等离子清洗机欢迎选购